[發(fā)明專利]一種氣體純化裝置

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202010769989.8
• 申請日: 2020-08-04
• 公開（公告）號: CN111804119A
• 公開（公告）日: 2020-10-23
• 發(fā)明（設計）人: 江曉松
• 申請（專利權）人: 先普半導體技術（上海）有限公司
• 主分類號: B01D53/02
• 分類號: B01D53/02
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本發(fā)明公開了一種氣體純化裝置，屬于氣體純化技術領域。它包括第一吸附器和第二吸附器，還包括：第一高選閥；第二高選閥；低選閥。本發(fā)明提供一種結構簡單、控制過程可靠的氣體純化裝置。

技術領域

本發(fā)明涉及一種氣體純化裝置，屬于氣體純化技術領域。

背景技術

在一些工業(yè)領域中， 往往需要高純度的氣體， 這就需要對制取的氣體進行純化，現有的純化裝置中，一般均采用吸附器來對氣體中的雜質進行吸附分離，吸附器一般成對使用，以使得兩個吸附器中的一個吸附器對氣體進行吸附分離，另一吸附器進行再生。現有技術中，吸附器的工作主要依靠電磁閥和PLC配合控制，因此純化裝置中需要連接多只程控閥，控制過程復雜，容易出現故障。

發(fā)明內容

本發(fā)明所要解決的技術問題在于：提供一種氣體純化裝置，它解決了純化裝置控制過程復雜，容易出現故障的問題。

本發(fā)明所要解決的技術問題采取以下技術方案來實現：

一種氣體純化裝置，包括第一吸附器和第二吸附器，所述第一吸附器、所述第二吸附器中填充有用于吸附待純化氣體中雜質的吸附劑，所述第一吸附器的兩端分別開設有與所述第一吸附器的內腔相連通的第一進氣口、 第一出氣口，所述第二吸附器的兩端分別開設有與所述第二吸附器的內腔相連通的第二進氣口、第二出氣口，所述氣體純化裝置還包括：第一高選閥， 所述第一高選閥包括兩個第一選擇進出口、至少一個第一直通進出口，兩個所述第一直通進出口分別與所述第一進氣口、所述第二進氣口相連接設置， 所述第一直通進出口與用于向所述氣體純化裝置中輸入所述待純化氣體的進氣管相連通；第二高選閥，所述第二高選閥包括兩個第二選擇進出口和至少一個第二直通進出口，兩個所述第二直通進出口分別與所述第一出氣口、所述第二出氣口相連接設置，所述第二直通進出口與出氣管相連通；低選閥，所述低選閥包括兩個第三選擇進出口和至少一個第三直通進出口， 兩個所述第三選擇進出口分別與所述兩個第二選擇進出口相連通，所述第三直通進出口與所述出氣管相連通；第一程控閥，所述第一程控閥的兩端口分別與所述第一進氣口、廢氣出氣管相連接設置；第二程控閥，所述第二程控閥的兩端口分別與所述第二進氣口、 所述廢氣出氣管相連接設置。。

作為優(yōu)選實例，所述第三直通進出口與所述出氣管之間還連接設置有流量計。

本發(fā)明的有益效果是：本發(fā)明由于采用了第一高選閥、第二高選閥以及低選閥，該裝置在工作過程中完全依靠閥門兩選擇進出口的壓力差進行工作，相比傳統(tǒng)氣體純化中依靠電磁閥和PLC配合的控制工作方式，該裝置的控制過程更加簡單可靠，同時，該裝置中程控閥的數量大幅減少，簡化了整個裝置的結構。

附圖說明

附圖1為本發(fā)明的氣體純化裝置的結構示意圖。

具體實施方式

為了對本發(fā)明的技術手段、創(chuàng)作特征、達成目的與功效易于明白了解，下面結合具體圖示，進一步闡述本發(fā)明。

參見圖1所示，一種氣體純化裝置，包括第一吸附器1和第二吸附器2，第一吸附器1和第二吸附器2中均填充有用于吸附待純化氣體中雜質的吸附劑，待純化氣體通過吸附劑后經吸附劑催化和吸附能夠去除待純化氣體中的雜質從而得到純化的氣體。第一吸附器1的兩端分別開設有與第一吸附器1的內腔相連通的第一進氣口和第一出氣口， 第二吸附器2的兩端分別開設有與第二吸附器2的內腔相連通的第二進氣口和第二出氣口。該氣體純化裝置還包括用于控制該氣體純化裝置工作過程的第一高選閥3、第二高選閥4、低選閥5、第一程控閥7以及第二程控閥8。