[發明專利]一種真空排氣裝置及真空排氣方法

在審

• 申請號: 202010840728.0
• 申請日: 2020-08-20
• 公開（公告）號: CN111946592A
• 公開（公告）日: 2020-11-17
• 發明（設計）人: 楊逑;錢鋒
• 申請（專利權）人: 東莞市德派精密機械有限公司
• 主分類號: F04B37/14
• 分類號: F04B37/14;F04B41/06;F04B51/00;F04B39/10;F24H7/00;F24H9/02;F24H9/20
• 代理公司: 東莞科言知識產權代理事務所(普通合伙) 44671
• 代理人: 何樹良

1.一種真空排氣裝置，其特征在于：包括主管道件、干式渦旋泵、檢漏儀、分子泵、真空檢測儀及多個第一閥體，干式渦旋泵經由分子泵與主管道件連通，主管道件分別經由多個第一閥體與外界的多個排氣器件連通，第一閥體用于調控主管道件與排氣器件的通斷；第一閥體、排氣器件一一對應，檢漏儀分別連通干式渦旋泵及分子泵，干式渦旋泵與分子泵配合用于對多個排氣器件進行真空排氣，真空檢測儀用于測量排氣器件的真空度，檢漏儀用于檢測排氣器件是否漏氣。

2.根據權利要求1所述的真空排氣裝置，其特征在于：還包括升降機構及與升降機構配合使用的烘烤箱，升降機構用于驅動烘烤箱罩設住與主管道件連通的排氣器件，烘烤箱用于加熱排氣器件，干式渦旋泵與分子泵配合并對烘烤箱加熱的排氣器件進行真空排氣。

3.根據權利要求2所述的真空排氣裝置，其特征在于：烘烤箱包括導熱箱、罩設在導熱箱外側的外殼箱、設置在導熱箱與外殼箱之間的發熱電極、設置于外殼箱的驅動電機、設置于驅動電機的輸出軸的風扇；導熱箱與外殼箱之間形成有過氣間隙，驅動電機、風扇均位于過氣間隙內；導熱箱具有用于容設主管道件及排氣器件的容置盲腔，容置盲腔貫穿導熱箱的底面；升降機構用于連接至外殼箱的上端。

4.根據權利要求3所述的真空排氣裝置，其特征在于：烘烤箱還包括隔熱層及測溫探頭，隔熱層設置于外殼箱的內側，隔熱層位于導熱箱與外殼箱之間，過氣間隙位于導熱箱與隔熱層之間；測溫探頭突伸入過氣間隙內；外殼箱具有與過氣間隙連通的透氣孔及用于啟閉透氣孔的第二閥體。

5.根據權利要求1所述的真空排氣裝置，其特征在于：還包括充氮設備及第三閥體，充氮設備經由第三閥體與主管道件連通，第三閥體用于調控主管道件與充氮設備的通斷，充氮設備用于向排氣器件內充入氮氣。

6.根據權利要求1所述的真空排氣裝置，其特征在于：還包括消氣劑設備及第四閥體，消氣劑設備經由第四閥體與主管道件連通，第四閥體用于調控消氣劑設備與主管道件的通斷，消氣劑設備用于激活排氣器件內的消氣劑。

7.根據權利要求1所述的真空排氣裝置，其特征在于：還包括支管道件、第五閥體及第六閥體，干式渦旋泵經由支管道件與分子泵連通，第五閥體用于調控支管道件與干式渦旋泵之間的通斷；檢漏儀經由第六閥體與支管道件連通，第六閥體用于調控檢漏儀與支管道件之間的通斷。

8.一種真空排氣裝置的真空排氣方法，其特征在于，包括權1-7中任一項所述的真空排氣裝置，還包括如下步驟：

開啟干式渦旋泵及分子泵，利用干式渦旋泵及分子泵的配合經由主管道件對排氣器件進行排氣抽真空；

待真空檢測儀檢測出排氣器件的真空度等于或大于5×10^-4Pa，檢漏儀測量排氣器件是否漏氣；

排氣器件漏氣時，關閉漏氣的排氣器件對應的第一閥體；

排氣器件不漏氣時，利用封口設備對排氣器件進行封口。

9.根據權利要求8所述的真空排氣裝置的真空排氣方法，其特征在于，還包括如下步驟：

利用烘烤裝置加熱烘烤排氣器件，烘烤裝置加熱烘烤48-72h，將排氣器件的溫度加熱至150-200℃；

干式渦旋泵及分子泵的配合對烘烤裝置烘烤的排氣器件抽真空，真空檢測儀檢測出排氣器件的真空度等于或大于1×10^-5Pa，烘烤裝置停止加熱，將排氣器件的溫度降低至100℃。

10.根據權利要求9所述的真空排氣裝置的真空排氣方法，其特征在于，還包括如下步驟：

干式渦旋泵及分子泵的配合對降低至100℃的排氣器件排氣抽真空，真空檢測儀檢測出排氣器件的真空度等于或大于8×10^-6Pa，利用消氣劑設備激活排氣器件的消氣劑，激活時間為10min；利用消氣劑設備激活排氣器件的消氣劑時，真空檢測儀檢測出排氣器件的真空度高于5×10^-4Pa；消氣劑設備完成對排氣器件的激活后，干式渦旋泵及分子泵的配合對排氣器件排氣抽真空，真空檢測儀檢測出排氣器件的真空度等于或大于8×10^-6Pa，利用封口設備的液壓鉗對排氣器件進行機械封口。