[發明專利]一種晶圓清洗設備中的工藝調度方法、裝置

有效

• 申請號: 202010820643.6
• 申請日: 2020-08-14
• 公開（公告）號: CN111923066B
• 公開（公告）日: 2021-11-12
• 發明（設計）人: 史思雪;吳芳娜
• 申請（專利權）人: 北京北方華創微電子裝備有限公司
• 主分類號: B25J13/00
• 分類號: B25J13/00;H01L21/67
• 代理公司: 北京潤澤恒知識產權代理有限公司 11319
• 代理人: 莎日娜

1.一種晶圓清洗設備中的工藝調度方法，其特征在于，所述方法包括以下步驟：

生成可行移動集合，其中，所述可行移動集合包括當前所述晶圓清洗設備中每一個機械手的所有可行移動；

基于所述可行移動集合，生成多個移動分支，構成第一分支集合，其中，所述移動分支包括：多個所述可行移動，所述移動分支中每一個可行移動所屬的機械手不同；

采用預設的第一排序方式對所述第一分支集合中的所有移動分支進行排序，得到經過排序的第一分支集合，其中，所述第一排序方式包括：按照與移動分支相關的物料的恢復時間以由小至大的順序進行排序或按照與移動分支相關的物料的安全駐留時長以由小至大的順序進行排序；

依次訪問所述經過排序的第一分支集合中的每一個移動分支，查找滿足預設的可執行條件的移動分支，所述可執行條件包括：執行移動分支之后所述晶圓清洗設備不處于死鎖狀態和執行移動分支之后處于危險工藝槽中的物料不處于過泡狀態；

在查找到滿足所述可執行條件的移動分支時，停止訪問其他移動分支，判斷執行該移動分支后，所述晶圓清洗設備中的全部物料是否均處于安全位置，若否，則存儲該移動分支，虛擬執行該移動分支后返回所述生成可行移動集合的步驟，若是，則存儲該移動分支，按存儲次序將該移動分支和已存儲的移動分支組成調度移動序列，并輸出所述調度移動序列。

2.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，還包括：

在查找不到滿足所述可執行條件的移動分支時，將所述可行移動集合中的每一個可行移動分別作為一個獨立移動分支，構成第二分支集合；

采用所述第一排序方式和/或預設的第二排序方式對所述第二分支集合中的所有獨立移動分支進行排序，得到經過排序的第二分支集合，其中，所述第二排序方式包括：相關物料離開所述晶圓清洗設備的獨立移動分支優先于相關物料進入所述晶圓清洗設備的獨立移動分支；

依次訪問所述經過排序的第二分支集合中的每一個獨立移動分支，查找滿足所述可執行條件的獨立移動分支；

在查找到滿足所述可執行條件的獨立移動分支時，停止訪問其他獨立移動分支，判斷執行該獨立移動分支后，所述晶圓清洗設備中的全部物料是否均處于安全位置，若否，則存儲該獨立移動分支，虛擬執行該獨立移動分支后返回所述生成可行移動集合的步驟，若是，則存儲該獨立移動分支，按存儲次序將該獨立移動分支和已存儲的移動分支和/或已存儲的獨立移動分支組成調度移動序列，并輸出所述調度移動序列。

3.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述基于所述可行移動集合，生成多個移動分支，構成第一分支集合，包括：

從所述可行移動集合中查找出多個所述機械手各自的可行移動子集合，其中，多個所述機械手包括晶片傳輸機械手、晶片抓取機械手和片盒機械手，一機械手的可行移動子集合包括：所述可行移動集合中的所有屬于該機械手的可行移動；

對來自不同可行移動子集合的可行移動進行排列組合，生成所述多個移動分支，構成所述第一分支集合，其中，所述移動分支中的每一個可行移動各自屬于一個可行移動子集合，每一個可行移動屬于的可行移動子集合不同。

4.根據權利要求3所述的方法，其特征在于，所述基于所述可行移動集合，生成多個移動分支，構成第一分支集合，還包括：

判斷所述第一分支集合是否包括問題分支，其中，所述問題分支為包括存在沖突的兩個可行移動的移動分支；

若否，將待插入可行移動集合分別插入到所述第一分支集合中的每一個移動分支中，所述待插入可行移動集合包括：每一個雙槽機械手各自的與所述晶片傳輸機械手的任意一個可行移動不沖突的可行移動；

若是，將所述問題分支中存在沖突的兩個可行移動分別作為一個獨立分支；對于每一個所述獨立分支，將所述問題分支中的除了存在沖突的兩個可行移動之外的其他可行移動插入到所述獨立分支中，得到兩個新的移動分支；將所述待插入可行移動集合分別插入所述第一分支集合中的每一個移動分支中。