[發(fā)明專利]形狀測(cè)量裝置、基準(zhǔn)器及檢測(cè)儀的校準(zhǔn)方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202010788337.9
• 申請(qǐng)日: 2020-08-07
• 公開（公告）號(hào): CN112444229B
• 公開（公告）日: 2022-06-24
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 高娜;市原浩一
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 住友重機(jī)械工業(yè)株式會(huì)社
• 主分類號(hào): G01B21/20
• 分類號(hào): G01B21/20;G01B21/24;G01B21/04
• 代理公司: 廣州三環(huán)專利商標(biāo)代理有限公司 44202
• 代理人: 郝傳鑫

1.一種形狀測(cè)量裝置，其具有：

檢測(cè)儀，其包括排成一列的至少三個(gè)位移計(jì)，并且通過(guò)與測(cè)量對(duì)象物對(duì)置配置從而檢測(cè)從所述至少三個(gè)位移計(jì)到所述測(cè)量對(duì)象物為止的距離的位移；

基準(zhǔn)器，其支承于所述測(cè)量對(duì)象物上從而提供所述檢測(cè)儀的校準(zhǔn)用的基準(zhǔn)面；及

控制裝置，進(jìn)行所述檢測(cè)儀的校準(zhǔn)，

所述基準(zhǔn)器具有在所述至少三個(gè)位移計(jì)的排列方向上的兩處支承于所述測(cè)量對(duì)象物上的支承結(jié)構(gòu)，以使所述基準(zhǔn)器的撓曲的形狀不受所述測(cè)量對(duì)象物上表面的凹凸的影響，

所述控制裝置在使所述基準(zhǔn)面對(duì)置于所述至少三個(gè)位移計(jì)的狀態(tài)下進(jìn)行所述檢測(cè)儀的校準(zhǔn)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的形狀測(cè)量裝置，其中，

所述基準(zhǔn)器具有在一個(gè)方向上長(zhǎng)的形狀，

所述支承結(jié)構(gòu)包括從與所述基準(zhǔn)面相反的一側(cè)的底面突出的三個(gè)支腳部，所述三個(gè)支腳部中的兩個(gè)支腳部在所述基準(zhǔn)器的長(zhǎng)度方向上配置于相同的位置。

3.一種形狀測(cè)量裝置，其具有：

檢測(cè)儀，其包括排成一列的至少三個(gè)位移計(jì)，并且通過(guò)與測(cè)量對(duì)象物對(duì)置配置從而檢測(cè)從所述至少三個(gè)位移計(jì)的各個(gè)位移計(jì)到所述測(cè)量對(duì)象物為止的距離的位移；

基準(zhǔn)器，其支承于所述測(cè)量對(duì)象物上從而提供用于校準(zhǔn)所述檢測(cè)儀的基準(zhǔn)面；及

控制裝置，進(jìn)行所述檢測(cè)儀的校準(zhǔn)，

所述基準(zhǔn)器具有如下結(jié)構(gòu)：在將所述基準(zhǔn)器支承于所述測(cè)量對(duì)象物上的狀態(tài)下，所述基準(zhǔn)器會(huì)因自重而產(chǎn)生撓曲，而產(chǎn)生了撓曲的狀態(tài)下的所述基準(zhǔn)面的形狀并不受所述測(cè)量對(duì)象物上表面的凹凸的影響，

所述控制裝置在使所述基準(zhǔn)面對(duì)置于所述至少三個(gè)位移計(jì)的狀態(tài)下進(jìn)行所述檢測(cè)儀的校準(zhǔn)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一項(xiàng)所述的形狀測(cè)量裝置，其中，

所述控制裝置中存儲(chǔ)有在將所述基準(zhǔn)器放置在所述測(cè)量對(duì)象物上時(shí)在所述基準(zhǔn)面上產(chǎn)生的撓曲的形狀，并根據(jù)所存儲(chǔ)的撓曲的形狀來(lái)進(jìn)行所述檢測(cè)儀的校準(zhǔn)。

5. 根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一項(xiàng)所述的形狀測(cè)量裝置，其還具有：

輸入輸出裝置，其向所述控制裝置輸入指令，并且所述控制裝置的測(cè)量結(jié)果輸出到所述輸入輸出裝置；及

溫度傳感器，其測(cè)定反映所述檢測(cè)儀的溫度的部位的溫度，

所述控制裝置向所述輸入輸出裝置輸出剛進(jìn)行的校準(zhǔn)時(shí)由所述溫度傳感器測(cè)定的測(cè)定值及當(dāng)前時(shí)刻由所述溫度傳感器測(cè)定的測(cè)定值。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的形狀測(cè)量裝置，其中，

若剛進(jìn)行的校準(zhǔn)時(shí)由所述溫度傳感器測(cè)定的測(cè)定值與當(dāng)前時(shí)刻由所述溫度傳感器測(cè)定的測(cè)定值之差超過(guò)了閾值，則所述控制裝置使所述輸入輸出裝置輸出催促所述檢測(cè)儀的校準(zhǔn)的提醒信息。

7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的形狀測(cè)量裝置，其中，

所述控制裝置進(jìn)行如下控制：使測(cè)量對(duì)象物及所述檢測(cè)儀中的一個(gè)相對(duì)于另一個(gè)沿所述至少三個(gè)位移計(jì)的排列方向移動(dòng)并且測(cè)量并存儲(chǔ)測(cè)量對(duì)象物表面的直線度，

將測(cè)量對(duì)象物表面的直線度的多個(gè)測(cè)量結(jié)果以能夠比較的方式輸出到所述輸入輸出裝置。

8. 一種基準(zhǔn)器，其具有：

與排成一列的三個(gè)位移計(jì)對(duì)置的基準(zhǔn)面；及

從與所述基準(zhǔn)面相反一側(cè)的底面突出的三個(gè)支腳部，

所述三個(gè)支腳部中的兩個(gè)支腳部在所述基準(zhǔn)面的長(zhǎng)度方向上配置于相同的位置，以使所述基準(zhǔn)器的撓曲的形狀不受測(cè)量對(duì)象物上表面的凹凸的影響。

9.一種校準(zhǔn)方法，其為通過(guò)使排成一列的至少三個(gè)位移計(jì)與測(cè)量對(duì)象物對(duì)置配置從而檢測(cè)從所述至少三個(gè)位移計(jì)的各個(gè)位移計(jì)到所述測(cè)量對(duì)象物為止的距離的位移的檢測(cè)儀的校準(zhǔn)方法，其中，

將基準(zhǔn)器以與所述至少三個(gè)位移計(jì)對(duì)置的姿勢(shì)在所述至少三個(gè)位移計(jì)的排列方向上的兩處支承于所述測(cè)量對(duì)象物上，以使所述基準(zhǔn)器的撓曲的形狀不受所述測(cè)量對(duì)象物上表面的凹凸的影響，

在使所述至少三個(gè)位移計(jì)對(duì)置于所述基準(zhǔn)面的狀態(tài)下進(jìn)行所述檢測(cè)儀的校準(zhǔn)。