[發明專利]微機電系統力學傳感器、傳感器單體及電子設備

有效

• 申請號: 202010858551.7
• 申請日: 2020-08-24
• 公開（公告）號: CN112014001B
• 公開（公告）日: 2022-06-10
• 發明（設計）人: 鄒泉波;冷群文;丁凱文;趙海輪;安琪;周汪洋;王喆;宋青林
• 申請（專利權）人: 歌爾微電子有限公司
• 主分類號: G01L1/12
• 分類號: G01L1/12;G01L9/14;G01R33/09
• 代理公司: 北京博雅睿泉專利代理事務所(特殊普通合伙) 11442
• 代理人: 吳秀娥

本說明書實施例提供一種微機電系統力學傳感器、傳感器單體及電子設備。微機電系統力學傳感器包括：第一支撐件；位于第一支撐件上的第一元件；可移動部件，該可移動部件能接受力學作用以相對于第一支撐件產生第一位移；以及位于可移動部件上的第二元件；其中，在未施加所述力學作用的工作情況下，第二元件位于第一元件的元件平面外側；其中，第一元件和第二元件中的一個是磁阻，另一個是第一電流線；以及其中，由第一電流線對所述磁阻所施加的磁場隨所述第一位移變化，以使得所述磁阻的阻值變化，從而產生傳感器信號。

技術領域

本說明書涉及微機電系統技術領域，更具體地，涉及一種微機電系統力學傳感器、傳感器單體及電子設備。

背景技術

磁阻的阻值可以隨著所施加的磁場的變化而變化。例如，可以將磁阻設置在磁場中。當磁阻的位置發生變化時，施加到磁阻磁場發生變化，從而導致磁阻的阻值變化。

可以把電流線設置在襯底上，把磁阻設置在可移動部件上。電流線所產生的磁場的方向可以通過右手螺旋法則來確定。

當可移動部件受到力學作用時，磁阻的位置相對于電流線變化，施加在磁阻的磁場也發生變化。由此，磁阻的阻值發生變化。通過檢測磁阻的阻值變化，可以確定上述力學作用。這里的力學作用可以聲壓、壓力、加速度、由于溫度變化引起的形變、由于濕度變化引起的形變等。

中國專利申請CN110345972A公開了一種傳感器及電子設備。在該專利申請中，磁阻和電流導線位于同一平面內。

因此，需要提供一種用于微機電系統力學傳感器的新技術方案。

發明內容

本說明書的實施例提供用于微機電系統力學傳感器的新技術方案。

根據本說明書的第一方面，提供了一種微機電系統力學傳感器，包括：第一支撐件；位于第一支撐件上的第一元件；可移動部件，該可移動部件能接受力學作用以相對于第一支撐件產生第一位移；以及位于可移動部件上的第二元件；其中，在未施加所述力學作用的工作情況下，第二元件位于第一元件的元件平面外側；其中，第一元件和第二元件中的一個是磁阻，另一個是第一電流線；以及其中，由第一電流線對所述磁阻所施加的磁場隨所述第一位移變化，以使得所述磁阻的阻值變化，從而產生傳感器信號。

根據本說明書的第二方面，提供了一種微機電系統力學傳感器單體，包括單體外殼、根據實施例所述的微機電系統力學傳感器以及集成電路芯片，其中，所述微機電系統力學傳感器以及集成電路芯片被設置在所述單體外殼中。

根據本說明書的第三方面，提供了一種電子設備，包括根據實施例所述的微機電系統力學傳感器。

在不同實施例中，由于不需要將磁阻和電流線設置在同一個平面內，因此，可以簡化微機電系統力學傳感器的制造工藝。

應當理解的是，以上的一般描述和后文的細節描述僅是示例性和解釋性的，并不能限制本說明書實施例。

此外，本說明書實施例中的任一實施例并不需要達到上述的全部效果。

通過以下參照附圖對本說明書的示例性實施例的詳細描述，本說明書的實施例的其它特征及其優點將會變得清楚。

附圖說明

為了更清楚地說明本說明書實施例或現有技術中的技術方案，下面將對實施例或現有技術描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本說明書實施例中記載的一些實施例，對于本領域普通技術人員來講，還可以根據這些附圖獲得其他的附圖。

圖1示出了根據這里公開的一個實施例的微機電系統力學傳感器的局部圖。

圖2示出了根據這里公開的一個實施例的微機電系統力學傳感器。

圖3示出了根據這里公開的另一個實施例的微機電系統力學傳感器的局部圖。