[發(fā)明專利]用于電荷耗散的系統(tǒng)和方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202010831051.4
• 申請(qǐng)日: 2020-08-18
• 公開（公告）號(hào): CN112563295A
• 公開（公告）日: 2021-03-26
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 張閔
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 半導(dǎo)體元件工業(yè)有限責(zé)任公司
• 主分類號(hào): H01L27/146
• 分類號(hào): H01L27/146;H01L27/148
• 代理公司: 中國(guó)貿(mào)促會(huì)專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 11038
• 代理人: 張小穩(wěn)

本發(fā)明題為“用于電荷耗散的系統(tǒng)和方法”。本發(fā)明公開了一種通過包括圖像傳感器的嵌入式金屬連接進(jìn)行電荷耗散的系統(tǒng)和方法。具體實(shí)施方式包括半導(dǎo)體基板、耦接在半導(dǎo)體基板上方的抗反射涂覆(ARC)層、包括在ARC層內(nèi)的電荷耗散結(jié)構(gòu)和耦接在ARC層上方的鈍化層。

相關(guān)專利申請(qǐng)的交叉引用

本申請(qǐng)要求授予Min Jang的名稱為“用于電荷耗散的系統(tǒng)和方法(SYSTEMS ANDMETHODS FOR ELECTRICAL CHARGE DISSIPATION)”的美國(guó)臨時(shí)專利申請(qǐng)62/906,267的提交日期的權(quán)益，該申請(qǐng)?zhí)峤挥?019年9月26日，該申請(qǐng)的公開內(nèi)容據(jù)此全文以引用方式并入本文。

技術(shù)領(lǐng)域

本文件的各方面整體涉及半導(dǎo)體傳感器。更具體的實(shí)施方式涉及圖像傳感器。

背景技術(shù)

半導(dǎo)體傳感器用于各種電子設(shè)備，諸如車輛、智能電話、平板計(jì)算機(jī)和其他設(shè)備。圖像傳感器是一種類型的半導(dǎo)體傳感器。圖像傳感器將照射像素的光轉(zhuǎn)換為電信號(hào)。電信號(hào)可以使用數(shù)字信號(hào)處理器進(jìn)行處理以形成電子圖像。

發(fā)明內(nèi)容

圖像傳感器的實(shí)施方式可包括：半導(dǎo)體基板；耦接在半導(dǎo)體基板上方的抗反射涂覆(ARC)層；包括在ARC層內(nèi)的電荷耗散結(jié)構(gòu)；和耦接在ARC層上方的鈍化層。

圖像傳感器的實(shí)施方式可以包括以下各項(xiàng)中的一者、全部或任何一者：

濾色器陣列可耦接在鈍化層上方。

多個(gè)透鏡可耦接在濾色器陣列上方。

二氧化鉿層可耦接在ARC層上方。

背側(cè)深溝槽隔離結(jié)構(gòu)或正側(cè)深溝槽隔離結(jié)構(gòu)中的一者可包括在半導(dǎo)體基板內(nèi)。

電荷耗散結(jié)構(gòu)可包括導(dǎo)電金屬。

導(dǎo)電金屬可被配置為收集靜電荷并將靜電荷引導(dǎo)到地。

電荷耗散結(jié)構(gòu)可包括柵格。

電荷耗散結(jié)構(gòu)可包括多個(gè)基本上平行的條。

在各種實(shí)施方式中，電荷耗散結(jié)構(gòu)的至少一部分可以接觸接地式焊盤。

形成圖像傳感器的方法的實(shí)施方式可包括：提供半導(dǎo)體基板；在半導(dǎo)體基板上方形成抗反射涂覆(ARC)層；以及圖案化ARC層以在其中形成多個(gè)溝槽。該方法還可包括：將電荷耗散層形成到多個(gè)溝槽中；將像素陣列區(qū)域蝕刻到電荷耗散層中；以及在ARC層上方形成鈍化層。

形成圖像傳感器的方法的實(shí)施方式可包括以下各項(xiàng)中的一者、全部或任一者：

該方法可包括在鈍化層上方形成濾色器陣列。

該方法可包括在濾色器陣列上方形成多個(gè)透鏡。

該方法還可包括在ARC層上方形成二氧化鉿層，以及在將像素陣列區(qū)域蝕刻到電荷耗散層中期間，使用二氧化鉿層作為蝕刻阻擋件。

該方法可包括在半導(dǎo)體基板中蝕刻多個(gè)溝槽，以及用多晶硅或?qū)щ姴牧现械囊徽咛畛涠鄠€(gè)溝槽中的每個(gè)溝槽以形成背側(cè)深溝槽隔離結(jié)構(gòu)或正側(cè)深溝槽隔離結(jié)構(gòu)中的一者。

ARC層可包括耦接在第一層上方的至少第二層，并且該方法還可包括使多個(gè)溝槽中的一個(gè)或多個(gè)溝槽完全延伸穿過ARC層的第一層。

形成圖像傳感器的方法的實(shí)施方式可包括：提供半導(dǎo)體基板；在半導(dǎo)體基板上方形成抗反射涂覆(ARC)層；以及在ARC層上方形成蝕刻阻擋層。該方法還可包括：圖案化ARC層以在其中形成多個(gè)溝槽；將電荷耗散層形成到多個(gè)溝槽中；將像素陣列區(qū)域蝕刻到電荷耗散層中；以及在ARC層上方形成鈍化層。

形成圖像傳感器的方法的實(shí)施方式可包括以下各項(xiàng)中的一者、全部或任一者：