[發明專利]一種表面性能優越的正性光刻膠添加劑在審
| 申請號： | 202010816243.8 | 申請日： | 2020-08-14 |
| 公開（公告）號： | CN112180682A | 公開（公告）日： | 2021-01-05 |
| 發明（設計）人： | 楊欣;崔淑杰;賈宏平;李永強 | 申請（專利權）人： | 陜西彩虹新材料有限公司 |
| 主分類號： | G03F7/039 | 分類號： | G03F7/039;G03F7/004;G03F7/016 |
| 代理公司： | 北京卓特專利代理事務所(普通合伙) 11572 | 代理人： | 段宇 |
| 地址： | 712021 *** | 國省代碼： | 陜西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 表面 性能 優越 光刻 添加劑 | ||
【權利要求書】：
1.一種表面性能優越的正性光刻膠添加劑，其特征在于，包括親脂性非離子型表面活性劑和粘度增加劑；其中，
親脂性非離子型表面活性劑包括含硅的低聚物表面活性劑和含氟的表面活性劑。
2.按照權利要求1所述的表面性能優越的正性光刻膠添加劑，其特征在于：所述含硅的低聚物表面活性劑為聚硅氧烷類或改性聚硅氧烷類或非硅聚合物。
3.按照權利要求1所述的表面性能優越的正性光刻膠添加劑，其特征在于所述含氟的表面活性劑為全氟磺酰基化合物類。
4.按照權利要求1所述的表面性能優越的正性光刻膠添加劑，其特征在于：粘度增加劑為甲基丙烯酸酯類、聚醚改性丙烯酸酯類、羥基乙基類其中的一種。
5.按照權利要求1所述的表面性能優越的正性光刻膠添加劑，其特征在于：含氟的表面活性劑、含硅的低聚物表面活性劑和粘度增加劑的質量比為1：5-10：1-5。
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