[發明專利]一種柔性擠壓式轉移晶舟

在審

• 申請號: 202010773687.8
• 申請日: 2020-08-04
• 公開（公告）號: CN111863678A
• 公開（公告）日: 2020-10-30
• 發明（設計）人: 魏運秀
• 申請（專利權）人: 贛州市業潤自動化設備有限公司
• 主分類號: H01L21/673
• 分類號: H01L21/673
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本發明公開了一種柔性擠壓式轉移晶舟，包括舟體，舟體上成型有半圓槽道、設置在半圓槽道下方的高壓腔、連通半圓槽道與高壓腔的多個線性均布的矩形孔，半圓槽道內設有多個左右方向均布的隔離板，隔離板包括固定連接的柔性壓板和剛性支撐板，柔性壓板和剛性支撐板形成一個過渡腔和一個向下凸起的矩形管，矩形管與過渡腔相通，矩形管插套并固定在矩形孔內，柔性壓板上成型有多個與過渡腔相通的通孔，通孔內固定有彈性膜；舟體上成型有與高壓腔相通的進出氣孔，進出氣孔內設有進氣單向閥。本發明通過將彈性膜鼓起將晶圓進行夾持，可有效避免相鄰兩個晶圓發生碰撞，在轉移活塞輸送過程中可有效保護晶圓。

技術領域

本發明涉及半導體生產技術領域，具體涉及一種柔性擠壓式轉移晶舟。

背景技術

現有的一種晶舟一般設置有多個平行排列的卡槽，晶圓插套在卡槽內。然而，這種晶圓的存放方式，在晶圓的傳送或加工的過程中相鄰兩個晶圓件常常會發生碰撞現象，引發晶圓的邊緣區域產生缺陷的問題。

發明內容

本發明的目的是克服現有技術的不足，提供一種柔性擠壓式轉移晶舟，它通過將彈性膜鼓起將晶圓進行夾持，可有效避免相鄰兩個晶圓發生碰撞，在轉移活塞輸送過程中可有效保護晶圓。

本發明解決所述技術問題的方案是：

一種柔性擠壓式轉移晶舟，包括舟體，所述舟體上成型有半圓槽道、設置在半圓槽道下方的高壓腔、連通半圓槽道與高壓腔的多個線性均布的矩形孔，半圓槽道內設有多個左右方向均布的隔離板，所述隔離板包括固定連接的柔性壓板和剛性支撐板，柔性壓板和剛性支撐板形成一個過渡腔和一個向下凸起的矩形管，矩形管與過渡腔相通，所述矩形管插套并固定在矩形孔內，所述柔性壓板上成型有多個與過渡腔相通的通孔，通孔內固定有彈性膜；

所述舟體上成型有與高壓腔相通的進出氣孔，進出氣孔內設有進氣單向閥。

所述矩形管伸入到高壓腔的端部成型有左右方向設置的插孔，插孔插套在定位插桿上，定位插桿固定在高壓腔內。

所述高壓腔的右側壁上成型有定位孔，定位孔的底面上成型有螺紋孔，高壓腔的左側壁上成型有定位通孔；

所述插桿的兩端分別插套在定位孔和定位通孔內，插桿的右端成型有螺桿，螺桿螺接在螺紋孔上；所述插桿的左端成型有六角沉孔。

所述插桿的左端與定位通孔之間設有密封圈。

所述六角沉孔的底面上成型有第二螺紋孔。

所述剛性支撐板成型有多個向彈性膜凸起的小凸臺。

所述進出氣孔包括由內而外一體成型的長孔、內大外小設置的錐孔、通氣孔和連接孔；

所述進氣單向閥包括壓靠在錐孔內的頂珠和固定在長孔內端的支撐環，支撐環和頂珠之間夾持有壓簧。

本發明的突出效果是：與現有技術相比，其通過將彈性膜鼓起將晶圓進行夾持，可有效避免相鄰兩個晶圓發生碰撞，在轉移活塞輸送過程中可有效保護晶圓。

附圖說明

圖1為本發明的結構示意圖(圖中隱去部分隔離板)；

圖2為本發明的左視圖；

圖3為圖2關于A-A的剖視圖；

圖4為圖3關于B-B的剖視圖；

圖5為圖4關于C-C的剖視圖；

圖6為圖3關于D的結構示意圖。

具體實施方式