[發明專利]產品殘留類缺陷的短路檢測方法及系統及缺陷分類系統

有效

• 申請號: 202010796484.0
• 申請日: 2020-08-10
• 公開（公告）號: CN111932515B
• 公開（公告）日: 2022-04-29
• 發明（設計）人: 不公告發明人
• 申請（專利權）人: 成都數之聯科技股份有限公司
• 主分類號: G06T7/00
• 分類號: G06T7/00;G06T7/11;G06T7/62;G06T7/136;G06V10/764;G06K9/62
• 代理公司: 成都云縱知識產權代理事務所(普通合伙) 51316
• 代理人: 熊曦;陳婉鵑

本發明公開了一種產品殘留類缺陷的短路檢測方法及系統及缺陷分類系統，涉及智能制造與人工智能技術領域，本發明利用缺陷區域內特征的等級輪廓關系，判斷缺陷區域內是否存在像素區域內的短路現象，本發明能夠放大缺陷區域得到標準區域，并判斷標準區域內是否存在像素區域內的短路現象，本發明能夠判斷是否發生跨像素區域短路；本發明能夠檢測殘留類缺陷是否造成短路，以及分析造成何種短路，大幅提升ADC模型對于特定短路缺陷的識別準確率。

技術領域

本發明涉及智能制造與人工智能技術領域，具體地，涉及一種產品殘留類缺陷的短路檢測方法及系統及缺陷分類系統。

背景技術

工業制造特別是電子制造過程中會產生各種各樣的缺陷。工業2.0時代，越來越多的電子制造商開始采用人工智能ADC(自動缺陷分類系統)來取代人力進行缺陷分類，目前人工智能主流的目標檢測模型對陣列面板刻蝕過程中殘留類缺陷能很好識別，但是對該類缺陷是否造成短路卻難以判斷。

發明內容

本發明提供了一種產品殘留類缺陷的短路檢測方法及系統及缺陷分類系統，能夠對殘留類缺陷是否造成短路進行檢測，以及造成何種短路進行分析，大幅提升ADC模型對于特定短路缺陷的識別準確率。

為實現上述目的，本發明一方面提供了一種產品殘留類缺陷的短路檢測方法，所述方法包括：

采集具有缺陷區域的產品檢測輸出圖，預處理缺陷區域；

二值化預處理后的缺陷區域，提取二值化后的缺陷區域內特征的等級輪廓關系；

利用缺陷區域內特征的等級輪廓關系，判斷缺陷區域內是否存在像素區域內的短路現象，若存在像素區域內的短路現象，則返回短路結果并結束檢測；

若缺陷區域內不存在像素區域內的短路現象，則放大缺陷區域得到標準區域，預處理標準區域，二值化預處理后的標準區域，提取二值化后的標準區域內特征的等級輪廓關系；利用標準區域內特征的等級輪廓關系，判斷標準區域內是否存在像素區域內的短路現象，若存在像素區域內的短路現象，則返回短路結果并結束檢測；

若標準區域內不存在像素區域內的短路現象，則比較產品檢測輸出圖中標準區域橫軸方向左右兩側區域的面積，選取面積較大的區域作為對照區域；

預處理標準區域和對照區域，二值化預處理后的標準區域和對照區域，提取二值化后的標準區域和對照區域的輪廓信息；

利用標準區域和對照區域的輪廓信息分別計算標準區域和對照區域的最大輪廓面積；判斷標準區域的最大輪廓面積與對照區域的最大輪廓面積比值是否大于或等于閾值，若大于或等于閾值則判斷為發生跨像素區域短路，若小于閾值則判斷未短路并結束檢測。

其中，本發明的原理為：本發明研究發現目前人工智能主流的目標檢測模型對陣列面板刻蝕過程中殘留類缺陷能很好識別，但卻難以判斷該類缺陷是否造成短路，原因是因為短路的缺陷特征是一種強業務特征且和背景的走線相關，一般深度學習特征提取很難提取到這種特殊的和背景相關的特征。本發明采用圖像處理方法，分析判斷陣列面板工藝制程中殘留引起的短路，分析殘留類缺陷是否造成短路，以及造成何種短路，大幅提升ADC模型對于特定短路缺陷的識別準確率。

優選的，預處理缺陷區域包括但不限于：缺陷區域灰度化、缺陷區域降噪、缺陷區域歸一化和缺陷區域對比度增強中的一種或幾種。其中，灰度化：降低圖像的通道數，便于二值化處理；降噪：去掉圖像中因為拍攝產生的一些非缺陷噪聲；歸一化：因為每個拍攝圖片的條件不同，導致圖片的曝光，亮度分布不一致，歸一化是為了讓每張圖片保持亮度分布保持相對統一，便于后續處理；對比度增強：增強圖片亮暗對比度，便于二值化分割。