[發(fā)明專利]廢氣處理裝置

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202010847273.5
• 申請日: 2020-08-21
• 公開（公告）號: CN112403247A
• 公開（公告）日: 2021-02-26
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 關(guān)根貴史;稻田高典;宮崎一知;花房直也
• 申請（專利權(quán)）人: 株式會社荏原制作所
• 主分類號: B01D53/79
• 分類號: B01D53/79
• 代理公司: 上海華誠知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 31300
• 代理人: 肖華

一種廢氣處理裝置，用于通過使處理氣體與液體接觸而將處理氣體無害化，該廢氣處理裝置具備：吸入殼體，該吸入殼體具有吸入口及導(dǎo)出口，該吸入口吸入所述處理氣體，該導(dǎo)出口供所述處理氣體流出；液槽，該液槽接受所述吸入殼體的所述導(dǎo)出口側(cè)的部分，并儲存液體；以及一個(gè)或多個(gè)噴霧噴嘴，該一個(gè)或多個(gè)噴霧噴嘴配置于所述液槽內(nèi)，所述吸入殼體的所述導(dǎo)出口配置為，與所述液槽內(nèi)的液體的液面相比位于上方，所述一個(gè)或多個(gè)噴霧噴嘴的噴霧構(gòu)成為，從周圍對所述吸入殼體的所述導(dǎo)出口的周圍的部分呈霧狀地噴出液體。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種廢氣處理裝置，詳細(xì)地說，涉及一種用于通過使處理氣體與液體接觸而將該處理氣體無害化的廢氣處理裝置。

背景技術(shù)

真空泵裝置作為半導(dǎo)體、液晶、太陽光面板、或LED等的制造設(shè)備之一而被廣泛使用。在這些的制造過程等中，將真空泵與真空室連接，并通過真空泵對導(dǎo)入到真空室內(nèi)的處理氣體進(jìn)行真空吸引。在被真空泵真空吸引的氣體中，可能含有硅烷氣體(SiH₄)、二氯硅烷氣體(SiH₂Cl₂)、氨氣(NH₃)等有害可燃性氣體，或NF₃、ClF₃、SF₆、CHF₃、C₂F₆、CF₄等鹵素難分解性氣體，不能直接向大氣中排出。因此，以往，在真空泵裝置中，在真空泵的后段設(shè)置有對被真空吸引的氣體進(jìn)行無害化處理的除害裝置(廢氣處理裝置的一例)。作為氣體的無害化處理，公知有使處理氣體與液體接觸而去除異物及水溶性成分等的濕式、以及基于燃燒處理氣體的燃燒式等。

另外，在從真空泵排出的處理氣體中，作為反應(yīng)副生成物，可能混入有因在真空室內(nèi)的反應(yīng)等而固態(tài)化的物質(zhì)或容易固態(tài)化的物質(zhì)。當(dāng)這樣的生成物侵入到除害裝置時(shí)，可能會引起配管及除害裝置的堵塞，或除害裝置的處理效率的降低。因此，存在在真空泵裝置與除害裝置之間設(shè)置用于去除異物的異物去除機(jī)構(gòu)(廢氣處理裝置的一例)的情況。

作為異物去除機(jī)構(gòu)，能夠使用例如過濾器或捕集器等。雖然過濾器或捕集器能夠通過簡易的結(jié)構(gòu)去除異物，但需要定期性的進(jìn)行交換過濾器的交換等維護(hù)。另外，作為異物去除機(jī)構(gòu)，公知有具備對氣體進(jìn)行攪拌的風(fēng)扇、驅(qū)動(dòng)風(fēng)扇的電動(dòng)機(jī)以及噴出液體的噴嘴的風(fēng)扇洗滌器。在風(fēng)扇洗滌器中，通過從噴嘴噴出的液體來捕捉異物。風(fēng)扇洗滌器作為異物去除機(jī)構(gòu)發(fā)揮功能，并且還作為廢氣處理裝置發(fā)揮功能。

在現(xiàn)有的異物去除機(jī)構(gòu)或除害裝置中，凝縮性生成物等異物可能會堆積在該異物去除機(jī)構(gòu)或除害裝置發(fā)揮功能的部分的上游側(cè)的配管等。為了防止這樣的異物向配管的堆積，進(jìn)行使配管升溫、使配管形成濕壁(液面)，或通過刮刀等機(jī)械性的刮落。這里，在使配管升溫的情況下，優(yōu)選將配管加溫至例如150℃以上的高溫。但是，在濕式除害裝置中，在供給有液體的區(qū)域附近，配管的溫度因液體而下降，從而異物可能會堆積在該附近。另外，即使在形成濕壁的情況下，凝縮性生成物等異物可能會堆積在該濕壁的上游側(cè)，或者二氯硅烷(SiH₂Cl₂)等水溶性氣體與水發(fā)生反應(yīng)的反應(yīng)生成物可能會堆積在用于形成濕壁的液體供給部。在與水發(fā)生反應(yīng)的生成物中，可能會生成反應(yīng)沒有完全結(jié)束而處于不穩(wěn)定狀態(tài)的反應(yīng)物，具體而言，是產(chǎn)生氫的高反應(yīng)性的硅氧烷混合物。當(dāng)在供給有液體的區(qū)域附近，通過刮刀等來去除異物時(shí)，眾所周知，伴隨著摩擦產(chǎn)生的靜電成為點(diǎn)火源，從而引起火災(zāi)的危險(xiǎn)。

另外，在異物去除機(jī)構(gòu)或除害裝置中，存在為了使裝置內(nèi)使用的液體循環(huán)而進(jìn)行再利用，而設(shè)置儲存液體的循環(huán)箱的情況。在該情況下，存在處理氣體與循環(huán)箱內(nèi)的液體發(fā)生反應(yīng)而形成生成物，并且生成物附著于通向循環(huán)箱的配管及/或循環(huán)箱的壁面的情況。因此，為了防止裝置的故障及/或維持裝置的處理效率，需要定期地停止裝置，并進(jìn)行用于去除生成物的維護(hù)。

現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)1：日本特開2003-251130號公報(bào)