[發(fā)明專(zhuān)利]諧振射頻腔的電介質(zhì)插入件上的涂層

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202010788659.3
• 申請(qǐng)日: 2020-08-07
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN112349571A
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-02-09
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: E·基夫特;P·多娜;J·F·M·范倫斯;W·費(fèi)爾赫文;P·馬特塞爾斯;J·勒伊滕;O·巴科
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: FEI公司
• 主分類(lèi)號(hào): H01J37/147
• 分類(lèi)號(hào): H01J37/147;H01J37/244;H01J37/04;H01J37/28
• 代理公司: 中國(guó)專(zhuān)利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 周學(xué)斌;申屠偉進(jìn)

1. 一種射頻（RF）腔，其包括：

電介質(zhì)插入件，所述電介質(zhì)插入件具有從所述電介質(zhì)插入件的一側(cè)延伸到另一側(cè)的開(kāi)口以形成通孔；以及

涂層，其安置于所述電介質(zhì)插入件的內(nèi)表面上，所述內(nèi)表面面向所述通孔，其中所述涂層具有厚度和電阻率，所述厚度小于厚度閾值，且所述電阻率大于電阻率閾值，其中所述厚度和電阻率閾值是部分地基于所述RF腔的操作參數(shù)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的RF腔，其中所述厚度閾值小于所述涂層的趨膚深度，所述趨膚深度是基于所述涂層的所述材料的電阻率和所述操作參數(shù)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的RF腔，其中所述厚度不影響所述RF腔的諧振。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的RF腔，其中所述電阻率閾值是基于輸入功率的百分比。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的RF腔，其中基于所述電阻率的功率耗散等于或小于提供到所述RF腔的所述輸入功率的百分之十。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的RF腔，其中所述材料是非晶硅。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的RF腔，還包含外部殼體，所述外部殼體包含通孔，所述通孔一直延伸通過(guò)并對(duì)準(zhǔn)所述插入件的所述通孔。

8.一種設(shè)備，其包括：

外部殼體，所述外部殼體具有內(nèi)部腔，在所述內(nèi)部腔的頂部和底部上具有開(kāi)口；

插入件，其安置于所述外部殼體的所述內(nèi)部腔內(nèi)，所述插入件具有一直延伸通過(guò)所述外部殼體的所述頂部和底部上的所述開(kāi)口且與所述開(kāi)口對(duì)準(zhǔn)的通孔；以及

涂層，其安置于所述插入件的面向所述通孔的表面上，所述涂層具有小于厚度閾值的厚度和小于電導(dǎo)率閾值的電導(dǎo)率，其中所述涂層防止所述插入件上的電荷累積。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的設(shè)備，其中所述厚度閾值小于所述涂層的趨膚深度，所述趨膚深度是基于形成所述涂層的材料的一個(gè)或多個(gè)材料性質(zhì)且基于所述設(shè)備的操作參數(shù)。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的設(shè)備，其中確定所述厚度閾值以使得不影響所述外部殼體的射頻（RF）諧振。

11.根據(jù)權(quán)利要求8所述的設(shè)備，其中所述電導(dǎo)率閾值是基于輸入功率的百分比和所述涂層的厚度。

12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的設(shè)備，其中所述涂層的功率耗散小于輸入功率的百分之十。

13.根據(jù)權(quán)利要求8所述的設(shè)備，其中所述涂層是非晶硅。

14. 根據(jù)權(quán)利要求13所述的設(shè)備，其中所述涂層是100到500 nm厚且具有小于1.6 x10^-3 Ω^-1m^-1的電導(dǎo)率。

15.一種系統(tǒng)，其包括：

發(fā)射器，其被耦合以沿著光學(xué)路徑發(fā)射電子射束；

一組或多組光學(xué)器件，其沿著所述光學(xué)路徑布置；以及

RF腔，其包含所述光學(xué)路徑的一部分，所述RF腔包括：

電介質(zhì)插入件，所述電介質(zhì)插入件具有從所述電介質(zhì)插入件的一側(cè)延伸到另一側(cè)的開(kāi)口以形成通孔；以及

涂層，其安置于所述電介質(zhì)插入件的內(nèi)表面上，所述內(nèi)表面面向所述通孔，其中所述涂層具有厚度和電阻率，所述厚度小于厚度閾值，且所述電阻率大于電阻率閾值，其中所述厚度和電阻率閾值是部分地基于所述RF腔的操作參數(shù)。

16.根據(jù)權(quán)利要求15所述的系統(tǒng)，其中所述厚度閾值小于所述涂層的趨膚深度，所述趨膚深度是基于所述涂層的材料的電阻率和所述操作參數(shù)。

17.根據(jù)權(quán)利要求15所述的系統(tǒng)，其中所述電阻率閾值是基于輸入功率的百分比。