[發明專利]一種柔性擠壓式轉移晶舟

在審

• 申請號: 202010773687.8
• 申請日: 2020-08-04
• 公開（公告）號: CN111863678A
• 公開（公告）日: 2020-10-30
• 發明（設計）人: 魏運秀
• 申請（專利權）人: 贛州市業潤自動化設備有限公司
• 主分類號: H01L21/673
• 分類號: H01L21/673
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種柔性擠壓式轉移晶舟，包括舟體(1)，其特征在于：所述舟體(1)上成型有半圓槽道(11)、設置在半圓槽道(11)下方的高壓腔(12)、連通半圓槽道(11)與高壓腔(12)的多個線性均布的矩形孔(13)，半圓槽道(11)內設有多個左右方向均布的隔離板(2)，所述隔離板(2)包括固定連接的柔性壓板(21)和剛性支撐板(22)，柔性壓板(21)和剛性支撐板(22)形成一個過渡腔(201)和一個向下凸起的矩形管(202)，矩形管(202)與過渡腔(201)相通，所述矩形管(202)插套并固定在矩形孔(13)內，所述柔性壓板(21)上成型有多個與過渡腔(201)相通的通孔(203)，通孔(203)內固定有彈性膜(23)；

所述舟體(1)上成型有與高壓腔(12)相通的進出氣孔(14)，進出氣孔(14)內設有進氣單向閥(3)。

2.根據權利要求1所述的一種柔性擠壓式轉移晶舟，其特征在于：所述矩形管(202)伸入到高壓腔(12)的端部成型有左右方向設置的插孔(204)，插孔(204)插套在定位插桿(4)上，定位插桿(4)固定在高壓腔(12)內。

3.根據權利要求1所述的一種柔性擠壓式轉移晶舟，其特征在于：所述高壓腔(12)的右側壁上成型有定位孔(15)，定位孔(15)的底面上成型有螺紋孔(16)，高壓腔(12)的左側壁上成型有定位通孔(17)；

所述插桿(4)的兩端分別插套在定位孔(15)和定位通孔(17)內，插桿(4)的右端成型有螺桿(41)，螺桿(41)螺接在螺紋孔(16)上；所述插桿(4)的左端成型有六角沉孔(42)。

4.根據權利要求3所述的一種柔性擠壓式轉移晶舟，其特征在于：所述插桿(4)的左端與定位通孔(17)之間設有密封圈(5)。

5.根據權利要求3所述的一種柔性擠壓式轉移晶舟，其特征在于：所述六角沉孔(42)的底面上成型有第二螺紋孔(43)。

6.根據權利要求1所述的一種柔性擠壓式轉移晶舟，其特征在于：所述剛性支撐板(22)成型有多個向彈性膜(23)凸起的小凸臺(24)。

7.根據權利要求1所述的一種柔性擠壓式轉移晶舟，其特征在于：所述進出氣孔(14)包括由內而外一體成型的長孔(141)、內大外小設置的錐孔(142)、通氣孔(143)和連接孔(144)；

所述進氣單向閥(3)包括壓靠在錐孔(142)內的頂珠(31)和固定在長孔(141)內端的支撐環(32)，支撐環(32)和頂珠(31)之間夾持有壓簧(33)。