[發(fā)明專利]工件的確認(rèn)方法和加工方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202010800580.8
• 申請(qǐng)日: 2020-08-11
• 公開（公告）號(hào): CN112397408A
• 公開（公告）日: 2021-02-23
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 杉山智瑛
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 株式會(huì)社迪思科
• 主分類號(hào): H01L21/66
• 分類號(hào): H01L21/66;H01L21/78;H01L21/304;B28D5/00;B28D7/00
• 代理公司: 北京三友知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11127
• 代理人: 喬婉;于靖帥

本發(fā)明提供工件的確認(rèn)方法和加工方法，提出了用于根據(jù)工件的背面?zhèn)鹊呐臄z圖像而可靠地自動(dòng)判別背面?zhèn)鹊谋肋吇蛄鸭y的新技術(shù)。該工件的確認(rèn)方法對(duì)背面固定于帶(7)而正面(5a)露出并且已被分割的工件的背面(5b)進(jìn)行確認(rèn)，其中，該工件的確認(rèn)方法具有如下的步驟：拍攝步驟，利用紅外線相機(jī)(第二拍攝單元(106b))從背面(5b)側(cè)隔著帶(7)對(duì)工件進(jìn)行拍攝，形成拍攝圖像；以及檢測(cè)步驟，根據(jù)通過拍攝步驟而形成的拍攝圖像，對(duì)產(chǎn)生在背面(5n)上的崩邊(5c)和/或裂紋(5d)進(jìn)行檢測(cè)。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及對(duì)背面固定于帶而正面露出并且已被分割的工件的背面進(jìn)行確認(rèn)的確認(rèn)方法。

背景技術(shù)

已知有如下的內(nèi)容：在對(duì)作為板狀工件的半導(dǎo)體晶片進(jìn)行切割之前的預(yù)切割工序中，從背面崩邊的狀態(tài)判別切削刀具的調(diào)整是否充分。

為了進(jìn)行該判別，通過將預(yù)切割用的工件暫時(shí)從加工裝置搬出并對(duì)工件的背面進(jìn)行觀察而進(jìn)行，但已知有省略了搬出及觀察的方法。

在專利文獻(xiàn)1中，根據(jù)在工件的背面崩邊狀態(tài)與卡盤工作臺(tái)從切削刀具受到的加工負(fù)荷之間存在正相關(guān)即該加工負(fù)荷越大則背面崩邊越大這一相關(guān)關(guān)系，在預(yù)切割中測(cè)量作用于卡盤工作臺(tái)的加工負(fù)荷，從而根據(jù)該測(cè)量的加工負(fù)荷而適當(dāng)?shù)匕盐疹A(yù)切割時(shí)的背面崩邊狀態(tài)。

專利文獻(xiàn)1：日本特開2006-303367號(hào)公報(bào)

另一方面，利用顯微鏡觀察切割后的工件，從而測(cè)量崩邊(缺損)及裂紋(龜裂)的尺寸，對(duì)加工品質(zhì)進(jìn)行管理，但在以往的方法中迫切希望得到改善。

即，為了測(cè)量背面?zhèn)鹊谋肋吋傲鸭y，需要進(jìn)行一次轉(zhuǎn)移作業(yè)(帶的換貼作業(yè))、或者在利用抽出的方式拾取芯片并將該芯片的正面?zhèn)日迟N于帶而使背面露出的狀態(tài)之后進(jìn)行觀察，作業(yè)繁雜。

因此，還考慮了利用相機(jī)從背面?zhèn)韧高^帶而對(duì)粘貼于帶且已分割的工件進(jìn)行拍攝從而進(jìn)行觀察的方法。

但是，背面?zhèn)扰c正面?zhèn)炔煌词乖诒趁嫔袭a(chǎn)生微小的崩邊或裂紋，由于背面粘貼于帶，因此在拍攝圖像上也不會(huì)清晰地顯現(xiàn)。在這方面，雖然根據(jù)目視的觀察并非無法判別崩邊或裂紋，但存在難以對(duì)拍攝圖像進(jìn)行圖像處理而自動(dòng)判別崩邊或裂紋的問題。

發(fā)明內(nèi)容

鑒于以上，本申請(qǐng)發(fā)明提出了用于根據(jù)工件的背面?zhèn)鹊呐臄z圖像而可靠地自動(dòng)判別背面?zhèn)鹊谋肋吇蛄鸭y的新技術(shù)。

根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方式，提供工件的確認(rèn)方法，對(duì)背面固定于帶而正面露出并且已被分割的工件的該背面進(jìn)行確認(rèn)，其中，該工件的確認(rèn)方法具有如下的步驟：拍攝步驟，利用紅外線相機(jī)從該背面?zhèn)雀糁搸?duì)該工件進(jìn)行拍攝，形成拍攝圖像；以及檢測(cè)步驟，根據(jù)通過該拍攝步驟而形成的該拍攝圖像，對(duì)產(chǎn)生在該背面上的崩邊和/或裂紋進(jìn)行檢測(cè)。

另外，在該拍攝步驟中，在將該紅外線相機(jī)的焦點(diǎn)定位于該工件的正面的狀態(tài)下進(jìn)行拍攝。

另外，提供工件的加工方法，其中，該工件的加工方法具有如下的步驟：粘貼步驟，將該工件的背面?zhèn)日迟N于帶而使該工件的正面露出；分割步驟，對(duì)粘貼有該帶的該工件進(jìn)行分割；拍攝步驟，利用紅外線相機(jī)從該工件的該背面?zhèn)雀糁搸?duì)該工件進(jìn)行拍攝，形成拍攝圖像；以及檢測(cè)步驟，根據(jù)通過該拍攝步驟而形成的該拍攝圖像，對(duì)產(chǎn)生在該背面上的崩邊和/或裂紋進(jìn)行檢測(cè)。

根據(jù)本發(fā)明，能夠根據(jù)利用紅外線相機(jī)從背面?zhèn)雀糁鴰Ф臄z的拍攝圖像來確認(rèn)被加工物的背面狀態(tài)，能夠削減作業(yè)工時(shí)，并且能夠?qū)崿F(xiàn)時(shí)間縮短。另外，通過使用紅外線相機(jī)，能夠可靠地檢測(cè)背面?zhèn)鹊谋肋吇蛄鸭y，能夠提高檢查的可靠性。

另外，崩邊或裂紋等缺陷部位在拍攝圖像上亮度低而顯現(xiàn)得暗，據(jù)此，能夠檢測(cè)崩邊或裂紋或測(cè)量崩邊或裂紋的尺寸。具體而言，對(duì)拍攝圖像進(jìn)行多值化處理，以進(jìn)行邊緣檢測(cè)處理而檢測(cè)到的邊緣作為基準(zhǔn)，將亮度為規(guī)定的范圍的區(qū)域檢測(cè)為產(chǎn)生了裂紋或崩邊的區(qū)域。另外，能夠根據(jù)該區(qū)域的像素?cái)?shù)來測(cè)量裂紋或崩邊的尺寸。