[發(fā)明專利]一種提高石墨舟使用壽命的方法在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 202010844609.2 | 申請日： | 2020-08-20 |
| 公開（公告）號： | CN111979531A | 公開（公告）日： | 2020-11-24 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 鄭顯濤;白玉磐;陳園;張明明 | 申請（專利權(quán)）人： | 江西展宇新能科技有限公司 |
| 主分類號： | C23C16/52 | 分類號： | C23C16/52;C23C16/505;H01L31/18 |
| 代理公司： | 北京集佳知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11227 | 代理人： | 劉翠香 |
| 地址： | 334100 江西*** | 國省代碼： | 江西;36 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 提高 石墨 使用壽命 方法 | ||
1.一種提高石墨舟使用壽命的方法，其特征在于，包括：
獲取兩端開設(shè)電極孔的石墨舟；
在所述石墨舟中放置鍍膜對象；
將所述石墨舟的兩端交替朝向爐尾放入鍍膜設(shè)備中，對所述鍍膜對象進行鍍膜。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的提高石墨舟使用壽命的方法，其特征在于，所述將所述石墨舟的兩端交替朝向爐尾放入鍍膜設(shè)備中為：
當?shù)谄鏀?shù)次使用所述石墨舟時，將所述石墨舟的第一端朝向爐尾放入所述鍍膜設(shè)備中；
當?shù)谂紨?shù)次使用所述石墨舟時，將所述石墨舟的第二端朝向爐尾放入所述鍍膜設(shè)備中。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的提高石墨舟使用壽命的方法，其特征在于，所述將所述石墨舟的兩端交替朝向爐尾放入鍍膜設(shè)備中為：
每使用預(yù)設(shè)次數(shù)的石墨舟以后，調(diào)換所述石墨舟的方向，換成所述石墨舟的另一端朝向爐尾放入所述鍍膜設(shè)備中。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的提高石墨舟使用壽命的方法，其特征在于，所述預(yù)設(shè)次數(shù)不大于5次。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的提高石墨舟使用壽命的方法，其特征在于，所述獲取兩端開設(shè)電極孔的石墨舟為：
在一端開設(shè)電極孔的石墨舟的另一端開設(shè)另一個電極孔。
6.根據(jù)權(quán)利要求1-5任一項所述的提高石墨舟使用壽命的方法，其特征在于，所述鍍膜設(shè)備為PECVD設(shè)備。
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C23C 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面擴散法，化學(xué)轉(zhuǎn)化或置換法的金屬材料表面處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆
C23C16-00 通過氣態(tài)化合物分解且表面材料的反應(yīng)產(chǎn)物不留存于鍍層中的化學(xué)鍍覆，例如化學(xué)氣相沉積
C23C16-01 .在臨時基體上，例如在隨后通過浸蝕除去的基體上
C23C16-02 .待鍍材料的預(yù)處理
C23C16-04 .局部表面上的鍍覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金屬材料的沉積為特征的
C23C16-22 .以沉積金屬材料以外之無機材料為特征的
