[發明專利]一種涂膠顯影設備的噴嘴結構

在審

• 申請號: 202010761216.5
• 申請日: 2020-07-31
• 公開（公告）號: CN111905940A
• 公開（公告）日: 2020-11-10
• 發明（設計）人: 吳永利
• 申請（專利權）人: 芯米（廈門）半導體設備有限公司
• 主分類號: B05B1/30
• 分類號: B05B1/30;B05B15/65;G03F7/16;G03F7/30
• 代理公司: 廈門仕誠聯合知識產權代理事務所(普通合伙) 35227
• 代理人: 吳圳添

1.一種涂膠顯影設備的噴嘴結構，包括連接管(1)，所述連接管(1)右側設置有密封片(2)，并且所述密封片(2)右側與噴頭(3)相連接；

其特征在于：還包括連接裝置(4)，所述連接管(1)左側設置有所述連接裝置(4)，所述連接裝置(4)包括連接環(41)、限位塊(42)、流量調節機構(43)和連接架(44)，所述連接環(41)與所述限位塊(42)內側以電弧焊連接，并且所述連接環(41)右側設置有流量調節機構(43)，所述連接架(44)左側與所述連接環(41)相連接。

2.根據權利要求1所述的一種涂膠顯影設備的噴嘴結構，其特征在于：所述流量調節機構(43)包括安裝環(431)、軸承(432)、轉動片(433)、轉軸(434)、推動環(435)、推塊(436)、轉動環(437)、防滑紋(438)和密封圈(439)，所述安裝環(431)左側與所述連接環(41)相連接，所述軸承(432)嵌入于所述安裝環(431)中部，所述轉動片(433)左側通過所述轉軸(434)與所述軸承(432)轉動配合，所述推動環(435)中部設置有所述推塊(436)，并且所述推動環(435)外圈與所述轉動環(437)相連接，所述防滑紋(438)開設于所述轉動環(437)表面，所述密封圈(439)右側與所述轉動環(437)緊密粘附。

3.根據權利要求1所述的一種涂膠顯影設備的噴嘴結構，其特征在于：所述限位塊(42)相互對稱設置有兩個，并且兩個所述限位塊(42)形狀相同。

4.根據權利要求1所述的一種涂膠顯影設備的噴嘴結構，其特征在于：所述連接架(44)右側外徑與所述連接管(1)相同，并且所述連接架(44)與所述連接管(1)相互平行安裝。

5.根據權利要求2所述的一種涂膠顯影設備的噴嘴結構，其特征在于：所述轉動片(433)設置有七片，并且七片所述轉動片(433)形狀大小相同。

6.根據權利要求2所述的一種涂膠顯影設備的噴嘴結構，其特征在于：所述轉動環(437)外徑與所述推動環(435)相同，并且所述推動環(435)與所述轉動環(437)相互平行安裝。

7.根據權利要求2所述的一種涂膠顯影設備的噴嘴結構，其特征在于：所述防滑紋(438)開設有兩條以上，并且每條所述防滑紋(438)深度相同。

8.根據權利要求2所述的一種涂膠顯影設備的噴嘴結構，其特征在于：所述密封圈(439)厚度為2mm，并且所述密封圈(439)與所述轉動環(437)平行安裝。

9.根據權利要求2所述的一種涂膠顯影設備的噴嘴結構，其特征在于：所述流量調節機構(43)的側面包括多個矩形平面，多個所述矩形平面兩兩相鄰以在所述流量調節機構(43)側面形成多個凸角。

10.根據權利要求9所述的一種涂膠顯影設備的噴嘴結構，其特征在于：所述連接架(44)包括一個連接圓環和四個連接曲軸；四個所述連接曲軸一端連接在所述連接架(44)內側面，四個所述連接曲軸另一端連接在所述流量調節機構(43)。