[發(fā)明專利]導(dǎo)電圖案及其制造方法、以及包括導(dǎo)電圖案的顯示裝置

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202010776374.8
• 申請日: 2020-08-05
• 公開（公告）號: CN112349731A
• 公開（公告）日: 2021-02-09
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 白炅?xí)G;李周炫;申鉉億
• 申請（專利權(quán)）人: 三星顯示有限公司
• 主分類號: H01L27/12
• 分類號: H01L27/12;H01L27/32;G02F1/1343
• 代理公司: 北京德琦知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11018
• 代理人: 潘懷仁;孔麗君

本發(fā)明提供了導(dǎo)電圖案及其制造方法、以及包括導(dǎo)電圖案的顯示裝置。導(dǎo)電圖案包括金屬層和設(shè)置在金屬層的第一表面上的第一低反射層，第一低反射層包括碳化鈮(NbC)和氧化鋅(ZnO)。因為根據(jù)示例性實施方式的顯示裝置包括導(dǎo)電圖案，所以減小了顯示裝置的反射率，并且改善了從顯示裝置顯示的圖像的可見性。

技術(shù)領(lǐng)域

示例性實施方式涉及導(dǎo)電圖案。更特定地，示例性實施方式涉及導(dǎo)電圖案及其制造方法、以及包括導(dǎo)電圖案的顯示裝置。

背景技術(shù)

電子裝置一般包括導(dǎo)電圖案，比如，布線或電極，以傳送電信號。顯示裝置，比如，有機(jī)發(fā)光顯示裝置或液晶顯示裝置，一般包括導(dǎo)電圖案，比如，布線或電極，以傳送用于顯示圖像的電信號或用于感測輸入的電信號。

發(fā)明內(nèi)容

當(dāng)入射至顯示裝置中的外部光被顯示裝置反射時，顯示裝置顯示的圖像的可見性可劣化。因為顯示裝置中包括的導(dǎo)電圖案包括具有相對高的反射率的材料，比如，金屬等，所以入射至顯示裝置中的外部光可被導(dǎo)電圖案反射，并且顯示裝置顯示的圖像的可見性可劣化。

示例性實施方式提供了具有相對低的反射率的導(dǎo)電圖案。

示例性實施方式提供了具有相對低的反射率的顯示裝置。

示例性實施方式提供了制造具有相對低的反射率的導(dǎo)電圖案的方法，以減少制造成本和時間。

根據(jù)實施方式的導(dǎo)電圖案可包括金屬層和設(shè)置在金屬層的第一表面上的第一低反射層，第一低反射層包括碳化鈮(NbC)和氧化鋅(ZnO)。

在示例性實施方式中，第一低反射層中包括的氧化鋅的量可小于或等于約50原子百分比(at.％)。

在示例性實施方式中，第一低反射層可進(jìn)一步包括金屬。

在示例性實施方式中，金屬可包括鋁(Al)。

在示例性實施方式中，第一低反射層中包括的金屬的量可小于或等于約5質(zhì)量百分比。

在示例性實施方式中，導(dǎo)電圖案進(jìn)一步包括設(shè)置在與第一表面相對的金屬層的第二表面上的第二低反射層，第二低反射層包括碳化鈮和氧化鋅。

在示例性實施方式中，第二低反射層中包括的氧化鋅的量可基本上等于第一低反射層中包括的氧化鋅的量。

在示例性實施方式中，第一低反射層的側(cè)壁可接觸金屬層的側(cè)壁。

在示例性實施方式中，第一低反射層的厚度可小于金屬層的厚度。

在示例性實施方式中，金屬層可包括銅(Cu)、鋁(Al)、鈦(Ti)和鉬(Mo)中的至少一種。

根據(jù)實施方式的顯示裝置可包括基板、設(shè)置在基板上的晶體管、設(shè)置在晶體管上的顯示元件、覆蓋顯示元件的封裝層以及設(shè)置在基板和封裝層之間或設(shè)置在封裝層上的導(dǎo)電圖案。導(dǎo)電圖案可包括金屬層和設(shè)置在金屬層的第一表面上的第一低反射層，第一低反射層包括碳化鈮(NbC)和氧化鋅(ZnO)。

在示例性實施方式中，金屬層可設(shè)置在基板和第一低反射層之間。

在示例性實施方式中，第一低反射層可設(shè)置在基板和金屬層之間。

在示例性實施方式中，導(dǎo)電圖案可進(jìn)一步包括設(shè)置在與第一表面相對的金屬層的第二表面上的第二低反射層，第二低反射層包括碳化鈮和氧化鋅。

在示例性實施方式中，導(dǎo)電圖案可設(shè)置在基板和封裝層之間，并且可為用于將柵信號傳送至晶體管的柵線或用于將數(shù)據(jù)信號傳送至晶體管的數(shù)據(jù)線。

在示例性實施方式中，導(dǎo)電圖案可設(shè)置在封裝層上，并且可為用于感測來自使用者的輸入的感測電極。