[發明專利]一種紫外雙波段曝光鏡頭

在審

• 申請號: 202010853595.0
• 申請日: 2020-08-21
• 公開（公告）號: CN111999867A
• 公開（公告）日: 2020-11-27
• 發明（設計）人: 桂立
• 申請（專利權）人: 蘇州賽源光學科技有限公司
• 主分類號: G02B13/22
• 分類號: G02B13/22;G03F7/20
• 代理公司: 廣州市越秀區哲力專利商標事務所(普通合伙) 44288
• 代理人: 葛燕婷

本發明公開了一種紫外雙波段曝光鏡頭，包括前透鏡組、光闌以及后透鏡組，光闌位于前透鏡組及后透鏡組之間，前透鏡組包括依次設置的第一透鏡，第一透鏡為雙凸透鏡；第二透鏡，第二透鏡為平凸透鏡；第三透鏡，第三透鏡為凹凸透鏡；第四透鏡，第四透鏡為平凹透鏡；后透鏡組包括依次設置的第五透鏡，第五透鏡為凹凸透鏡；第六透鏡，第六透鏡為平凸透鏡，通過上述設計，本發明紫外雙波段曝光鏡頭能夠同時兼容375nm和405nm兩個波段的激光光源，并且結構簡單、透過率高、畸變低、物像遠心度小。

技術領域

本發明涉及光學鏡頭，尤其是涉及一種微納光刻用紫外雙波段曝光鏡頭。

背景技術

現有的紫外雙遠心鏡頭普遍只能在單一光源的窄波段下工作，如375單波段或405單波段。少數能夠做到雙波段的鏡頭，其結構復雜，透鏡數目較多，導致鏡頭的透過率下降。

發明內容

為了克服現有技術的不足，本發明的目的之一在于提供一種能夠同時兼容375nm和405nm兩個波段的激光光源，并且結構簡單、透過率高、畸變低、物像遠心度小的紫外雙波段曝光鏡頭。

本發明的目的之一采用以下技術方案實現：

一種紫外雙波段曝光鏡頭，包括前透鏡組、光闌以及后透鏡組，所述光闌位于所述前透鏡組及所述后透鏡組之間，所述前透鏡組包括依次設置的第一透鏡，所述第一透鏡為雙凸透鏡；第二透鏡，所述第二透鏡為平凸透鏡；第三透鏡，所述第三透鏡為凹凸透鏡；第四透鏡，所述第四透鏡為平凹透鏡；所述后透鏡組包括依次設置的第五透鏡，所述第五透鏡為凹凸透鏡；第六透鏡，所述第六透鏡為平凸透鏡。

進一步地，所述前透鏡組前為物方，所述后透鏡后為像方；或者所述前透鏡組前為像方，所述后透鏡后為物方。

進一步地，所述第一透鏡靠近物方表面的曲率半徑大于靠近像方表面的曲率半徑。

進一步地，所述第二透鏡靠近物方表面為凸面，靠近像方表面為平面。

進一步地，所述第三透鏡靠近物方表面為凸面，靠近像方表面為凹面。

進一步地，所述凸面的曲率半徑小于所述凹面的曲率半徑。

進一步地，所述第四透鏡靠近物方表面為平面，靠近像方表面為凹面。

進一步地，所述第五透鏡靠近物方表面為凹面，靠近像方表面為凸面。

進一步地，所述凸面的曲率半徑小于所述凹面的曲率半徑。

進一步地，所述第六透鏡靠近物方表面為凸面，靠近像方表面為平面。

相比現有技術，本發明紫外雙波段曝光鏡頭能夠同時兼容375nm和405nm兩個波段的激光光源，并且結構簡單、透過率高、畸變低、物像遠心度小。

附圖說明

圖1為本發明紫外雙波段曝光鏡頭的結構示意圖；

圖2為圖1的紫外雙波段曝光鏡頭的光路示意圖；

圖3為圖1的紫外雙波段曝光鏡頭的光源波長為375nm和405nm的雙波段MTF圖；

圖4為圖1的紫外雙波段曝光鏡頭的像方遠心度曲線圖；

圖5為圖1的紫外雙波段曝光鏡頭的光源波長為375nm時鏡頭成像點列圖；

圖6為圖1的紫外雙波段曝光鏡頭的光源波長為405nm時鏡頭成像點列圖；

圖7為圖1的紫外雙波段曝光鏡頭的光源波長為375nm及405nm時鏡頭成像點列圖；

圖8為圖1的紫外雙波段曝光鏡頭的場曲圖；

圖9為圖1的紫外雙波段曝光鏡頭的畸變圖。