[發明專利]一種SHJ電池生產中不良返工方法

有效

• 申請號: 202010775191.4
• 申請日: 2020-08-03
• 公開（公告）號: CN111900232B
• 公開（公告）日: 2022-06-17
• 發明（設計）人: 孫林;孟凡英;杜俊霖;劉正新;陳功兵;何堂貴
• 申請（專利權）人: 中威新能源（成都）有限公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18;H01L31/0747
• 代理公司: 華進聯合專利商標代理有限公司 44224
• 代理人: 周孝湖

本發明公開一種SHJ電池生產中不良返工方法，包括以下步驟：S1.將收集的不良電池片放入專門返工片清洗機，清洗掉硅片表面的薄膜：S1.1酸洗：用酸洗液對不良電池片清洗，所述酸洗液為鹽酸溶液，或者鹽酸溶液與氫氟酸溶液的混合液；S1.2漂洗：用純水對經酸洗后的硅片進行漂洗，洗去硅片表面殘留的酸洗洗液；S1.3 SC1液洗：用SC1液將S1.2所得硅片洗；S1.4漂洗：用純水洗進行漂洗；S1.5烘干：在90℃進行烘干；S2.將經S1所得的硅片，進行重新制絨，制絨時，制絨輔助劑為正常制絨的用量的1?2倍。本發明將不良電池片經過返工處理，返工后A級率95%，且所得電池片效率與正常相當，不良返工可實現規模化生產，提升整個生產的A級率。

技術領域

本發明涉及太陽能電池領域，具體涉及一種SHJ電池生產中不良返工方法。

背景技術

SHJ(Silicon Herterojunction)硅異質結電池，又被稱作HIT(Heterojunctionwith intrinsic thin layer)電池，該電池具有高效率、高Voc等特點，該電池一般以N型硅片為基底，對硅基底界面要求特別嚴格(對比臟污殘留敏感)，一般制程工序為：制絨、非晶硅、TCO、絲網測試。現目前，SHJ規模化生產中，實際產生中經常會出現的外觀或者電性能表征不良的電池片，但是這些不良還未有完備可行的返工工藝，或是不良直接下流造成最終電池片降級或是效率低，或是返工后達不到清潔的表面狀況(還是存在明顯外觀不良)，或是返工后效率較之前差(效率較正常生產片效率低)等問題。

發明內容

為了解決上述問題，本發明提供一種SHJ電池生產中不良返工方法。

為了實現上述目的，本發明采用如下技術方案：

一種SHJ電池生產中不良返工方法，包括以下步驟：

S1.將收集的不良電池片放入專門返工片清洗機，清洗掉硅片表面的薄膜：

S1.1酸洗：用酸洗液對不良電池片清洗，所述酸洗液為鹽酸溶液，或者鹽酸溶液與氫氟酸溶液的混合液；

S1.2漂洗：用純水對經酸洗后的硅片進行漂洗，洗去硅片表面殘留的酸洗洗液；

S1.3 SC1液洗：用SC1液洗S1.2所得硅片；

S1.4漂洗：用純水洗進行漂洗；

S1.5烘干：將所得硅片烘干；

S2.將經S1所得的硅片，進行重新制絨，制絨時，制絨輔助劑為正常制絨的用量的1-2倍。

進一步的，S1.1酸洗液中，當酸洗液為鹽酸溶液與氫氟酸溶液的混合液時，氫氟酸溶液的體積不超過90％，其中鹽酸溶液中的HCl的質量濃度為36-38％，氫氟酸溶液中的HF的質量濃度為45-50％。

進一步的，S1中，酸洗時間為7200s，漂洗時間為150s，SC1液洗時間為300s，烘干時間為600s。

進一步的，S1.1中，酸洗液中，鹽酸溶液與氫氟酸溶液的體積比為99:1。

進一步的，S1.3中，

S1.3中，SC1液中，雙氧水的體積占1-50％，堿溶液的體積占0.1-5％，余量為水，其中，雙氧水中H₂O₂的質量濃度為28-35％，堿溶液中堿的質量濃度為42-48％。

進一步的，S2包括以下步驟：

S2.1預清洗：使用預清洗液對S1所得硅片進行清洗，所述預清洗液為氫氟酸溶液，或者氫氟酸與臭氧的混合溶液，或者氫氟酸與鹽酸混合溶液；再用純水清洗；

S2.2 SC1液清洗：用SC1液處理后，再用純水清洗；