[發明專利]工件的確認方法和加工方法

在審

• 申請號: 202010800580.8
• 申請日: 2020-08-11
• 公開（公告）號: CN112397408A
• 公開（公告）日: 2021-02-23
• 發明（設計）人: 杉山智瑛
• 申請（專利權）人: 株式會社迪思科
• 主分類號: H01L21/66
• 分類號: H01L21/66;H01L21/78;H01L21/304;B28D5/00;B28D7/00
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司 11127
• 代理人: 喬婉;于靖帥

1.一種工件的確認方法，對背面固定于帶而正面露出并且已被分割的工件的該背面進行確認，其中，

該工件的確認方法具有如下的步驟：

拍攝步驟，利用紅外線相機從該背面側隔著該帶對該工件進行拍攝，形成拍攝圖像；以及

檢測步驟，根據通過該拍攝步驟而形成的該拍攝圖像，對產生在該背面上的崩邊和/或裂紋進行檢測。

2.根據權利要求1所述的工件的確認方法，其特征在于，

在該拍攝步驟中，在將該紅外線相機的焦點定位于該工件的正面的狀態下進行拍攝。

3.一種工件的加工方法，其中，

該工件的加工方法具有如下的步驟：

粘貼步驟，將該工件的背面側粘貼于帶而使該工件的正面露出；

分割步驟，對粘貼有該帶的該工件進行分割；

拍攝步驟，利用紅外線相機從該工件的該背面側隔著該帶對該工件進行拍攝，形成拍攝圖像；以及

檢測步驟，根據通過該拍攝步驟而形成的該拍攝圖像，對產生在該背面上的崩邊和/或裂紋進行檢測。