[發(fā)明專利]表面缺陷檢測系統(tǒng)和檢測方法在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 202010858836.0 | 申請日: | 2020-08-24 |
| 公開(公告)號: | CN112255242A | 公開(公告)日: | 2021-01-22 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 陳勇;趙劍;吳華;張傳升 | 申請(專利權(quán))人: | 重慶神華薄膜太陽能科技有限公司 |
| 主分類號: | G01N21/94 | 分類號: | G01N21/94 |
| 代理公司: | 北京聿宏知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11372 | 代理人: | 吳大建;朱明明 |
| 地址: | 404100 重慶*** | 國省代碼: | 重慶;50 |
| 權(quán)利要求書: | 查看更多 | 說明書: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 表面 缺陷 檢測 系統(tǒng) 方法 | ||
1.一種表面缺陷檢測系統(tǒng),其特征在于,包括:
檢測平臺,其入口端用于與上一工序設(shè)備輸出線對接,其出口端用于與下一工序設(shè)備輸入線對接;所述檢測平臺上安裝有傳動滾輪組,用于傳送樣品;
蒸汽噴淋部,其位于所述檢測平臺的所述入口端,用于將蒸汽噴涂至所述樣品以在所述樣品表面形成霧膜;
光源部,其用于提供照射光線;以及
風(fēng)刀部,其設(shè)置在所述檢測平臺的所述出口端的上游,用于干燥所述樣品。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的表面缺陷檢測系統(tǒng),其特征在于,所述光源部包括LED光源和支撐所述LED光源的光源支架,所述光源部位于所述檢測平臺遠(yuǎn)離檢測人員的一側(cè)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的表面缺陷檢測系統(tǒng),其特征在于,在豎直方向上,所述傳動滾輪組靠近所述光源部的一側(cè)高于所述傳動管輪組遠(yuǎn)離所述光源部的一側(cè),以使所述傳動滾輪組所在平面與水平面間形成輪夾角,所述輪夾角在0至45度之間。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的表面缺陷檢測系統(tǒng),其特征在于,所述風(fēng)刀部包括風(fēng)刀和支撐所述風(fēng)刀的風(fēng)刀支架,所述風(fēng)刀支架包括相對設(shè)置的第一支撐架和第二支撐架,所述第一支撐架位于所述檢測平臺安裝有所述光源部的一側(cè),所述第二支撐架位于所述檢測平臺遠(yuǎn)離所述光源部的一側(cè),所述風(fēng)刀連接在所述第一支撐架的頂端和所述第二支撐架的頂端之間;在樣品傳送方向上,所述第一支撐架位于所述第二支撐架上游,以使所述風(fēng)刀在水平面的投影與樣品寬度方向間形成第一風(fēng)刀夾角,所述第一風(fēng)刀夾角在15至30度之間,其中,所述樣品寬度方向垂直于所述樣品傳送方向和豎直方向;在豎直方向上,所述第一支撐架高于所述第二支撐架,以使所述風(fēng)刀與水平面間形成第二風(fēng)刀夾角,所述第二風(fēng)刀夾角在0至45度之間。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的表面缺陷檢測系統(tǒng),其特征在于,所述第二風(fēng)刀夾角等于所述輪夾角。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的表面缺陷檢測系統(tǒng),其特征在于,所述蒸汽噴淋部包括:
噴淋組件,其包括噴淋橫桿,所述噴淋橫桿平行于樣品寬度方向設(shè)置;
距離調(diào)節(jié)組件,用于調(diào)節(jié)所述噴淋橫桿與所述檢測平臺的間距;
蒸汽發(fā)生器,用于向所述噴淋組件提供噴淋用蒸汽;
傳輸管道,用于連接所述蒸汽發(fā)生器和所述噴淋組件;以及
管道支架,用于支撐所述傳輸管道。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的表面缺陷檢測系統(tǒng),其特征在于,所述噴淋橫桿上設(shè)置有多個(gè)均勻分布的噴淋單元,所述噴淋單元包括同心設(shè)置的噴淋內(nèi)環(huán)、噴淋中環(huán)和噴淋外環(huán),所述噴淋內(nèi)環(huán)、所述噴淋中環(huán)和所述噴淋外環(huán)均由呈環(huán)狀分布的多個(gè)噴淋孔構(gòu)成。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的表面缺陷檢測系統(tǒng),其特征在于,還包括控制按鈕。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的表面缺陷檢測系統(tǒng),其特征在于,還包括人機(jī)交互界面。
10.一種利用權(quán)利要求1-9中任一項(xiàng)所述的表面缺陷檢測系統(tǒng)的表面缺陷檢測方法,其特征在于,包括以下步驟:
利用所述傳動滾輪組使樣品從所述上一工序設(shè)備輸出線進(jìn)入所述檢測平臺;
位于所述檢測平臺的所述入口端的所述蒸汽噴淋部將蒸汽噴涂至所述樣品以在所述樣品表面形成霧膜;
當(dāng)所述樣品全部進(jìn)入所述檢測平臺后,所述光源部提供照射光線以使檢測人員觀察所述樣品表面;
若樣品合格,所述風(fēng)刀部干燥所述樣品;
利用所述傳動滾輪組使干燥后的所述樣品從所述檢測平臺進(jìn)入所述下一工序設(shè)備輸入線。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的表面缺陷檢測方法,其特征在于,所述光源部提供照射光線以使檢測人員觀察所述樣品表面包括調(diào)節(jié)輪夾角以使所述傳動滾輪組靠近光源部的一側(cè)高于所述傳動管輪組遠(yuǎn)離光源部的一側(cè)。
12.根據(jù)權(quán)利要求10所述的表面缺陷檢測方法,其特征在于,若樣品合格,所述風(fēng)刀部干燥所述樣品包括若樣品合格,按下控制按鈕,啟動所述風(fēng)刀部,調(diào)節(jié)第一風(fēng)刀夾角和第二風(fēng)刀夾角。
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G01N 借助于測定材料的化學(xué)或物理性質(zhì)來測試或分析材料
G01N21-00 利用光學(xué)手段,即利用紅外光、可見光或紫外光來測試或分析材料
G01N21-01 .便于進(jìn)行光學(xué)測試的裝置或儀器
G01N21-17 .入射光根據(jù)所測試的材料性質(zhì)而改變的系統(tǒng)
G01N21-62 .所測試的材料在其中被激發(fā),因之引起材料發(fā)光或入射光的波長發(fā)生變化的系統(tǒng)
G01N21-75 .材料在其中經(jīng)受化學(xué)反應(yīng)的系統(tǒng),測試反應(yīng)的進(jìn)行或結(jié)果
G01N21-84 .專用于特殊應(yīng)用的系統(tǒng)





