[發(fā)明專利]諧振射頻腔的電介質(zhì)插入件上的涂層

在審

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• 申請日: 2020-08-07
• 公開（公告）號: CN112349571A
• 公開（公告）日: 2021-02-09
• 發(fā)明（設(shè)計）人: E·基夫特;P·多娜;J·F·M·范倫斯;W·費爾赫文;P·馬特塞爾斯;J·勒伊滕;O·巴科
• 申請（專利權(quán)）人: FEI公司
• 主分類號: H01J37/147
• 分類號: H01J37/147;H01J37/244;H01J37/04;H01J37/28
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 周學斌;申屠偉進

本文公開了射頻（RF）腔和包含此類RF腔的系統(tǒng)。所述RF腔特征在于具有插入件，所述插入件的至少一個側(cè)壁被涂覆有材料以防止電荷累積而不影響RF輸入功率且是熱和真空兼容的。一個實例RF腔包含：電介質(zhì)插入件，所述電介質(zhì)插入件具有從所述電介質(zhì)插入件的一側(cè)延伸到另一側(cè)的開口以形成通孔；以及涂層，所述涂層安置于所述電介質(zhì)插入件的內(nèi)表面上，所述內(nèi)表面面向所述通孔，其中所述涂層具有厚度和電阻率，所述厚度小于厚度閾值，且所述電阻率大于電阻率閾值，其中所述厚度和電阻率閾值部分地基于所述RF腔的操作參數(shù)。

技術(shù)領(lǐng)域

本申請案大體上是針對射頻腔，且更具體來說是針對射頻腔中的涂層。

背景技術(shù)

帶電粒子顯微鏡通常為被供能的發(fā)射器提供連續(xù)帶電粒子射束。雖然連續(xù)射束在大多數(shù)應(yīng)用中工作良好，但時變射束在其它應(yīng)用中將是有益的，例如在成像的同時激發(fā)樣本的時間相依測量。然而，時變帶電粒子射束較難以生成。一個已知方法是使用光學泵送發(fā)射器，其僅當光能正輻射源極時才發(fā)射帶電粒子。雖然此技術(shù)通常僅在脈沖模式中使用，但連續(xù)帶電粒子射束是可能的，但在操作中帶有不希望的缺陷。盡管專用脈沖系統(tǒng)對一些應(yīng)用有用，但期望具有可提供脈沖帶電粒子射束和連續(xù)帶電粒子射束兩者的帶電粒子顯微鏡。

發(fā)明內(nèi)容

本文公開了射頻（RF）腔和包含此類RF腔的系統(tǒng)。所述RF腔特征在于具有插入件，所述插入件的至少一個側(cè)壁被涂覆有材料以防止電荷累積而不影響RF輸入功率且是熱和真空兼容的。一個實例RF腔包含：電介質(zhì)插入件，所述電介質(zhì)插入件具有從所述電介質(zhì)插入件的一側(cè)延伸到另一側(cè)的開口以形成通孔；以及涂層，所述涂層安置于所述電介質(zhì)插入件的內(nèi)表面上，所述內(nèi)表面面向所述通孔，其中所述涂層具有厚度和電阻率，所述厚度小于厚度閾值，且所述電阻率大于電阻率閾值，其中所述厚度和電阻率閾值部分地基于所述RF腔的操作參數(shù)。

另一實例設(shè)備包含：外部殼體，所述外部殼體具有內(nèi)部腔，在所述內(nèi)部腔的頂部和底部上具有開口；插入件，其安置于所述外部殼體的所述內(nèi)部腔內(nèi)，所述插入件具有延伸一直通過所述外部殼體的頂部和底部上的開口且與所述開口對準的通孔；以及涂層，其安置于所述插入件的面向所述通孔的表面上，所述涂層具有小于厚度閾值的厚度和小于電導率閾值的電導率，其中所述涂層防止所述插入件上的電荷累積。

實例系統(tǒng)至少包含：發(fā)射器，其被耦合以沿著光學路徑發(fā)射電子射束；一組或多組光學器件，其沿著所述光學路徑布置；以及RF腔，其包含所述光學路徑的一部分，所述RF腔包括：電介質(zhì)插入件，所述電介質(zhì)插入件具有從所述電介質(zhì)插入件的一側(cè)延伸到另一側(cè)的開口以形成通孔：以及涂層，其安置于所述電介質(zhì)插入件的內(nèi)表面上，所述內(nèi)表面面向所述通孔，其中所述涂層具有厚度和電阻率，所述厚度小于厚度閾值，且所述電阻率大于電阻率閾值，其中所述厚度和電阻率閾值是部分地基于所述RF腔的操作參數(shù)。

附圖說明

圖1是根據(jù)本公開的實施例的實例帶電粒子顯微鏡。

圖2A、2B和2C是根據(jù)本公開的實施例的RF腔的實例圖示。

圖3是根據(jù)本公開的實施例的RF腔的側(cè)壁的實例圖示。

貫穿附圖的若干視圖，相似的附圖標記指代對應(yīng)的部分。

具體實施方式

下文在帶電粒子顯微鏡的上下文中描述本發(fā)明的實施例，其中啟用射頻腔來選通帶電粒子射束。舉例來說，透射式電子顯微鏡中包含射頻腔以使得可以選通電子束，使得用電子束脈沖串而不是連續(xù)電子束照射樣本。然而，應(yīng)理解，本文所描述的方法大體上適用于廣泛范圍的不同帶電粒子顯微鏡。

除非上下文另外明確規(guī)定，否則如本說明書和權(quán)利要求書中所用，單數(shù)形式“一（a/an）”和“所述”包含復數(shù)形式。另外，術(shù)語“包含”意指“包括”。此外，術(shù)語“耦合”不排除耦合項之間存在中間元件。