[發明專利]一種用于搬送晶圓的組件及方法

在審

• 申請號: 202010839837.0
• 申請日: 2020-08-19
• 公開（公告）號: CN111958615A
• 公開（公告）日: 2020-11-20
• 發明（設計）人: 陳海龍
• 申請（專利權）人: 西安奕斯偉硅片技術有限公司
• 主分類號: B25J11/00
• 分類號: B25J11/00
• 代理公司: 西安維英格知識產權代理事務所(普通合伙) 61253
• 代理人: 李斌棟;姚勇政

1.一種用于搬送晶圓的組件，其特征在于，所述組件包括：

搬送手臂，所述搬送手臂構造成在空間中移動以將所述晶圓從一個位置搬送到另一位置，其中，所述搬送手臂具有夾持狀態和松開狀態，在所述夾持狀態下，所述晶圓能夠被夾緊在所述搬送手臂上，在所述松開狀態下，所述晶圓能夠相對于所述搬送手臂自由移動；

惰性氣體供應單元，所述惰性氣體供應單元構造成在所述搬送手臂處于所述夾持狀態時向所述晶圓供應惰性氣體并且在所述搬送手臂處于所述松開狀態時停止供應惰性氣體。

2.根據權利要求1所述的組件，其特征在于，所述惰性氣體供應單元設置有過濾器，惰性氣體經過所述過濾器的過濾后供應給所述晶圓。

3.根據權利要求1所述的組件，其特征在于，所述惰性氣體供應單元不隨所述搬送手臂一起在所述空間中移動。

4.根據權利要求1至3中任一項所述的組件，其特征在于，所述組件還包括控制單元，所述控制單元配置成發送第一控制指令以使所述搬送手臂處于所述夾持狀態、發送第二控制指令以使所述搬送手臂處于所述松開狀態、發送第三控制指令以使所述惰性氣體供應單元向所述晶圓供應惰性氣體、發送第四控制指令以使所述惰性氣體供應單元停止供應惰性氣體，其中，所述控制單元在發送所述第一控制指令的同時發送所述第三控制指令，并且所述控制單元在發送所述第二控制指令的同時發送所述第四控制指令。

5.根據權利要求1至3中任一項所述的組件，其特征在于，所述搬送手臂包括主體部和卡舌部，其中，所述卡舌部能夠相對于所述主體部在夾持位置和松開位置之間移動，在所述夾持位置中，所述卡舌部將所述晶圓鎖定至所述主體部以使所述搬送手臂處于所述夾持狀態，在所述松開位置中，所述卡舌部將所述晶圓從所述主體部釋放以使所述搬送手臂處于所述松開狀態。

6.根據權利要求5所述的組件，其特征在于，所述卡舌部中形成有貫通通道，所述貫通通道的第一端部接收所述惰性氣體供應單元供應的惰性氣體，所述貫通通道的第二端部將接收的惰性氣體噴出至所述晶圓。

7.根據權利要求6所述的組件，其特征在于，所述惰性氣體以散射的方式噴出至所述晶圓的整個正面。

8.根據權利要求5所述的組件，其特征在于，所述卡舌部在從所述松開位置移動至所述夾持位置的同時機械地致動所述惰性氣體供應單元以向所述晶圓供應惰性氣體，并且所述卡舌部在從所述夾持位置移動至所述松開位置的同時機械地致動所述惰性氣體供應單元以停止供應惰性氣體。

9.根據權利要求5所述的組件，其特征在于，所述主體部包括止擋件，其中，所述止擋件和所述卡舌部在所述晶圓的直徑方向上相對地布置在所述晶圓的兩側。

10.一種用于搬送晶圓的方法，其特征在于，所述方法應用于根據權利要求1-9中任一項所述的組件，所述方法包括：

使所述搬送手臂處于所述松開狀態；

使所述晶圓相對于所述搬送手臂就位；

使所述搬送手臂從所述松開狀態轉換至所述夾持狀態以將所述硅圓夾緊，同時所述惰性氣體供應單元向所述晶圓供應惰性氣體；

使所述搬送手臂在空間中移動以將所述晶圓從一個位置搬送到另一位置；

使所述搬送手臂從所述夾持狀態轉換至所述松開狀態，同時所述惰性氣體供應單元停止供應惰性氣體；

將所述晶圓從所述搬送手臂移除。