[發明專利]一種二次投料的控制方法、系統及計算機存儲介質

在審

• 申請號: 202010819440.5
• 申請日: 2020-08-14
• 公開（公告）號: CN114075693A
• 公開（公告）日: 2022-02-22
• 發明（設計）人: 不公告發明人
• 申請（專利權）人: 西安奕斯偉材料科技有限公司;西安奕斯偉硅片技術有限公司
• 主分類號: C30B15/20
• 分類號: C30B15/20;C30B29/06;C30B15/02
• 代理公司: 西安維英格知識產權代理事務所(普通合伙) 61253
• 代理人: 李斌棟;沈寒酉

本發明實施例公開了一種二次投料的控制方法、系統及計算機存儲介質；該系統包括：控制裝置、第一移動裝置、監測裝置以及第二移動裝置；其中，所述控制裝置設置于拉晶爐內或所述拉晶爐外；所述第一移動裝置設置于籽晶纜上，基于所述控制裝置的指令以控制籽晶纜的下移或上升；所述監測裝置安裝至所述拉晶爐中爐內通道內壁的托架，以監測二次投料裝置中的延伸件是否接觸并搭載于所述托架上；所述第二移動裝置安裝于所述二次投料裝置內的吊桿，基于所述控制裝置的指令以控制所述吊桿的下移以實現錐形活門的下移或上升。

技術領域

本發明實施例涉及晶圓制備技術，尤其涉及一種二次投料的控制方法、系統及計算機存儲介質。

背景技術

拉晶爐是生產單晶晶棒的專業設備。在當前的生產過程中，通常將塊狀的多晶硅原料裝入石英坩堝內熔化，熔化結束后熔液溫度穩定，采用籽晶與熔液接觸的方式通過直拉法拉制單晶晶棒。在熔化過程中，由于塊狀的多晶硅原料變成液體，使得塊狀原料間縫隙所占用的空間得到釋放，導致多晶硅的高度降低，石英坩堝尚余較大的裝填空間，造成一次投料無法生產出較長的晶棒。針對此現象，當前的常規方案是向在初次投入的多晶硅熔化完成后，向石英坩堝內進行二次投料以增加生產過程中的總投料量，這樣使得生產出的晶棒有效重量比例增加，石英坩堝的費用在總成本中所占的比例降低，從而降低了生產成本。

但是，目前二次投料的操作是由人工手動進行的，在手動操作過程中，會出現極大的可能因操作順序錯誤或誤輸入數據導致工藝事故的情況發生，造成延長工作時間的風險，所以目前手動進行二次投料操作的方案，極大的影響了生產效率。

發明內容

有鑒于此，本發明實施例期望提供一種二次投料的控制方法、系統及計算機存儲介質；能夠降低發生工藝事故的概率，避免延長工作時間的情況發生，提高單晶晶棒的生產效率。

本發明實施例的技術方案是這樣實現的：

第一方面，本發明實施例提供了一種二次投料的控制系統，所述系統包括：控制裝置、第一移動裝置、監測裝置以及第二移動裝置；其中，

所述控制裝置設置于拉晶爐內或所述拉晶爐外；所述第一移動裝置設置于籽晶纜上，基于所述控制裝置的指令以控制籽晶纜的下移或上升；所述監測裝置安裝至所述拉晶爐中爐內通道內壁的托架，以監測二次投料裝置中的延伸件是否接觸并搭載于所述托架上；所述第二移動裝置安裝于所述二次投料裝置內的吊桿，基于所述控制裝置的指令以控制所述吊桿的下移以實現錐形活門的下移或上升。

第二方面，本發明實施例提供了一種二次投料的控制方法，所述方法包括：

執行第一指令以下移籽晶纜使得二次投料裝置按照所述第一指令由初始位置按照設定的第一速度下移；

在下移所述籽晶纜的過程中，檢測所述二次投料裝置中的延伸件211是否與拉晶爐中爐內通道內壁的托架接觸；

相應于所述延伸件與所述托架接觸，執行第二指令以下移吊桿使得錐形活門根據所述第二指令按照設定的第二速度下移至設定的目標位置，以將裝盛于所述二次投料裝置中的多晶硅原料投放至所述拉晶爐內的石英坩堝中；其中，所述第二速度用于控制所述多晶硅原料投放至所述石英坩堝的投放速度。

第三方面，本發明實施例提供了一種計算機存儲介質，所述計算機存儲介質存儲有二次投料的控制程序，所述二次投料的控制程序被至少一個處理器執行時實現第二方面所述二次投料的控制方法的步驟。

本發明實施例提供了一種二次投料的控制方法、系統及計算機存儲介質；能夠自動地將二次投料裝置進行下移并安全地搭載于托架之上，并且在二次投料裝置固定于托架之后，控制吊桿自動地下移至目標位置以實現多晶硅原料的二次投料。使得在整個二次投料過程中，能夠減少甚至避免手工操作的參與，從而降低二次投料過程中出現事故或風險的概率，提高二次投料的工藝實現效率。

附圖說明

圖1為本發明實施例提供的一種拉晶爐的結構示意圖；