[發明專利]LED外延片分布式布拉格反射鏡的制備方法在審
| 申請號： | 202010772351.X | 申請日： | 2020-08-04 |
| 公開（公告）號： | CN111900241A | 公開（公告）日： | 2020-11-06 |
| 發明（設計）人： | 宋海飛;賈杰 | 申請（專利權）人： | 聚燦光電科技（宿遷）有限公司 |
| 主分類號： | H01L33/46 | 分類號： | H01L33/46;C23C14/02;C23C14/08;C23C14/10;C23C14/30 |
| 代理公司： | 蘇州威世朋知識產權代理事務所(普通合伙) 32235 | 代理人： | 郭紅巖 |
| 地址： | 223800 江蘇*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | led 外延 分布式 布拉格 反射 制備 方法 | ||
1.一種LED外延片分布式布拉格反射鏡的制備方法，其特征在于，所述方法包括：
將石英環繞其中心軸以第一方向旋轉第一角度，使電子束掃過與旋轉第一角度對應的石英環扇形區域，對所述扇形區域進行預處理；
將石英環繞其中心軸以與第一方向相反的第二方向旋轉第一角度，使電子束再次掃過所述扇形區域，以在LED外延片的背面生長第一折射率的第一DBR層；
在所述第一DBR層上生長第二折射率的第二DBR層。
2.根據權利要求1所述的LED外延片分布式布拉格反射鏡的制備方法，其特征在于，在“生長第二DBR層”步驟前，所述方法還包括：
對第一DBR層進行粘附性測試。
3.根據權利要求2所述的LED外延片分布式布拉格反射鏡的制備方法，其特征在于，若所述粘附性測試合格，則交替生長第二DBR層和第一DBR層。
4.根據權利要求2所述的LED外延片分布式布拉格反射鏡的制備方法，其特征在于，若所述粘附性測試不合格，則去除第一DBR層后重新預處理石英環和生長第一DBR層。
5.根據權利要求4所述的LED外延片分布式布拉格反射鏡的制備方法，其特征在于，所述去除第一DBR層具體為：
在LED外延片的正面貼附保護膜；
蝕刻第一DBR層；
去除保護膜。
6.根據權利要求4所述的LED外延片分布式布拉格反射鏡的制備方法，其特征在于，第一次預處理石英環時所述石英環的旋轉周期為第一周期，時間為第一預處理時間；
所述重新預處理石英環具體為：
將石英環繞其中心軸旋轉，使電子束掃過石英環另一扇形區域，對所述另一扇形區域進行預處理，旋轉時間為第二預處理時間，旋轉周期為第二周期；所述第二周期為所述第一周期加周期變量值，所述第二預處理時間為第一預處理時間加時間變量值。
7.根據權利要求6所述的LED外延片分布式布拉格反射鏡的制備方法，其特征在于，所述第一周期為49.5min/r-60.5min/r，所述第一預處理時間為18s-22s，所述周期變量值為1-2min/r，所述時間變量值為1-5s。
8.根據權利要求1所述的LED外延片分布式布拉格反射鏡的制備方法，其特征在于，在預處理石英環前抽取真空。
9.根據權利要求1所述的LED外延片分布式布拉格反射鏡的制備方法，其特征在于，在預處理石英環前打磨石英環。
10.根據權利要求1所述的LED外延片分布式布拉格反射鏡的制備方法，其特征在于，所述生長第二DBR層具體為：
使電子束掃過五氧化三鈦，以在所述第一DBR層上生長第二折射率的第二DBR層。
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