[發(fā)明專(zhuān)利]一種晶圓放料盒高低調(diào)節(jié)式放置臺(tái)座機(jī)構(gòu)

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202010853921.8
• 申請(qǐng)日: 2020-08-24
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN111883471A
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-11-03
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 羅永勝
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 臺(tái)州市老林裝飾有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): H01L21/673
• 分類(lèi)號(hào): H01L21/673
• 代理公司: 藍(lán)天知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理(浙江)有限公司 33229
• 代理人: 王衛(wèi)兵

1.一種晶圓放料盒高低調(diào)節(jié)式放置臺(tái)座機(jī)構(gòu)，包括固定底座(10)，其特征在于：所述固定底座(10)的下部設(shè)有下橫向支撐板(11)，下橫向支撐板(11)的底面中部固定有提升伺服電機(jī)(12)，提升伺服電機(jī)(12)的輸出軸穿過(guò)下橫向支撐板(11)的頂面并通過(guò)聯(lián)軸器連接有豎直螺套(13)，豎直螺套(13)上螺接有豎直提升螺桿(14)，豎直提升螺桿(14)的頂端固定有提升板(15)，提升板(15)的側(cè)壁固定有導(dǎo)向套體(16)，導(dǎo)向套體(16)插套在固定底座(10)的頂板上成型有的導(dǎo)向通孔(17)中；

所述提升板(15)的頂面固定有儲(chǔ)料底板(20)，儲(chǔ)料底板(20)的頂面的前部和后部均固定有側(cè)板體(21)，兩個(gè)側(cè)板體(21)的相對(duì)壁面上均成型有多個(gè)側(cè)邊槽(22)，晶圓(100)的前部和后部插套在對(duì)應(yīng)的側(cè)邊槽(22)中。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶圓放料盒高低調(diào)節(jié)式放置臺(tái)座機(jī)構(gòu)，其特征在于：所述固定底座(10)的頂板的頂面上固定有安裝固定板(18)，安裝固定板(18)的中部具有中心通槽(181)，導(dǎo)向套體(16)的上部插套在中心通槽(181)中。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種晶圓放料盒高低調(diào)節(jié)式放置臺(tái)座機(jī)構(gòu)，其特征在于：所述中心通槽(181)的內(nèi)側(cè)壁上固定有自潤(rùn)滑耐磨層(182)，自潤(rùn)滑耐磨層(182)緊貼導(dǎo)向套體(16)的外側(cè)壁。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶圓放料盒高低調(diào)節(jié)式放置臺(tái)座機(jī)構(gòu)，其特征在于：所述導(dǎo)向套體(16)的下部外側(cè)壁上固定有限位定位塊(1)，限位定位塊(1)對(duì)著固定底座(10)的頂板的底面。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶圓放料盒高低調(diào)節(jié)式放置臺(tái)座機(jī)構(gòu)，其特征在于：所述導(dǎo)向套體(16)的下部?jī)?nèi)側(cè)壁上固定有多個(gè)導(dǎo)向豎直桿(2)，導(dǎo)向豎直桿(2)的下部插套在下橫向支撐板(11)的頂面上固定有的主導(dǎo)向套體(3)中。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶圓放料盒高低調(diào)節(jié)式放置臺(tái)座機(jī)構(gòu)，其特征在于：所述提升板(15)上成型有多個(gè)定位通孔(151)，定位通孔(151)的內(nèi)側(cè)壁上螺接有多個(gè)球頭柱塞(152)，儲(chǔ)料底板(20)的底面固定有多個(gè)定位柱(23)，定位柱(23)插套在對(duì)應(yīng)的定位通孔(151)中，球頭柱塞(152)的鋼球嵌套在定位柱(23)的外側(cè)壁上成型有的環(huán)形槽(231)中。