[發明專利]一種蒸鍍噴嘴及蒸鍍點源裝置

有效

• 申請號: 202010762895.8
• 申請日: 2020-07-31
• 公開（公告）號: CN111962027B
• 公開（公告）日: 2022-09-06
• 發明（設計）人: 黃永振;張紅信;王曉強;賈凱;陳聞凱;王會;趙景訓;閔卿旭
• 申請（專利權）人: 云谷（固安）科技有限公司
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24
• 代理公司: 廣東君龍律師事務所 44470
• 代理人: 丁建春

1.一種蒸鍍噴嘴，其特征在于，包括：

噴嘴部和連接所述噴嘴部的過濾部，所述噴嘴部和所述過濾部為中空結構且所述過濾部的側壁上設有多個連通孔；

所述連通孔的開口大小在沿靠近所述噴嘴部的方向上逐漸增大。

2.根據權利要求1所述的蒸鍍噴嘴，其特征在于，所述過濾部包括至少兩個阻擋板，所述至少兩個阻擋板沿所述過濾部指向所述噴嘴部的方向上間隔設置于所述過濾部內部，所述阻擋板開設有多個通氣孔。

3.根據權利要求2所述的蒸鍍噴嘴，其特征在于，相鄰兩個所述阻擋板上的通氣孔在參考平面上的正投影彼此錯位，所述參考平面垂直于從所述過濾部指向所述噴嘴部的方向。

4.根據權利要求2所述的蒸鍍噴嘴，其特征在于，

各所述阻擋板的所述多個通氣孔的分布密度沿所述過濾部指向所述噴嘴部的方向上依次增大；和/或

各所述阻擋板的所述通氣孔的開口大小沿所述過濾部指向所述噴嘴部的方向上依次增大。

5.根據權利要求1-4任一所述的蒸鍍噴嘴，其特征在于，所述蒸鍍噴嘴還包括蓋板組件，所述蓋板組件為中空結構且與所述噴嘴部可拆卸連接；其中，

所述蓋板組件包括反射板，其中當所述蓋板組件蓋設于所述噴嘴部時，所述反射板繞設于所述噴嘴部的外圍。

6.根據權利要求5所述的蒸鍍噴嘴，其特征在于，所述反射板和所述噴嘴部呈錐臺形。

7.根據權利要求5所述的蒸鍍噴嘴，其特征在于，所述噴嘴部設有第一扣合部，所述蓋板組件還包括第二扣合部，所述第一扣合部和所述第二扣合部能夠相互扣合。

8.根據權利要求1-4任一所述的蒸鍍噴嘴，其特征在于，所述連通孔為圓形孔或長條形孔。

9.一種蒸鍍點源裝置，其特征在于，包括如權利要求1-8任一項所述的蒸鍍噴嘴和蒸鍍坩堝，所述蒸鍍噴嘴的過濾部嵌設于所述蒸鍍坩堝內。