[發(fā)明專利]一種提高石墨舟使用壽命的方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202010844609.2
• 申請日: 2020-08-20
• 公開（公告）號: CN111979531A
• 公開（公告）日: 2020-11-24
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 鄭顯濤;白玉磐;陳園;張明明
• 申請（專利權(quán)）人: 江西展宇新能科技有限公司
• 主分類號: C23C16/52
• 分類號: C23C16/52;C23C16/505;H01L31/18
• 代理公司: 北京集佳知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11227
• 代理人: 劉翠香

本申請公開了一種提高石墨舟使用壽命的方法，包括獲取兩端開設(shè)電極孔的石墨舟；在所述石墨舟中放置鍍膜對象；將所述石墨舟的兩端交替朝向爐尾放入鍍膜設(shè)備中，對所述鍍膜對象進行鍍膜，因此就不會存在石墨舟一端沉積的膜層比另一端厚的問題了，而是兩端基本具有同樣的厚度，導(dǎo)電性保持基本一致，那么其上的鍍膜對象的鍍膜厚度就更加均勻，從而該方案能夠在低成本的基礎(chǔ)上，增加石墨舟沉積厚度的均勻性，達到提高石墨舟使用壽命的目的。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明屬于新能源設(shè)備制造技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種提高石墨舟使用壽命的方法。

背景技術(shù)

PERC太陽能電池的制備過程中，通常使用管式PECVD方式制備正面和背面的鈍化減反射膜，石墨舟是用于承載硅片并為硅片導(dǎo)電的裝備，隨著單管產(chǎn)能和硅片尺寸的不斷增加，一個石墨舟內(nèi)的片間鍍膜均勻性就面臨著越來越大的挑戰(zhàn)，如何降低片間均勻性以滿足生產(chǎn)要求成為一個亟待解決的問題。

石墨舟已經(jīng)從一開始的單舟產(chǎn)能240片(20排6列)發(fā)展到了現(xiàn)在的352片(22排8列)，一般情況下，鍍膜時需要往爐管內(nèi)通入氣體，并給石墨舟通電，在射頻電的作用下，氣體變成等離子電漿，在電場作用下，沉積在硅片表面形成膜。如圖1所示，圖1為現(xiàn)有的石墨舟的示意圖，一般而言，電從石墨舟的一側(cè)的電極孔通入，且電極孔一側(cè)是在爐管的尾部，而氣體則是從爐口位置通入。在實際的鍍膜過程中，通過控制不同溫區(qū)的溫度、壓力和氣體流量來調(diào)整舟內(nèi)鍍膜的均勻性，即便這樣，均勻性還是不夠好，不同溫區(qū)的膜層厚度仍然存在規(guī)律性的差異，使用石墨舟達到一定次數(shù)之后，石墨舟上從爐口到爐尾沉積的膜層的顏色從藍逐漸變白，也就是說，膜層厚度逐漸變大。而石墨舟沉積的膜層厚度與石墨和硅片之間的導(dǎo)電率一般成負相關(guān)性，所以石墨舟使用的次數(shù)越多，石墨舟的不同溫區(qū)的膜層厚度差異就越大，現(xiàn)在通常是通過控制石墨舟的使用次數(shù)來控制鍍膜的均勻性，也就是說，使用到一定次數(shù)以后就不用了，可見這極大影響了石墨舟的使用壽命。

綜上所述，現(xiàn)有的利用石墨舟使用次數(shù)的控制來提高石墨舟鍍膜均勻性的方法，一方面增加了清洗化學(xué)品的消耗量，另一方面也增加了鍍舟時間和消耗品，還需要增加用于周轉(zhuǎn)的石墨舟數(shù)量，成本比較高。

發(fā)明內(nèi)容

為解決上述問題，本發(fā)明提供了一種提高石墨舟使用壽命的方法，能夠在低成本的基礎(chǔ)上，增加石墨舟沉積厚度的均勻性，達到提高石墨舟使用壽命的目的。

本發(fā)明提供的一種提高石墨舟使用壽命的方法，包括：

獲取兩端開設(shè)電極孔的石墨舟；

在所述石墨舟中放置鍍膜對象；

將所述石墨舟的兩端交替朝向爐尾放入鍍膜設(shè)備中，對所述鍍膜對象進行鍍膜。

優(yōu)選的，在上述提高石墨舟使用壽命的方法中，所述將所述石墨舟的兩端交替朝向爐尾放入鍍膜設(shè)備中為：

當?shù)谄鏀?shù)次使用所述石墨舟時，將所述石墨舟的第一端朝向爐尾放入所述鍍膜設(shè)備中；

當?shù)谂紨?shù)次使用所述石墨舟時，將所述石墨舟的第二端朝向爐尾放入所述鍍膜設(shè)備中。

優(yōu)選的，在上述提高石墨舟使用壽命的方法中，所述將所述石墨舟的兩端交替朝向爐尾放入鍍膜設(shè)備中為：

每使用預(yù)設(shè)次數(shù)的石墨舟以后，調(diào)換所述石墨舟的方向，換成所述石墨舟的另一端朝向爐尾放入所述鍍膜設(shè)備中。

優(yōu)選的，在上述提高石墨舟使用壽命的方法中，所述預(yù)設(shè)次數(shù)不大于5次。

優(yōu)選的，在上述提高石墨舟使用壽命的方法中，所述獲取兩端開設(shè)電極孔的石墨舟為：

在一端開設(shè)電極孔的石墨舟的另一端開設(shè)另一個電極孔。

優(yōu)選的，在上述提高石墨舟使用壽命的方法中，所述鍍膜設(shè)備為PECVD設(shè)備。