[發明專利]一種原位原子層沉積掃描電子顯微鏡

在審

• 申請號: 202010823490.0
• 申請日: 2020-08-17
• 公開（公告）號: CN111952138A
• 公開（公告）日: 2020-11-17
• 發明（設計）人: 張躍飛;屠金磊;張澤
• 申請（專利權）人: 浙江祺躍科技有限公司
• 主分類號: H01J37/28
• 分類號: H01J37/28;C23C16/455;C23C16/52;F16F15/02;F16M7/00;F16M11/42
• 代理公司: 北京高沃律師事務所 11569
• 代理人: 代芳

1.一種原位原子層沉積掃描電子顯微鏡，其特征在于：包括機架，所述機架上設置有電鏡腔室，所述電鏡腔室一側設置有開口，所述電鏡腔室一側的開口端固定連接有密封閥，所述密封閥遠離所述電鏡腔室的一側固定安裝有原子層沉積室，所述原子層沉積室遠離所述密封閥的一側固定安裝有水平設置的磁力桿，所述磁力桿內活動穿設有磁力桿軸，所述磁力桿軸端部能夠水平運動于原子層沉積室或電鏡腔室內；所述電鏡腔室頂部密封安裝有電子槍，所述電鏡腔室底部密封連接有分子泵。

2.根據權利要求1所述的原位原子層沉積掃描電子顯微鏡，其特征在于：所述機架上固定安裝有減震臺，所述電鏡腔室固定設置于所述減震臺上；所述減震臺上開設有通孔，所述分子泵通過所述減震臺的通孔與所述電鏡腔室連接。

3.根據權利要求1所述的原位原子層沉積掃描電子顯微鏡，其特征在于：所述電鏡腔室側壁上設置有觀察窗，所述觀察窗采用透明材質制成。

4.根據權利要求1所述的原位原子層沉積掃描電子顯微鏡，其特征在于：所述機架底部對稱設置有四個地腳，所述地腳的高度能夠調節。

5.根據權利要求4所述的原位原子層沉積掃描電子顯微鏡，其特征在于：所述機架底部安裝有滾輪，所述滾輪設置于相鄰兩個所述地腳之間。

6.根據權利要求2所述的原位原子層沉積掃描電子顯微鏡，其特征在于：所述電鏡腔室底部對稱設置有四個墊塊，所述電鏡腔室通過墊塊與所述減震臺固定連接。