[發明專利]一種金屬件表面PVD鍍透明絕緣膜工藝

在審

• 申請號: 202010818319.0
• 申請日: 2020-08-14
• 公開（公告）號: CN111962025A
• 公開（公告）日: 2020-11-20
• 發明（設計）人: 不公告發明人
• 申請（專利權）人: 昆山市恒鼎新材料有限公司
• 主分類號: C23C14/16
• 分類號: C23C14/16;C23C14/10;C23C14/08;C23C14/35
• 代理公司: 蘇州智品專利代理事務所(普通合伙) 32345
• 代理人: 王利斌

本發明提供一種金屬件表面PVD鍍透明絕緣膜工藝，包含以下步驟：將鍍有顏色層的金屬件清洗后放入真空爐中，真空加熱烘干；對該金屬件進行離子清洗；關閉氬氣和工件偏壓，控制真空爐內真空度，使其內真空度維持在10^?1 Pa數量級的動態平衡壓強；控制真空爐內溫度為100?300℃，采用真空平面磁控濺射法依次為金屬件鍍上Si/Al過渡層和氧化硅/氧化鋁透明絕緣層。本發明的一種金屬件表面PVD鍍透明絕緣膜工藝，采用物理氣相沉積的原理，以真空平面磁控濺射法，在原有鍍色金屬件的外部鍍上透明絕緣層，使金屬件表面即能滿足表面絕緣，又能滿足金屬件不同顏色的使用需求；且其工藝流程簡單，環保，成本低。

技術領域

本發明涉及金屬件鍍層技術領域，具體涉及一種金屬件表面PVD鍍透明絕緣膜工藝。

背景技術

因3C金屬外觀件表面要求絕緣，通常只能在金屬件的表面鍍上一層金屬碳化物來達到金屬件表面絕緣的目的，但金屬碳化物的顏色固定，由其作為鍍層的金屬件呈現的顏色單一，嚴重限制了作為消費類電子外觀件對不同顏色的需求；而單純的為金屬件鍍上各種顏色層，則達不到金屬件表面絕緣以及金屬件易腐蝕的問題。

發明內容

為解決上述現有技術中存在的問題，本發明提供一種既能滿足金屬件表面絕緣、又能滿足金屬件不同顏色的使用需求的金屬件表面PVD鍍透明絕緣膜工藝。

為了達到上述目的，本發明采用如下技術方案：

一種金屬件表面PVD鍍透明絕緣膜工藝，包含以下步驟：

步驟S01、將鍍有顏色層的金屬件超聲波清洗后放入真空爐中，將真空爐抽真空至其本底真空度為（1.0-6.0）*10^-3 Pa，將金屬件加熱烘干；

步驟S02、向上述真空爐內通入氬氣，使其真空度達到 （5.0-9.0）*10^-1 Pa，硅/鋁靶電流為0.1-0.5A或硅/鋁靶電壓為100-250V，工件偏壓電壓為200-600V，占空比為30%-80%，對金屬件進行離子清洗；

步驟S03、關閉氬氣和工件偏壓，將真空爐抽真空至真空度為（1.0-6.0）*10^-3 Pa，隨后，以50-500sccm的流量向真空室內通入氬氣，使其內真空度維持在10^-1 Pa數量級的動態平衡壓強；

步驟S04、控制真空爐內溫度為100-300℃，采用真空平面磁控濺射法依次為金屬件鍍上Si/Al過渡層和氧化硅/氧化鋁透明絕緣層，過渡層用于改性工件表面，提升透明絕緣層與工件的結合力。

進一步地，步驟S01中，金屬件的烘干溫度為100-300℃，烘干時間為30-90 min。

進一步地，步驟S02中氬氣的通入流量為200-600sccm，金屬件離子清洗時間為30-120min。

進一步地，步驟S04中，真空平面磁控濺射法鍍膜的濺射電源為中頻電源，其頻率為20-180 KHz，功率為 20-60 KW。

進一步地，步驟S04中，過渡層和透明絕緣層鍍膜時的靶電流為20-40A，靶電壓為300-600V，鍍膜時間為2-10min，工件偏壓電壓為0-200V，占空比為20%-80%。

進一步地，步驟S04中，透明絕緣層的層數為1-15層，單層的鍍膜時間為10-180min。

進一步地，步驟S04中，透明絕緣層鍍膜時，氮氣的通入流量為50-500sccm，氧氣的通入流量為40-100sccm。