[發(fā)明專利]一種錫球保護結(jié)構(gòu)及其制作方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202010763217.3
• 申請日: 2020-08-01
• 公開（公告）號: CN112086428B
• 公開（公告）日: 2022-05-31
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 李全兵;顧驍;宋健;劉燁
• 申請（專利權(quán)）人: 江蘇長電科技股份有限公司
• 主分類號: H01L23/498
• 分類號: H01L23/498;H01L21/48
• 代理公司: 北京中濟緯天專利代理有限公司 11429
• 代理人: 趙海波

1.一種錫球保護結(jié)構(gòu)的制作方法，其特征在于所述方法包括以下步驟：

步驟一、取一BGA產(chǎn)品，其錫球直徑為r，錫球高度為H，相鄰錫球之間的間距為L；

步驟二、取一墊片，在后續(xù)需要加強強度的錫球?qū)?yīng)位置處開設(shè)流道槽，流道槽為圓環(huán)結(jié)構(gòu)，并且在墊片四周開設(shè)定位槽；

步驟三、在基板上對應(yīng)墊片流道槽的位置處開設(shè)穿孔，穿孔的圓心位置位于墊片上流道槽的外圓圓周上，穿孔的半徑小于流道槽的寬度；

步驟四、注塑工藝前，先將墊片放置在模具中，定位槽對應(yīng)模具的真空吸孔，再將基板放置在墊片上；注塑時，真空吸附將墊片和基板同時固定在模腔中，直至注塑完畢；

步驟五、注塑完畢后，取消真空吸附，將墊片取出，在基板底部的部分位置形成有凸起的加強圓環(huán)；

步驟六、進行植球工藝，將錫球植在基板底部的對應(yīng)位置，其中部分錫球位于凸起的加強圓環(huán)內(nèi)部；在加強圓環(huán)結(jié)構(gòu)內(nèi)部植球時，錫將填滿整個加強圓環(huán)內(nèi)部空腔，冷卻后形成成型的錫球。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種錫球保護結(jié)構(gòu)的制作方法，其特征在于：步驟二中墊片的厚度范圍為4H/15~2H/5，圓環(huán)狀的流道槽內(nèi)徑為r，外徑小于r+L/2，深度范圍為H/5~3H/10。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種錫球保護結(jié)構(gòu)的制作方法，其特征在于：步驟二中流道槽內(nèi)側(cè)壁和/或外側(cè)壁形成拔模角α。