[發(fā)明專利]一種用于搬送晶圓的組件及方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202010839837.0
• 申請日: 2020-08-19
• 公開（公告）號: CN111958615A
• 公開（公告）日: 2020-11-20
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 陳海龍
• 申請（專利權(quán)）人: 西安奕斯偉硅片技術(shù)有限公司
• 主分類號: B25J11/00
• 分類號: B25J11/00
• 代理公司: 西安維英格知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 61253
• 代理人: 李斌棟;姚勇政

本發(fā)明實(shí)施例公開了一種用于搬送晶圓的組件及方法，屬于晶圓生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域，該組件可以包括：搬送手臂，所述搬送手臂構(gòu)造成在空間中移動以將所述晶圓從一個位置搬送到另一位置，其中，所述搬送手臂具有夾持狀態(tài)和松開狀態(tài)，在所述夾持狀態(tài)下，所述晶圓能夠被夾緊在所述搬送手臂上，在所述松開狀態(tài)下，所述晶圓能夠相對于所述搬送手臂自由移動；惰性氣體供應(yīng)單元，所述惰性氣體供應(yīng)單元構(gòu)造成在所述搬送手臂處于所述夾持狀態(tài)時向所述晶圓供應(yīng)惰性氣體并且在所述搬送手臂處于所述松開狀態(tài)時停止供應(yīng)惰性氣體，由此實(shí)現(xiàn)在搬送晶圓的同時對晶圓進(jìn)行保護(hù)。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及晶圓生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種用于搬送晶圓的組件及方法。

背景技術(shù)

在晶圓的生產(chǎn)過程中，通常需要將晶圓從空間中的一個位置搬送至另一位置，比如將晶圓從存儲晶圓的片盒搬送至工作平臺以對晶圓進(jìn)行加工或處理，比如在不同類型的工作平臺之間搬送晶圓以實(shí)現(xiàn)對晶圓進(jìn)行不同類型的加工或處理。

在晶圓的生產(chǎn)過程中，通常利用機(jī)械手臂來搬送晶圓。機(jī)械手臂是機(jī)械人技術(shù)領(lǐng)域中得到最廣泛實(shí)際應(yīng)用的自動化機(jī)械裝置，在工業(yè)制造、醫(yī)學(xué)治療、娛樂服務(wù)、軍事、半導(dǎo)體制造以及太空探索等領(lǐng)域都能見到它的身影。盡管這些機(jī)械手臂的形態(tài)各有不同，但它們都有一個共同的特點(diǎn)，就是能夠精確地在三維(或二維)空間中的一個位置和另一位置之間移動以實(shí)現(xiàn)不同位置的作業(yè)。

然而，現(xiàn)有的用于搬送晶圓的機(jī)械手臂在搬送晶圓的過程中會產(chǎn)生以下問題：一方面，晶圓暴露在空氣中，晶圓表面會被氧化并形成氧化物，而且搬送過程所需要的時間越長，晶圓暴露在空氣中的時間越長，晶圓表面被氧化的程度越嚴(yán)重；另一方面，晶圓會受至環(huán)境因素的影響，比如環(huán)境中的顆粒、金屬離子等會附著在晶圓表面，使晶圓品質(zhì)惡化并對加工和處理過程產(chǎn)生影響。

發(fā)明內(nèi)容

為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明實(shí)施例期望提供一種用于搬送晶圓的組件及方法，能夠避免晶圓在被搬送的過程中的空氣氧化影響和環(huán)境影響，從而避免晶圓因長時間停留在空氣中而被氧化，避免顆粒、金屬離子等污染晶圓。

本發(fā)明的技術(shù)方案是這樣實(shí)現(xiàn)的：

第一方面，本發(fā)明實(shí)施例提供了一種用于搬送晶圓的組件，所述組件包括：

搬送手臂，所述搬送手臂構(gòu)造成在空間中移動以將所述晶圓從一個位置搬送到另一位置，其中，所述搬送手臂具有夾持狀態(tài)和松開狀態(tài)，在所述夾持狀態(tài)下，所述晶圓能夠被夾緊在所述搬送手臂上，在所述松開狀態(tài)下，所述晶圓能夠相對于所述搬送手臂自由移動；

惰性氣體供應(yīng)單元，所述惰性氣體供應(yīng)單元構(gòu)造成在所述搬送手臂處于所述夾持狀態(tài)時向所述晶圓供應(yīng)惰性氣體并且在所述搬送手臂處于所述松開狀態(tài)時停止供應(yīng)惰性氣體。

第二方面，本發(fā)明實(shí)施例提供了一種用于搬送晶圓的方法，所述方法應(yīng)用于根據(jù)第一方面所述的組件，所述方法包括：

使所述搬送手臂處于所述松開狀態(tài)；

使所述晶圓相對于所述搬送手臂就位；

使所述搬送手臂從所述松開狀態(tài)轉(zhuǎn)換至所述夾持狀態(tài)以將所述硅圓夾緊，同時所述惰性氣體供應(yīng)單元向所述晶圓供應(yīng)惰性氣體；

使所述搬送手臂在空間中移動以將所述晶圓從一個位置搬送到另一位置；

使所述搬送手臂從所述夾持狀態(tài)轉(zhuǎn)換至所述松開狀態(tài)，同時所述惰性氣體供應(yīng)單元停止供應(yīng)惰性氣體；

將所述晶圓從所述搬送手臂移除。