[發明專利]一種晶圓清洗設備中的工藝調度方法、裝置

有效

• 申請號: 202010820643.6
• 申請日: 2020-08-14
• 公開（公告）號: CN111923066B
• 公開（公告）日: 2021-11-12
• 發明（設計）人: 史思雪;吳芳娜
• 申請（專利權）人: 北京北方華創微電子裝備有限公司
• 主分類號: B25J13/00
• 分類號: B25J13/00;H01L21/67
• 代理公司: 北京潤澤恒知識產權代理有限公司 11319
• 代理人: 莎日娜

本申請實施例提供了晶圓清洗設備中的工藝調度方法、裝置，該方法包括：生成可行移動集合；基于可行移動集合，生成多個移動分支，構成第一分支集合；依次訪問經過排序的第一分支集合中的每一個分支，查找滿足預設的可執行條件的移動分支；在查找到滿足可執行條件的移動分支時，停止訪問其他移動分支，根據執行該移動分支后晶圓清洗設備中的全部物料是否均處于安全位置，執行相應的操作。由此，在每一次調度過程中，不僅可以確保調度的安全性，還可以確保選擇出的可執行的移動分支為在產能方面較優的移動分支或在對物料進行處理之后物料的工藝精度方面較優的移動分支。提升晶圓清洗設備的產能、對物料進行處理之后物料的工藝精度。

技術領域

本申請涉及半導體領域，具體涉及晶圓清洗設備中的工藝調度方法、裝置。

背景技術

在晶圓清洗設備的工作過程中，對晶圓清洗設備中的機械手進行調度以分配晶圓清洗設備中的機械手執行的移動即move是最為關鍵的環節。目前，通常采用的方式為：根據晶圓清洗設備中的每一個機械手的可行移動，確定多個可能作為可執行移動分支，從多個可能作為可執行移動分支中查找在執行之后不會出現死鎖情況的移動分支，一旦查找到在執行之后不會出現死鎖情況的移動分支，停止查找，將查找到的移動分支作為可執行移動分支，執行可執行移動分支。

然而，在查找移動分支時，并未考慮每一個移動分支在晶圓清洗設備的產能方面的優劣、每一個移動分支在對物料進行處理之后物料的工藝精度方面的優劣，只要一個移動分支符合在執行之后不會出現死鎖情況，即可停止查找，將符合在執行之后不會出現死鎖情況作為可執行移動分支。相應的，也不會在晶圓清洗設備的產能方面或在對物料進行處理之后物料的工藝精度方面對移動分支進行排序，然后，挑選較優的移動分支。

調度過程是頻繁進行的，可能出現在大量的調度過程中選擇出的最終執行的可執行移動分支均不是在產能方面較優的移動分支或在對物料進行處理之后物料的工藝精度方面較優的移動分支。因此，如何在對晶圓清洗設備中的機械手進行調度的過程中選擇出較優的移動分支成為一個亟待解決的問題。

發明內容

為克服相關技術中存在的問題，本申請提供一種晶圓清洗設備中的工藝調度方法、裝置。

根據本申請實施例的第一方面，提供一種晶圓清洗設備中的工藝調度方法，包括：

生成可行移動集合，其中，所述可行移動集合包括當前所述晶圓清洗設備中每一個機械手的所有可行移動；

基于所述可行移動集合，生成多個移動分支，構成第一分支集合，其中，所述移動分支包括：多個所述可行移動，所述移動分支中每一個可行移動所屬的機械手不同；

采用預設的第一排序方式對所述第一分支集合中的所有移動分支進行排序，得到經過排序的第一分支集合，其中，所述第一排序方式包括：按照與移動分支相關的物料的恢復時間以由小至大的順序進行排序或按照與移動分支相關的物料的安全駐留時長以由小至大的順序進行排序；

依次訪問所述經過排序的第一分支集合中的每一個移動分支，查找滿足預設的可執行條件的移動分支，所述可執行條件包括：執行移動分支之后所述晶圓清洗設備不處于死鎖狀態、執行移動分支之后處于危險工藝槽中的物料不處于過泡狀態；

在查找到滿足所述可執行條件的移動分支時，停止訪問其他移動分支，判斷執行該移動分支后，所述晶圓清洗設備中的全部物料是否均處于安全位置，若否，則存儲該移動分支，虛擬執行該移動分支后返回所述生成可行移動集合的步驟，若是，則存儲該移動分支，按存儲次序將該移動分支和已存儲的移動分支組成調度移動序列，并輸出所述調度移動序列。

根據本申請實施例的第二方面，提供一種晶圓清洗設備中的工藝調度裝置，包括：

第一生成單元，被配置為生成可行移動集合，其中，所述可行移動集合包括當前所述晶圓清洗設備中每一個機械手的所有可行移動；