[發明專利]一種蒸鍍噴嘴及蒸鍍點源裝置

有效

• 申請號: 202010762895.8
• 申請日: 2020-07-31
• 公開（公告）號: CN111962027B
• 公開（公告）日: 2022-09-06
• 發明（設計）人: 黃永振;張紅信;王曉強;賈凱;陳聞凱;王會;趙景訓;閔卿旭
• 申請（專利權）人: 云谷（固安）科技有限公司
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24
• 代理公司: 廣東君龍律師事務所 44470
• 代理人: 丁建春

本申請公開了一種蒸鍍噴嘴及蒸鍍點源裝置，蒸鍍噴嘴包括噴嘴部和連接噴嘴部的過濾部，噴嘴部和過濾部為中空結構且過濾部的側壁上設有多個連通孔。本申請蒸鍍噴嘴及蒸鍍點源裝置能夠降低蒸鍍顆粒從噴嘴部傳輸至基板上，同時也能夠避免噴嘴被堵塞。

技術領域

本申請涉及蒸鍍工藝領域，特別是涉及一種蒸鍍噴嘴及蒸鍍點源裝置。

背景技術

真空蒸鍍法是在真空蒸鍍機中放盛有有機物的坩堝，通過對其內部的電阻絲通電加熱，使有機物蒸發或氣化，然后向固定的基板附著并最終形成膜層。

其中，蒸鍍過程中的蒸發源為蒸鍍點源裝置，然而該蒸鍍點源裝置在蒸鍍過程中容易產生蒸鍍顆粒，該蒸鍍顆粒蒸鍍至基板上會導致蒸鍍時長短、產品封裝失效和外觀不良，同時也會導致蒸鍍噴嘴的堵塞。

發明內容

本申請提供一種蒸鍍噴嘴及蒸鍍點源裝置，以解決蒸鍍過程中產生的蒸鍍顆粒蒸鍍至基板上導致蒸鍍時長短、產品封裝失效、外觀不良以及蒸鍍噴嘴堵塞的問題。

為解決上述技術問題，本申請提出一種蒸鍍噴嘴，包括：噴嘴部和連接噴嘴部的過濾部，噴嘴部和過濾部為中空結構且過濾部的側壁上設有多個連通孔。

其中，連通孔的開口大小在沿靠近噴嘴部的方向上逐漸增大。

其中，過濾部包括至少兩個阻擋板，至少兩個阻擋板沿過濾部指向噴嘴部的方向上間隔設置于過濾部內部，阻擋板開設有多個通氣孔。

其中，相鄰兩個阻擋板上的通氣孔在參考平面上的正投影彼此錯位，參考平面垂直于從過濾部指向噴嘴部的方向。

其中，各阻擋板的多個通氣孔的分布密度沿過濾部指向噴嘴部的方向上依次增大；和/或各阻擋板的通氣孔的開口大小沿過濾部指向噴嘴部的方向上依次增大。

其中，蒸鍍噴嘴還包括蓋板組件，所述蓋板組件為中空結構且與所述噴嘴部可拆卸連接；其中，蓋板組件包括反射板，其中當蓋板組件蓋設于噴嘴部時反射板繞設于噴嘴部的外圍。

其中，噴嘴部和反射板呈錐臺形。

其中，噴嘴部設有第一扣合部，蓋板組件還包括第二扣合部，第一扣合部和第二扣合部能夠相互扣合。

其中，連通孔為圓形孔或長條形孔。

為解決上述技術問題，本申請提出一種蒸鍍點源裝置，包括如上述所述的蒸鍍噴嘴和蒸鍍坩堝，蒸鍍噴嘴的過濾部嵌設于蒸鍍坩堝內。

本申請的有益效果是：區別于現有技術的情況，本申請提供一種蒸鍍噴嘴及蒸鍍點源裝置，蒸鍍噴嘴包括噴嘴部和連接噴嘴部的過濾部，噴嘴部和過濾部為中空結構，且過濾部的側壁上設有多個連通孔，以允許過濾部外部的蒸鍍氣體經連通孔進入過濾部內部，并向噴嘴部傳輸。由于過濾部的筒壁阻擋，使得蒸鍍顆粒較難從連通孔中輸出，能夠降低蒸鍍顆粒從噴嘴部傳輸至基板上，同時也能避免蒸渡顆粒堵塞噴嘴部。

附圖說明

為了更清楚地說明本申請實施例中的技術方案，下面將對實施例描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本申請的一些實施例，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創造性勞動的前提下，還可以根據這些附圖獲得其他的附圖，其中：

圖1是本申請蒸鍍噴嘴一實施例的爆炸示意圖；

圖2是本申請過濾部第一實施例的主視圖；

圖3是本申請過濾部第二實施例的主視圖；

圖4是圖3所示A-A的截面圖；

圖5是圖3所示B-B的截面圖；

圖6是圖3所示C-C的截面圖；

圖7本申請蓋板組件一實施例的立體圖；