[發明專利]表面缺陷檢測系統和檢測方法

在審

• 申請號: 202010858836.0
• 申請日: 2020-08-24
• 公開（公告）號: CN112255242A
• 公開（公告）日: 2021-01-22
• 發明（設計）人: 陳勇;趙劍;吳華;張傳升
• 申請（專利權）人: 重慶神華薄膜太陽能科技有限公司
• 主分類號: G01N21/94
• 分類號: G01N21/94
• 代理公司: 北京聿宏知識產權代理有限公司 11372
• 代理人: 吳大建;朱明明

本申請提供了一種表面缺陷檢測系統和檢測方法，該檢測系統包括：檢測平臺，其入口端用于與上一工序設備輸出線對接，其出口端用于與下一工序設備輸入線對接；檢測平臺上安裝有傳動滾輪組，用于傳送樣品；蒸汽噴淋部，其位于檢測平臺的入口端，用于將蒸汽噴涂至樣品以在樣品表面形成霧膜；光源部，其用于提供照射光線；以及風刀部，其設置在檢測平臺的出口端的上游，用于干燥樣品。利用該表面缺陷檢測系統，能夠從上一生產工序自動獲取基板玻璃樣品，且能夠自動干燥檢測合格的樣品，并能夠將干燥后的樣品自動運送至下一生產工序以備使用，從而降低生產成本及安全風險。

技術領域

本發明涉及缺陷檢測技術，尤其涉及一種表面缺陷檢測系統和檢測方法。

背景技術

基板玻璃是電子產品生產制造的原材料，其表面的潔凈程度影響著電子產品的品質。例如，薄膜光伏基板玻璃工藝面的潔凈程度就影響著薄膜光伏材料的濺射蒸鍍品質。

為了保證基板玻璃表面的潔凈程度符合后續工藝的要求，需要對基板玻璃表面進行缺陷檢測。缺陷檢測可以及時發現基板玻璃表面的污漬、油膜、刮痕等缺陷，從而有利于避免表面潔凈程度不合格的基板玻璃進入下一生產工序。

現有的表面缺陷檢測系統需要將基板玻璃樣品從生產線取出，并搬運至指定的檢測區域進行蒸汽檢測，該搬運過程費時、耗力不利于降低生產成本且容易造成安全風險。蒸汽檢測需要將蒸汽噴涂至基板玻璃樣品的待測面，在檢測完成后，基板玻璃樣品表面的殘留霧膜無法及時清除，使得合格的基板玻璃樣品也無法繼續投入下一生產工序，只能進行報廢處理，進一步地增加了生產成本。

發明內容

針對上述現有技術中的問題，本申請提出了一種表面缺陷檢測系統和檢測方法，該系統能夠從上一生產工序自動獲取基板玻璃樣品，且能夠自動干燥檢測合格的樣品，并能夠將干燥后的樣品自動運送至下一生產工序以備使用，從而降低生產成本及安全風險。

第一方面，本發明提供了一種表面缺陷檢測系統，包括：檢測平臺，其入口端用于與上一工序設備輸出線對接，其出口端用于與下一工序設備輸入線對接；所述檢測平臺上安裝有傳動滾輪組，用于傳送樣品；蒸汽噴淋部，其位于所述檢測平臺的所述入口端，用于將蒸汽噴涂至所述樣品以在所述樣品表面形成霧膜；光源部，其用于提供照射光線；以及風刀部，其設置在所述檢測平臺的所述出口端的上游，用于干燥所述樣品。利用該表面缺陷檢測系統，能夠從上一生產工序自動獲取基板玻璃樣品，且能夠自動干燥檢測合格的樣品，并能夠將干燥后的樣品自動運送至下一生產工序以備使用，從而降低生產成本及安全風險。

在第一方面的一個實施方式中，所述光源部包括LED光源和支撐所述LED光源的光源支架，所述光源部位于所述檢測平臺遠離檢測人員的一側。通過該實施方式，有利于檢測人員觀察樣品的表面。

在第一方面的一個實施方式中，在豎直方向上，所述傳動滾輪組靠近所述光源部的一側高于所述傳動管輪組遠離所述光源部的一側，以使所述傳動滾輪組所在平面與水平面間形成輪夾角，所述輪夾角在0至45度之間。通過該實施方式，檢測人員能夠通過改變輪夾角調整觀察角度，以更好地觀察樣品表面霧膜的附著情況，從而準確地判斷樣品表面的潔凈度是否合格。

在第一方面的一個實施方式中，所述風刀部包括風刀和支撐所述風刀的風刀支架，所述風刀支架包括相對設置的第一支撐架和第二支撐架，所述第一支撐架位于所述檢測平臺安裝有所述光源部的一側，所述第二支撐架位于所述檢測平臺遠離所述光源部的一側，所述風刀連接在所述第一支撐架的頂端和所述第二支撐架的頂端之間；在樣品傳送方向上，所述第一支撐架位于所述第二支撐架上游，以使所述風刀在水平面的投影與樣品寬度方向間形成第一風刀夾角，所述第一風刀夾角在15至30度之間，其中，所述樣品寬度方向垂直于所述樣品傳送方向和豎直方向；在豎直方向上，所述第一支撐架高于所述第二支撐架，以使所述風刀與水平面間形成第二風刀夾角，所述第二風刀夾角在0至45度之間。通過該實施方式，檢測人員能夠通過調節第一風刀夾角和第二風刀夾角，使得風刀在吹掃干燥樣品時，能夠更加徹底地清除從樣品頂端流下并匯聚在樣品底端的水流或水珠。