[發明專利]一種SHJ電池生產中不良返工方法

有效

• 申請號: 202010775191.4
• 申請日: 2020-08-03
• 公開（公告）號: CN111900232B
• 公開（公告）日: 2022-06-17
• 發明（設計）人: 孫林;孟凡英;杜俊霖;劉正新;陳功兵;何堂貴
• 申請（專利權）人: 中威新能源（成都）有限公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18;H01L31/0747
• 代理公司: 華進聯合專利商標代理有限公司 44224
• 代理人: 周孝湖

1.一種SHJ電池生產中不良返工方法，其特征在于，包括以下步驟：

S1.將收集的不良電池片放入專門返工片清洗機，清洗掉硅片表面的薄膜：

S1.1酸洗：用酸洗液對不良電池片清洗，所述酸洗液為鹽酸溶液，或者鹽酸溶液與氫氟酸溶液的混合液；

S1.2漂洗：用純水對經酸洗后的硅片進行漂洗，洗去硅片表面殘留的酸洗洗液；

S1.3 SC1液洗：用SC1液洗S1.2所得硅片；

S1.4漂洗：用純水洗進行漂洗；

S1.5烘干：將所得硅片烘干；

S2.將經S1所得的硅片，進行重新制絨，制絨時，制絨輔助劑的用量比正常制絨時的用量多1-2倍；

所述S2中，在重新制絨之前還包括預清洗步驟S2.1：采用氫氟酸與臭氧的混合溶液對經S1所得的硅片進行清洗；再用純水清洗。

2.根據權利要求1所述的一種SHJ電池生產中不良返工方法，其特征在于，S1.1酸洗液中，當酸洗液為鹽酸溶液與氫氟酸溶液的混合液時，氫氟酸溶液的體積不超過90％，水的體積不超過90％；其中鹽酸溶液中的HCl的質量濃度為36-38％，氫氟酸溶液中的HF的質量濃度為45-50％。

3.根據權利要求1所述的一種SHJ電池生產中不良返工方法，其特征在于，S1.3中，SC1液中，雙氧水的體積占1-50％，堿溶液的體積占0.1-5％，余量為水，其中，雙氧水中H₂O₂的質量濃度為28-35％，堿溶液中堿的質量濃度為42-48％。

4.根據權利要求1所述的一種SHJ電池生產中不良返工方法，其特征在于，S2包括以下步驟：

S2.2 SC1液清洗：用SC1液處理后，再用純水清洗；

S2.3制絨：進行制絨處理，制絨輔助劑的用量比正常制絨時的用量多1-2倍，制絨時間少于正常制絨時間，然后用純水漂洗；

S2.4后清洗：采用常規后清洗工藝進行后清洗處理，然后用純水漂洗；

S2.5氫氟酸洗：采用氫氟酸洗液洗，然后用純水漂洗；

S2.6烘干：將所得硅片烘干。

5.根據權利要求4所述的一種SHJ電池生產中不良返工方法，其特征在于，S2.1中，預清洗液中O₃濃度為0-100ppm，氫氟酸溶液所占體積比為0.3-10％，余量為水，其中氫氟酸溶液的中HF的質量濃度為45-50％。

6.根據權利要求4所述的一種SHJ電池生產中不良返工方法，其特征在于，S2.5中，氫氟酸洗液中，質量濃度為45-50％的氫氟酸溶液所占體積為10-15％，余量為水。

7.根據權利要求4所述的一種SHJ電池生產中不良返工方法，其特征在于，S2可用于非晶硅不良返工或者制絨不良返工。

8.一種非晶硅不良的返工方法，其特征在于，包括以下步驟：

(1)預清洗：使用預清洗液對S1所得硅片進行清洗，再用純水清洗，所述預清洗液為氫氟酸與臭氧的混合溶液；所述S1包括以下步驟：

S1.1酸洗：用酸洗液對不良電池片清洗，所述酸洗液為鹽酸溶液，或者鹽酸溶液與氫氟酸溶液的混合液；

S1.2漂洗：用純水對經酸洗后的硅片進行漂洗，洗去硅片表面殘留的酸洗洗液；

S1.3 SC1液洗：用SC1液洗S1.2所得硅片；

S1.4漂洗：用純水洗進行漂洗；

S1.5烘干：將所得硅片烘干；

(2)SC1液清洗：用SC1液洗后，再用純水漂洗；

(3)制絨：制絨輔助劑的用量比正常制絨時的用量多1-2倍，制絨時間少于正常制絨時間，然后用純水漂洗；

(4)后清洗：采用常規后清洗工藝進行后清洗，然后用純水漂洗；

(5)氫氟酸洗：采用氫氟酸洗液洗，然后用純水漂洗；

(6)烘干。