[發明專利]一種Ti-Al合金靶材的制備方法

在審

• 申請號: 202010809266.6
• 申請日: 2020-08-12
• 公開（公告）號: CN111962032A
• 公開（公告）日: 2020-11-20
• 發明（設計）人: 姚力軍;邊逸軍;潘杰;王學澤;江勝君
• 申請（專利權）人: 寧波江豐電子材料股份有限公司
• 主分類號: C23C14/34
• 分類號: C23C14/34;B22F3/15;B22F5/00;C22C14/00;C22F1/18;C22F1/02
• 代理公司: 北京遠智匯知識產權代理有限公司 11659
• 代理人: 王巖

1.一種Ti-Al合金靶材的制備方法，其特征在于，所述制備方法包括如下步驟：

(1)將鈦粉和鋁粉在保護氣氛下混合，得到混粉；

(2)將步驟(1)得到的混粉置于包套中依次進行第一脫氣處理、第一熱等靜壓處理、第二脫氣處理及第二熱等靜壓處理，之后將所述包套去除經機加得到所述Ti-Al合金靶材。

2.如權利要求1所述的制備方法，其特征在于，所述混合中的鈦粉和鋁粉的原子數比為(1-5):1。

3.如權利要求1或2所述的制備方法，其特征在于，所述鈦粉的中值粒徑為5-200μm；

優選地，所述鋁粉的中值粒徑為5-200μm；

優選地，所述鈦粉的純度≥4N；

優選地，所述鋁粉的純度≥4N。

4.如權利要求1-3任一項所述的制備方法，其特征在于，所述保護氣氛包括氮氣和/或惰性氣體；

優選地，所述混合的時間為24-72h。

5.如權利要求1-4任一項所述的制備方法，其特征在于，所述置于包套中和第一脫氣處理之間設置有壓實作業；

優選地，所述壓實作業的壓力為5-15MPa；

優選地，所述壓實作業的保壓時間為30-300s。

6.如權利要求1-5任一項所述的制備方法，其特征在于，所述第一脫氣處理的溫度為350-500℃；

優選地，所述第一脫氣處理的時間為8-20h；

優選地，所述第一脫氣處理的絕對真空度≤1×10^-3Pa。

7.如權利要求1-6任一項所述的制備方法，其特征在于，所述第一熱等靜壓處理的溫度為350-650℃；

優選地，所述第一熱等靜壓處理的壓力≥100MPa；

優選地，所述第一熱等靜壓處理的時間為2-10h。

8.如權利要求1-7任一項所述的制備方法，其特征在于，所述第二脫氣處理的溫度為250-450℃；

優選地，所述第二脫氣處理的絕對真空度≤3×10^-3Pa；

優選地，所述第二脫氣處理的時間為5-15h。

9.如權利要求1-8任一項所述的制備方法，其特征在于，所述第二熱等靜壓處理的溫度為750-1250℃；

優選地，所述第二熱等靜壓處理的壓力≥100MPa；

優選地，所述第二熱等靜壓處理的時間為5-10h。

10.如權利要求1-9任一項所述的制備方法，其特征在于，所述制備方法包括如下步驟：

(1)將鈦粉和鋁粉在保護氣氛下混合，得到混粉；

(2)將步驟(1)得到的混粉置于包套中依次進行第一脫氣處理、第一熱等靜壓處理、第二脫氣處理及第二熱等靜壓處理，之后將所述包套去除經機加得到所述Ti-Al合金靶材；

其中，所述混合中的鈦粉和鋁粉的原子數比為(1-5):1；所述第一脫氣處理的溫度為350-500℃；所述第一脫氣處理的時間為8-20h；所述第一脫氣處理的絕對真空度≤1×10^-3Pa；所述第一熱等靜壓處理的溫度為350-650℃；所述第一熱等靜壓處理的壓力≥100MPa；所述第一熱等靜壓處理的時間為2-10h；所述第二脫氣處理的溫度為250-450℃；所述第二脫氣處理的絕對真空度≤3×10^-3Pa；所述第二脫氣處理的時間為5-15h；所述第二熱等靜壓處理的溫度為750-1250℃；所述第二熱等靜壓處理的壓力≥100MPa；所述第二熱等靜壓處理的時間為5-10h。