[發明專利]一種真空排氣裝置及真空排氣方法

在審

• 申請號: 202010840728.0
• 申請日: 2020-08-20
• 公開（公告）號: CN111946592A
• 公開（公告）日: 2020-11-17
• 發明（設計）人: 楊逑;錢鋒
• 申請（專利權）人: 東莞市德派精密機械有限公司
• 主分類號: F04B37/14
• 分類號: F04B37/14;F04B41/06;F04B51/00;F04B39/10;F24H7/00;F24H9/02;F24H9/20
• 代理公司: 東莞科言知識產權代理事務所(普通合伙) 44671
• 代理人: 何樹良

本發明涉及抽真空技術領域，尤其公開了一種真空排氣裝置及真空排氣方法，真空排氣裝置包括主管道件、干式渦旋泵、檢漏儀、分子泵、真空檢測儀及多個第一閥體，干式渦旋泵經由分子泵與主管道件連通，主管道件分別經由多個第一閥體與外界的多個排氣器件連通；檢漏儀分別連通干式渦旋泵及分子泵，真空檢測儀用于測量排氣器件的真空度，檢漏儀用于測量是否漏氣；本發明的真空排氣裝置構造簡單，使用方便，一次性即可完成多個排氣器件的排氣抽真空；經由檢漏儀的設置，借助第一閥體方便、快速地關閉漏氣的排氣器件；借助真空檢測儀，保證多個排氣器件的真空度的準確性及一致性；提升排氣器件的抽真空效率及抽真空良率。

技術領域

本發明涉及抽真空技術領域，尤其公開了一種真空排氣裝置及真空排氣方法。

背景技術

紅外輻射在我們身邊無處不在，利用紅外熱像觀察物體無需外界光源，紅外熱像相比可見光具有更好的穿透煙霧的能力，紅外熱像是對可見光圖像的重要補充手段。對于紅外輻射的檢測及利用滲透到現代軍事、工業、生活的各個方面，廣泛用于紅外制導、紅外夜視、安防監控和視覺增強等多個領域。

由于人眼對于紅外輻射沒有響應，因此對于紅外輻射的感知和檢測必須利用專門的紅外探測器，微測輻射熱計非制冷紅外焦平面陣列探測器即為常用的紅外探測器，微測輻射熱計非制冷紅外焦平面陣列探測器的研究始于20世紀末，21世紀開始走入大規模批量生產和應用，特別隨著在軍事領域應用外的商業民用的安防和汽車等領域的大規模應用，預計2020年以后隨著產品像素的提高和價格的降低將呈現爆炸式的增長。

微測輻射熱計非制冷紅外焦平面陣列探測器是利用物體體電阻對溫度的敏感性制成的，為了盡可能的增加器件的熱絕緣性，減小熱導以提高器件的靈敏度，現在大多采用MEMS技術實現懸浮微橋結構來解決這一問題，它主要采用兩臂支撐的微橋實現熱絕緣，Si、N作為支撐薄膜，微橋下方的硅襯底被掏空，微橋橋面上制作多晶鍺硅Poly-Si07Ge03，薄膜電阻作熱敏探測源，為了提高對紅外的吸收，還配置有Sio／SiN等復合膜作為紅外吸收層。

這種采用MEMS技術和大規模集成電路生產工藝的應用使得探測器整體性能不斷提高、成本不斷降低，由于這種探測器利用的是物體體電阻對溫度的敏感性制成的必須減小熱導以提高器件的靈敏度，器件內部必須減少氣體分子的密度封裝在真空環境中，將氣體分子的熱傳導降到最低，因此超高真空排氣技術是微測輻射熱計非制冷紅外焦平面陣列探測器生產的核心關鍵工藝，也是增加產量的受制約瓶頸。

現有技術中對微測輻射熱計非制冷紅外焦平面陣列探測器等排氣器件進行排氣抽真空的構造復雜，操作使用費時費力，且排氣抽真空的過程中不可控，使用極其不便，導致排氣器件的排氣抽真空效率低下且良率不穩定。

發明內容

為了克服現有技術中存在的缺點和不足，本發明的目的在于提供一種真空排氣裝置及真空排氣方法，構造簡單，使用方便，一次性即可完成多個排氣器件的排氣抽真空；經由檢漏儀的設置，借助第一閥體方便、快速地關閉漏氣的排氣器件；借助真空檢測儀，保證多個排氣器件的真空度的準確性及一致性；提升排氣器件的抽真空效率及抽真空良率。

為實現上述目的，本發明的一種真空排氣裝置，包括主管道件、干式渦旋泵、檢漏儀、分子泵、真空檢測儀及多個第一閥體，干式渦旋泵經由分子泵與主管道件連通，主管道件分別經由多個第一閥體與外界的多個排氣器件連通，第一閥體用于調控主管道件與排氣器件的通斷；第一閥體、排氣器件一一對應，檢漏儀分別連通干式渦旋泵及分子泵，干式渦旋泵與分子泵配合用于對多個排氣器件進行真空排氣，真空檢測儀用于測量排氣器件的真空度，檢漏儀用于測量是否漏氣。

其中，還包括升降機構及與升降機構配合使用的烘烤箱，升降機構用于驅動烘烤箱罩設住主管道件及與主管道件連通的排氣器件，烘烤箱用于加熱排氣器件，干式渦旋泵與分子泵配合并對烘烤箱加熱的排氣器件進行真空排氣。