[發(fā)明專利]一種光刻膠去除裝置

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202010841196.2
• 申請日: 2020-08-19
• 公開（公告）號: CN111880385A
• 公開（公告）日: 2020-11-03
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 許忠暉;王東銘;陳嘉勇;蘇財寶
• 申請（專利權(quán)）人: 泉芯集成電路制造(濟(jì)南)有限公司
• 主分類號: G03F7/42
• 分類號: G03F7/42
• 代理公司: 北京超凡宏宇專利代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 11463
• 代理人: 張偉

本發(fā)明提供一種光刻膠去除裝置，涉及半導(dǎo)體設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，用于去除待加工芯片上的光刻膠，包括：第一噴嘴、第二噴嘴和基座，待加工芯片設(shè)置于基座；第一噴嘴和第二噴嘴分別位于待加工芯片相對的兩側(cè)，第一噴嘴朝向待加工芯片的上表面噴灑清潔液；第二噴嘴朝向待加工芯片的下表面噴灑加熱后的氮?dú)庖约訜岽庸ば酒令A(yù)設(shè)反應(yīng)溫度。實(shí)現(xiàn)將氮?dú)獾臏囟葌鬟f至待加工芯片，使得待加工芯片的表面溫度升高，通過控制氮?dú)獾臏囟龋纯蓪?shí)現(xiàn)對待加工芯片表面的溫度，即預(yù)設(shè)反應(yīng)溫度進(jìn)行精確控制，使得清潔液在與光刻膠反應(yīng)時能夠始終保持在高效溫度區(qū)間，進(jìn)而在提高反應(yīng)速率的同時，也進(jìn)一步的提高清洗的效率以及效果。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及半導(dǎo)體設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，具體而言，涉及一種光刻膠去除裝置。

背景技術(shù)

隨著科技的進(jìn)步，半導(dǎo)體在集成電路、消費(fèi)電子、通信系統(tǒng)、光伏發(fā)電、照明應(yīng)用、大功率電源轉(zhuǎn)換等領(lǐng)域應(yīng)用越來越廣泛。在半導(dǎo)體芯片的制備過程中，采用設(shè)備對晶圓進(jìn)行加工，在定義刻蝕圖形時需要涂覆一層光刻膠，在等離子處理工藝完成后芯片表面還覆蓋有一層光刻膠層。因此在完成等離子體刻蝕操作之后，需要將芯片轉(zhuǎn)移至光刻膠去除裝置內(nèi)，用以剝離芯片表面的光刻膠。

現(xiàn)有剝離光刻膠的方法主要是將清潔劑加熱到剝離的溫度，然后噴灑至芯片表面，從而對光刻膠進(jìn)行剝離。但也因此，使得清潔劑作用于光刻膠時的溫度難以準(zhǔn)確控制，導(dǎo)致光刻膠難以清洗干凈。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于，針對上述現(xiàn)有技術(shù)中的不足，提供一種光刻膠去除裝置，以解決現(xiàn)有光刻膠因溫度控制不精準(zhǔn)難以清洗干凈的問題。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明實(shí)施例采用的技術(shù)方案如下：

本發(fā)明實(shí)施例的一方面，提供一種光刻膠去除裝置，用于去除待加工芯片上的光刻膠，包括：第一噴嘴、第二噴嘴和基座，待加工芯片設(shè)置于基座；第一噴嘴和第二噴嘴分別位于待加工芯片相對的兩側(cè)，第一噴嘴朝向待加工芯片的上表面噴灑清潔液；第二噴嘴朝向待加工芯片的下表面噴灑加熱后的氮?dú)庖约訜岽庸ば酒令A(yù)設(shè)反應(yīng)溫度。

可選的，第二噴嘴的噴射方向?qū)?yīng)于待加工芯片的中心。

可選的，光刻膠去除裝置包括多個第二噴嘴；多個第二噴嘴的噴射方向相對待加工芯片的另一側(cè)面呈直線排列。

可選的，光刻膠去除裝置包括多個第二噴嘴；多個第二噴嘴的噴射方向相對待加工芯片的另一側(cè)面均布排列。

可選的，基座包括座體和旋轉(zhuǎn)驅(qū)動器；待加工芯片設(shè)置于座體，旋轉(zhuǎn)驅(qū)動器與座體傳動連接，用于驅(qū)動座體旋轉(zhuǎn)以帶動待加工芯片同步旋轉(zhuǎn)。

可選的，清潔液為硫酸和雙氧水的反應(yīng)液；光刻膠去除裝置還包括用于存儲硫酸的硫酸存儲器、硫酸加熱器以及雙氧水存儲器；硫酸加熱器用于將硫酸存儲器內(nèi)的硫酸加熱至第一預(yù)設(shè)溫度，硫酸存儲器和第一噴嘴管路連接，雙氧水存儲器和第一噴嘴管路連接。

可選的，光刻膠去除裝置還包括氮?dú)獯鎯ζ骱偷獨(dú)饧訜崞鳎坏獨(dú)獯鎯ζ髋c第二噴嘴管路連接，氮?dú)饧訜崞饔糜趯⒌獨(dú)饧訜嶂恋诙A(yù)設(shè)溫度。

可選的，光刻膠去除裝置還包括傳感器和控制器；傳感器與控制器電連接，傳感器與基座對應(yīng)設(shè)置，用于檢測基座上是否安設(shè)有待加工芯片并向控制器輸出對應(yīng)的檢測信號；控制器與氮?dú)饧訜崞麟娺B接，用于根據(jù)檢測信號控制氮?dú)饧訜崞鞴ぷ鳌?/p>

可選的，第二噴嘴的材質(zhì)為聚四氟乙烯。

可選的，第二噴嘴的開口直徑為1至3毫米。

本發(fā)明的有益效果包括：