[發明專利]形狀測量裝置、基準器及檢測儀的校準方法

有效

• 申請號: 202010788337.9
• 申請日: 2020-08-07
• 公開（公告）號: CN112444229B
• 公開（公告）日: 2022-06-24
• 發明（設計）人: 高娜;市原浩一
• 申請（專利權）人: 住友重機械工業株式會社
• 主分類號: G01B21/20
• 分類號: G01B21/20;G01B21/24;G01B21/04
• 代理公司: 廣州三環專利商標代理有限公司 44202
• 代理人: 郝傳鑫

本發明提供一種形狀測量裝置，其在檢測儀的零點校準中不易產生零點位置的偏差。檢測儀包括排成一列的至少三個位移計，并且與測量對象物對置配置從而檢測從至少三個位移計到測量對象物為止的距離的位移。基準器支承于支承部件上從而提供檢測儀的校準用的基準面。控制裝置進行檢測儀的校準。基準器具有在至少三個位移計的排列方向上的兩處支承于支承部件上的支承結構。控制裝置在使基準面對置于至少三個位移計的狀態下進行檢測儀的校準。

本申請主張基于2019年8月30日申請的日本專利申請第2019-158610號的優先權。該日本申請的全部內容通過參考而援用于本說明書中。

技術領域

本發明涉及一種形狀測量裝置、搭載于形狀測量裝置上的檢測儀的校準方法及該檢測儀的校準中使用的基準器。

背景技術

作為測量磨削對象物(即，工件)上表面的直線度的方法，已知有一種在機測量方法，其利用磨削裝置的工件進給功能，在砂輪頭上安裝位移計從而掃描加工表面。在機測量方法中通常利用使用了包括三個位移計的檢測儀的逐次三點法(例如，專利文獻1)。在逐次三點法中，同時測量工件上表面的一條直線上的三個點的高度方向上的位置，并根據測量結果求出平面的局部彎曲程度(曲率)。對該曲率進行二階積分并通過計算求出工件上表面的直線度。直線度是指對象形狀從幾何學意義上的正確的直線偏離的程度。測量工件上表面的直線度等同于測量工件上表面的高度方向上的凹凸形狀。

為了高精度地測量對象物表面的直線度，需要進行使三個位移計的零點位于幾何學意義上的正確的平面上的檢測儀的零點校準。為了進行檢測儀的零點校準，使用具有高直線度的基準面的基準器。在測量被磨削裝置磨削后的工件上表面的直線度時，例如，在磨削后的工件上表面放置基準器并進行檢測儀的零點校準以使三個位移計的零點位于基準面上。

專利文獻1：日本特開2016-166873號公報

若在進行檢測儀的零點校準之后將基準器設置于工件上的其他位置并測量基準面的直線度，則理想的是直線度的幾何公差成為零。然而，若改變基準器的設置位置并測量基準面的直線度，則有時會出現基準面的直線度的幾何公差不是零的情況。這意味著，根據基準器的放置位置，零點校準后的零點的位置出現偏差。若不進行高精度的零點校準，則會導致工件上表面的直線度的測量精度下降。

發明內容

本發明的目的在于提供一種在檢測儀的零點校準中不易產生零點位置的偏差的形狀測量裝置及檢測儀的校準方法。本發明的另一個目的在于提供一種可用于該校準方法中的基準器。

根據本發明的一種觀點，提供一種形狀測量裝置，其具有：

檢測儀，其包括排成一列的至少三個位移計，并且通過與測量對象物對置配置從而檢測從所述至少三個位移計到所述測量對象物為止的距離的位移；

基準器，其支承于支承部件上從而提供所述檢測儀的校準用的基準面；及

控制裝置，進行所述檢測儀的校準，

所述基準器具有在所述至少三個位移計的排列方向上的兩處支承于所述支承部件上的支承結構，

所述控制裝置在使所述基準面對置于所述至少三個位移計的狀態下進行所述檢測儀的校準。

根據本發明的另一觀點，提供一種形狀測量裝置，其具有：

檢測儀，器包括排成一列的至少三個位移計，并且通過與測量對象物對置配置從而檢測從所述至少三個位移計的各個位移計到所述測量對象物為止的距離的位移；

基準器，其支承于支承部件上從而提供用于校準所述檢測儀的基準面；及

控制裝置，進行所述檢測儀的校準，