[發明專利]堿性蝕刻液及其原位電解提銅再生利用裝置和方法

在審

• 申請號: 202010779025.1
• 申請日: 2020-08-05
• 公開（公告）號: CN111926331A
• 公開（公告）日: 2020-11-13
• 發明（設計）人: 徐麟;楊代軍;黃勇
• 申請（專利權）人: 上海毅藍電子科技有限公司
• 主分類號: C23F1/34
• 分類號: C23F1/34;C23F1/46;C25C1/12;C25C7/00;C25C7/06
• 代理公司: 上海新隆知識產權代理事務所(普通合伙) 31366
• 代理人: 劉蘭英

1.堿性蝕刻液，其特征在于，包括按重量份計的以下組分：

100-150份碳酸氫銨，10-20份硝酸銨，10-20份磷酸銨，10-20份草酸銨，50-100份氯化銨，100-120份氨，180-200份銅離子，400-500份水，和1-10份烯丙基硫脲。

2.堿性蝕刻液在線原位電解提銅循環利用裝置，其特征在于，包括：

蝕刻機，其采用堿性蝕刻液對覆銅板進行蝕刻形成電路板，所述堿性蝕刻液包括按重量份計的以下組分：100-150份碳酸氫銨，10-20份硝酸銨，10-20份磷酸銨，10-20份草酸銨，50-100份氯化銨，100-120份氨，180-200份銅離子，400-500份水，和1-10份烯丙基硫脲，所述蝕刻機具有一堿性蝕刻液入口和一存放蝕刻后的堿性蝕刻廢液的廢液槽；

電解槽，其具有一堿性蝕刻廢液入口和一堿性蝕刻電解液出口，所述堿性蝕刻廢液入口與所述廢液槽之間設置有一循環泵，所述堿性蝕刻電解液出口與所述堿性蝕刻液入口連通；銅離子濃度傳感器，其設置在所述堿性蝕刻廢液槽內并檢測當前堿性蝕刻廢液的銅離子濃度值；

電解整流機，其插入所述電解槽內對所述堿性蝕刻廢液進行電解得到銅板和堿性蝕刻電解液，所述電解整流機并與所述銅離子濃度傳感器電連接，所述電解整流機根據當前堿性蝕刻廢液的銅離子濃度值進行電解電流調整使得提銅電解速度和蝕刻覆銅板的速度相同；

pH傳感器，其檢測當前堿性蝕刻溶液的pH值；

氨氣補給閥門，其與所述pH傳感器電連接，在所述pH值低于設定值時開啟以在堿性蝕刻液中通入氨氣；

安培小時傳感器，其設置在所述電解整流機上；

烯丙基硫脲補給計量泵，其與所述堿性蝕刻廢液槽連通，且所述烯丙基硫脲補給計量泵與所述安培小時傳感器電連接并定時開啟。

3.堿性蝕刻液在線原位電解提銅循環利用方法，其特征在于，包括以下步驟：

采用堿性蝕刻液對覆銅板進行蝕刻形成電路板同時得到堿性蝕刻廢液，所述堿性蝕刻液包括按重量份計的以下組分：100-150份碳酸氫銨，10-20份硝酸銨，10-20份磷酸銨，10-20份草酸銨，50-100份氯化銨，100-120份氨，180-200份銅離子，400-500份水，和1-10份烯丙基硫脲；

堿性蝕刻廢液經由循環泵到達電解槽內進行電解得到堿性蝕刻電解液和銅板，堿性蝕刻電解液回到蝕刻機內與堿性蝕刻液混合后對覆銅板進行蝕刻，完成循環；

檢測當前堿性蝕刻廢液的銅離子濃度值，電解整流機根據其進行電解電流調整使得提銅電解速度和蝕刻覆銅板的速度相同；

檢測當前堿性蝕刻液的pH值，并在其低于設定值時開啟氨氣補給閥門；

定時開啟烯丙基硫脲補給計量泵為堿性蝕刻廢液中補充烯丙基硫脲，補充量為0.1-1g/100A.h。