[發(fā)明專利]一種氣體純化裝置在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 202010769989.8 | 申請日： | 2020-08-04 |
| 公開（公告）號： | CN111804119A | 公開（公告）日： | 2020-10-23 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 江曉松 | 申請（專利權(quán)）人： | 先普半導(dǎo)體技術(shù)（上海）有限公司 |
| 主分類號： | B01D53/02 | 分類號： | B01D53/02 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 201108 上海市閔*** | 國省代碼： | 上海;31 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 氣體 純化 裝置 | ||
1.一種氣體純化裝置，其特征在于：包括第一吸附器和第二吸附器，所述第一吸附器、所述第二吸附器中填充有用于吸附待純化氣體中雜質(zhì)的吸附劑，所述第一吸附器的兩端分別開設(shè)有與所述第一吸附器的內(nèi)腔相連通的第一進(jìn)氣口、 第一出氣口，所述第二吸附器的兩端分別開設(shè)有與所述第二吸附器的內(nèi)腔相連通的第二進(jìn)氣口、第二出氣口，所述氣體純化裝置還包括：第一高選閥，所述第一高選閥包括兩個(gè)第一選擇進(jìn)出口、至少一個(gè)第一直通進(jìn)出口，兩個(gè)所述第一直通進(jìn)出口分別與所述第一進(jìn)氣口、所述第二進(jìn)氣口相連接設(shè)置，所述第一直通進(jìn)出口與用于向所述氣體純化裝置中輸入所述待純化氣體的進(jìn)氣管相連通；第二高選閥，所述第二高選閥包括兩個(gè)第二選擇進(jìn)出口和至少一個(gè)第二直通進(jìn)出口，兩個(gè)所述第二直通進(jìn)出口分別與所述第一出氣口、所述第二出氣口相連接設(shè)置，所述第二直通進(jìn)出口與出氣管相連通；低選閥，所述低選閥包括兩個(gè)第三選擇進(jìn)出口和至少一個(gè)第三直通進(jìn)出口， 兩個(gè)所述第三選擇進(jìn)出口分別與所述兩個(gè)第二選擇進(jìn)出口相連通，所述第三直通進(jìn)出口與所述出氣管相連通；第一程控閥，所述第一程控閥的兩端口分別與所述第一進(jìn)氣口、廢氣出氣管相連接設(shè)置；第二程控閥，所述第二程控閥的兩端口分別與所述第二進(jìn)氣口、 所述廢氣出氣管相連接設(shè)置。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種氣體純化裝置，其特征在于：所述第三直通進(jìn)出口與所述出氣管之間還連接設(shè)置有流量計(jì)。
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