[發明專利]微機電系統力學傳感器、傳感器單體及電子設備

有效

• 申請號: 202010858551.7
• 申請日: 2020-08-24
• 公開（公告）號: CN112014001B
• 公開（公告）日: 2022-06-10
• 發明（設計）人: 鄒泉波;冷群文;丁凱文;趙海輪;安琪;周汪洋;王喆;宋青林
• 申請（專利權）人: 歌爾微電子有限公司
• 主分類號: G01L1/12
• 分類號: G01L1/12;G01L9/14;G01R33/09
• 代理公司: 北京博雅睿泉專利代理事務所(特殊普通合伙) 11442
• 代理人: 吳秀娥

1.一種微機電系統力學傳感器，包括：

第一支撐件；

位于第一支撐件上的第一元件；

可移動部件，該可移動部件能接受力學作用以相對于第一支撐件產生第一位移；以及

位于可移動部件上的第二元件；

其中，在未施加所述力學作用的工作情況下，第一元件位于第二元件的元件平面外側；

其中，第一元件和第二元件中的一個是磁阻，另一個是第一電流線；以及

其中，由第一電流線對所述磁阻所施加的磁場隨所述第一位移變化，以使得所述磁阻的阻值變化，從而產生傳感器信號。

2.根據權利要求1所述的微機電系統力學傳感器，其中，第一元件是第一電流線，以及第二元件是磁阻。

3.根據權利要求2所述的微機電系統力學傳感器，還包括：

第二支撐件，所述可移動部件能接受所述力學作用以相對于第二支撐件產生第二位移；以及

第二電流線；

其中，第二支撐件支撐第二電流線，以使得在未施加所述力學作用的工作情況下第二電流線位于所述磁阻的元件平面外側，以及

其中，由第二電流線對所述磁阻所施加的磁場隨所述第二位移變化，以使得所述磁阻的阻值變化。

4.根據權利要求3所述的微機電系統力學傳感器，其中，在未施加所述力學作用的工作情況下，所述第一電流線和第二電流線相對于所述磁阻的元件平面對稱，以及所述磁阻位于所述第一電流線和第二電流線之間。

5.根據權利要求3或4所述的微機電系統力學傳感器，其中，所述第一電流線和第二電流線中的電流方向相同。

6.根據權利要求1-4中的任何一個所述的微機電系統力學傳感器，其中，所述電流線對所述磁阻所施加的磁場的方向與所述磁阻的釘扎方向平行。

7.根據權利要求1-4中的任何一個所述的微機電系統力學傳感器，其中，所述第一元件相對于所述第二元件位于所述微機電系統力學傳感器內側。

8.根據權利要求1-4中的任何一個所述的微機電系統力學傳感器，其中，在所述可移動部件上設置有質量塊，以使得所述磁阻在所述力學作用下產生加速度傳感器信號；或者

其中，所述微機電系統力學傳感器包括密封腔，所述可移動部件是密封腔的壓力感測膜，以使得所述磁阻在所述力學作用下產生壓力傳感器信號。

9.根據權利要求1-4中的任何一個所述的微機電系統力學傳感器，其中，所述微機電系統力學傳感器是微機電系統麥克風、微機電系統壓力傳感器和微機電系統加速度傳感器中的一個。

10.一種微機電系統力學傳感器單體，包括單體外殼、根據權利要求1所述的微機電系統力學傳感器以及集成電路芯片，其中，所述微機電系統力學傳感器以及集成電路芯片被設置在所述單體外殼中。

11.一種電子設備，包括根據權利要求10所述的微機電系統力學傳感器單體。