[發明專利]移載裝置、光學檢測設備及光學檢測方法

在審

• 申請號: 202010820025.1
• 申請日: 2020-08-14
• 公開（公告）號: CN113125342A
• 公開（公告）日: 2021-07-16
• 發明（設計）人: 古振男;曹凱翔;高思介
• 申請（專利權）人: 由田新技股份有限公司
• 主分類號: G01N21/01
• 分類號: G01N21/01;G01N21/892
• 代理公司: 北京維澳專利代理有限公司 11252
• 代理人: 王立民;曾晨

本發明公開了一種移載裝置、光學檢測設備及光學檢測方法，移載裝置包括一吸附載臺及一承載裝置。吸附載臺包括有一載臺主體，及設置在載臺主體一側的一第一抬升單元及一第二抬升單元，第一抬升單元設置有一第一吸附單元，第二抬升單元設置有一第二吸附單元，承載裝置承載吸附載臺并在一移動區間內移動。抬升單元彼此間錯位排列以使吸附單元分別對準至相互不重疊的一第一位置及一第二位置上，分別令第二抬升單元下降且第一抬升單元上升以在第一位置上接觸待測物，或令第一抬升單元下降且第二抬升單元上升從而在第二位置上接觸待測物。

技術領域

本發明涉及一種吸附移載裝置、光學檢測設備以及光學檢測方法，特別是指一種能夠吸附料片不同位置以對料片進行全面光學檢測的移載裝置、光學檢測設備及光學檢測方法。

背景技術

隨著科技日新月異，電子產品廣泛應用于生活中，而為求提高電子產品及其零件的精密度，各種相關的檢測設備也因應而生。于自動化工業制程中，會使用移載設備進行對象的移載作業，以將對象移載至工作平臺或檢測位置，從而進行各種光學檢測或檢測后的分類作業。

于常規技術中，作為面板、基板或其他待檢測物品的設備多設置有一放置待檢測物品的工作載臺，以對待檢測物品進行相關的光學檢測。目前部分方式是通過提供氣流將待檢測物品懸浮及承載。

然而，使用氣流承載待檢測物品時，由于物品懸浮在載臺的上方，必須設置接觸于物品的定位結構，以將物品固定在檢測位置上，但是攝像機對物品進行取像時，定位結構與物品的接觸位置會讓圖像出現遮蔽區域，導致圖像出現無法檢測的區域(不檢區)，而必須進行二次檢測。再者，使用氣流承載物品進行背面檢測時，因為承靠吸附面必須與物品檢測面相反，因此在進行背檢時容易有物品掉落風險。

發明內容

本發明的主要目的在于提供一種移載裝置，包括一吸附載臺以及一承載裝置。吸附載臺包括有一載臺主體、以及一設置在載臺主體側的一第一抬升單元以及一第二抬升單元。第一抬升單元上設置有一第一吸附單元，第二抬升單元上設置有一第二吸附單元。承載裝置承載吸附載臺，承載裝置在一移動區間內移載吸附載臺。第一抬升單元與第二抬升單元彼此間錯位排列，使第一吸附單元與第二吸附單元分別對準至相互不重疊的一第一位置及一第二位置上。吸附載臺具有一第一抬升狀態，令第二抬升單元下降且第一抬升單元上升，從而在第一位置上接觸一待測物，以及一第二抬升狀態，令第一抬升單元下降且第二抬升單元上升，從而在第二位置上接觸待測物。

本發明另提供一種光學檢測設備，包括一如上所述的移載裝置、一圖像捕獲設備以及一圖像處理裝置。圖像捕獲設備設置在移載裝置的一承載裝置的一側。圖像捕獲設備在吸附載臺處于第一抬升狀態時，拍攝待測物以獲得一第一圖像。圖像捕獲設備在吸附載臺處于第二抬升狀態時，拍攝待測物以獲得一第二圖像。圖像處理裝置于獲得第一圖像及第二圖像后，將第一圖像中第一位置以外的未遮蔽區域與第二圖像中第二位置以外的未遮蔽區域結合后輸出一合并圖像。

本發明另提供一種光學檢測設備，包括一第一面取像設備以及一第二面取像設備。第一面取像設備包括一如上所述的光學檢測設備，用以拍攝待測物的一第一面的圖像、以及一設置在移載裝置一側的頂升平臺，用以抬升移載裝置。第二面取像設備包括一如上所述的光學檢測設備。第二面取像設備倒置設置在頂升平臺上側，用以吸附待測物并用以拍攝待測物的一第二面的圖像。

本發明另提供一種光學檢測方法，包括以下步驟：提供一第一移載裝置，用以承載一待測物；驅動第一移載裝置的一第二抬升單元下降且一第一抬升單元上升，從而在一第一位置吸附待測物；驅動第一移載裝置沿一前向路徑移動以令待測物經過一第一圖像捕獲設備的一拍攝區域；通過第一圖像捕獲設備拍攝待測物的一第一面的一第一圖像；驅動第一移載裝置的第一抬升單元下降且第二抬升單元上升，從而在一第二位置吸附待測物；驅動第一移載裝置沿一反向路徑移動以令待測物再次經過第一圖像捕獲設備的拍攝區域；通過第一圖像捕獲設備拍攝待測物的第一面的一第二圖像；以及通過一第一圖像處理裝置接收并合并自第一圖像捕獲設備所取得之待測物的第一面的第一圖像與第二圖像。