[發(fā)明專利]移載裝置、光學(xué)檢測(cè)設(shè)備及光學(xué)檢測(cè)方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202010820025.1
• 申請(qǐng)日: 2020-08-14
• 公開（公告）號(hào): CN113125342A
• 公開（公告）日: 2021-07-16
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 古振男;曹凱翔;高思介
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 由田新技股份有限公司
• 主分類號(hào): G01N21/01
• 分類號(hào): G01N21/01;G01N21/892
• 代理公司: 北京維澳專利代理有限公司 11252
• 代理人: 王立民;曾晨

1.一種移載裝置，其特征在于，包括：

一吸附載臺(tái)，包括有一載臺(tái)主體、以及設(shè)置在所述載臺(tái)主體一側(cè)的一第一抬升單元以及一第二抬升單元，所述第一抬升單元上設(shè)置有一第一吸附單元，所述第二抬升單元上設(shè)置有一第二吸附單元；以及

一承載裝置，承載所述吸附載臺(tái)，所述承載裝置在一移動(dòng)區(qū)間內(nèi)移載所述吸附載臺(tái)；

所述第一抬升單元與所述第二抬升單元彼此間錯(cuò)位排列，使所述第一吸附單元與所述第二吸附單元分別對(duì)準(zhǔn)至相互不重疊的一第一位置及一第二位置上，所述吸附載臺(tái)具有一第一抬升狀態(tài)，令所述第二抬升單元下降且所述第一抬升單元上升，從而在所述第一位置上接觸所述待測(cè)物，以及一第二抬升狀態(tài)，令所述第一抬升單元下降且所述第二抬升單元上升，從而在所述第二位置上接觸所述待測(cè)物。

2.如權(quán)利要求1所述的移載裝置，其特征在于：

所述第一吸附單元包括一真空吸附裝置以及多個(gè)設(shè)置在所述第一抬升單元上的氣嘴，所述氣嘴分別通過管線信道連接至所述真空吸附裝置；

每一氣嘴的表面設(shè)置有一保護(hù)墊，所述保護(hù)墊對(duì)應(yīng)于所述氣嘴的位置上設(shè)置有至少一通孔；

所述第二吸附單元包括一真空吸附裝置以及多個(gè)設(shè)置在所述第二抬升單元上的氣嘴，所述氣嘴分別通過管線信道連接至所述真空吸附裝置；以及

每一氣嘴的表面設(shè)置有一保護(hù)墊，所述保護(hù)墊對(duì)應(yīng)于所述氣嘴的位置上設(shè)置有至少一通孔。

3.如權(quán)利要求1所述的移載裝置，其特征在于：

所述第一抬升單元包括一支架、以及一驅(qū)動(dòng)所述支架上升或下降的驅(qū)動(dòng)單元；以及

所述第二抬升單元包括一支架、以及一驅(qū)動(dòng)所述支架上升或下降的驅(qū)動(dòng)單元。

4.一種光學(xué)檢測(cè)設(shè)備，其特征在于，包括：

一如權(quán)利要求1-3中任一項(xiàng)所述的移載裝置；

一圖像捕獲設(shè)備，設(shè)置在所述移載裝置的所述承載裝置的一側(cè)，所述圖像捕獲設(shè)備在所述吸附載臺(tái)處于所述第一抬升狀態(tài)時(shí)拍攝所述待測(cè)物以獲得一第一圖像，所述圖像捕獲設(shè)備在所述吸附載臺(tái)處于所述第二抬升狀態(tài)時(shí)拍攝所述待測(cè)物以獲得一第二圖像；以及

一圖像處理裝置，所述圖像處理裝置于獲得所述第一圖像及所述第二圖像后，將所述第一圖像中所述第一位置以外的未遮蔽區(qū)域與所述第二圖像中所述第二位置以外的未遮蔽區(qū)域結(jié)合后輸出一合并圖像。

5.如權(quán)利要求4所述的光學(xué)檢測(cè)設(shè)備，其特征在于，所述承載裝置具有一第一動(dòng)作狀態(tài)，所述吸附載臺(tái)處于所述第一抬升狀態(tài)，將所述待測(cè)物朝一前向路徑輸送以通過所述圖像捕獲設(shè)備拍攝所述待測(cè)物的所述第一圖像，以及一第二動(dòng)作狀態(tài)，所述吸附載臺(tái)處于第二動(dòng)作狀態(tài)，將所述待測(cè)物朝一反向路徑輸送以通過所述圖像捕獲設(shè)備拍攝所述待測(cè)物的所述第二圖像。

6.一種光學(xué)檢測(cè)設(shè)備，其特征在于，包括：

一第一面取像設(shè)備，包括一如權(quán)利要求4-5中任一項(xiàng)所述的光學(xué)檢測(cè)設(shè)備，用以拍攝所述待測(cè)物的一第一面的圖像、以及一設(shè)置在所述移載裝置一側(cè)的頂升平臺(tái)，用以抬升所述移載裝置；以及

一第二面取像設(shè)備，包括一如權(quán)利要求4-5中任一項(xiàng)所述的光學(xué)檢測(cè)設(shè)備，倒置設(shè)置在所述頂升平臺(tái)上側(cè)，用以吸附所述待測(cè)物并用以拍攝所述待測(cè)物的一第二面的圖像。

7.一種光學(xué)檢測(cè)方法，其特征在于，包括以下步驟：

提供一第一移載裝置用以承載一待測(cè)物；

驅(qū)動(dòng)所述第一移載裝置的一第二抬升單元下降且一第一抬升單元上升，從而在一第一位置吸附所述待測(cè)物；

驅(qū)動(dòng)所述第一移載裝置沿一前向路徑移動(dòng)以令所述待測(cè)物經(jīng)過一第一圖像捕獲設(shè)備的一拍攝區(qū)域；

通過所述第一圖像捕獲設(shè)備拍攝所述待測(cè)物的一第一面的一第一圖像；

驅(qū)動(dòng)所述第一移載裝置的所述第一抬升單元下降且所述第二抬升單元上升，從而在一第二位置吸附所述待測(cè)物；

驅(qū)動(dòng)所述第一移載裝置沿一反向路徑移動(dòng)以令所述待測(cè)物再次經(jīng)過所述第一圖像捕獲設(shè)備的所述拍攝區(qū)域；

通過所述第一圖像捕獲設(shè)備拍攝所述待測(cè)物的所述第一面的一第二圖像；以及

通過一第一圖像處理裝置接收并合并自所述第一圖像捕獲設(shè)備所取得的所述待測(cè)物的所述第一面的所述第一圖像與所述第二圖像。