[發(fā)明專利]一種Micro LED屏幕的顯微成像方法及裝置

有效

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• 申請日: 2020-07-31
• 公開（公告）號: CN111735768B
• 公開（公告）日: 2020-12-08
• 發(fā)明（設計）人: 劉立宏;張沖;鄭增強
• 申請（專利權）人: 武漢精立電子技術有限公司;武漢精測電子集團股份有限公司
• 主分類號: G01N21/01
• 分類號: G01N21/01;G01N21/84;G09F9/33
• 代理公司: 武漢智權專利代理事務所(特殊普通合伙) 42225
• 代理人: 張凱

一種Micro LED屏幕的顯微成像方法及裝置，涉及Micro LED檢測領域，方法包括：將檢測屏劃分為多個單區(qū)間，顯微成像裝置依次位于每個單區(qū)間上方；根據(jù)抽樣屏的面型數(shù)據(jù)獲取當前檢測屏的Z軸定位集合，所述面型數(shù)據(jù)為屏幕整體高度分布；顯微成像裝置根據(jù)所述Z軸定位集合，對每個單區(qū)間進行自動對焦并成像，直至獲取整個檢測屏的圖像；能夠實現(xiàn)自動對焦，保證在Mciro LED AOI檢測和Demura應用中獲取高質量的成像，減少Tact Time時間及成本。

技術領域

本發(fā)明涉及Micro LED檢測領域，具體來講涉及一種Micro LED屏幕的顯微成像方法及裝置。

背景技術

Micro LED（Micro Light Emitting Diode，微型發(fā)光二極管）顯示技術是業(yè)界期待的下一代顯示技術，具有高解析度、低功耗、高亮度、高對比、高色彩飽和度、反應速度快、厚度薄、以及壽命長等特性，功率消耗量可低至LCD（Liquid Crystal Display，液晶顯示器）的10%、OLED（Organic Light-Emitting Diode，有機發(fā)光二極管）的50%。相比于LED及Mini LED等小間距LED，Micro LED是將傳統(tǒng)的無機LED陣列進一步微小化，每個尺寸在10微米尺寸的LED像素點均可以被獨立的定址、點亮，從而實現(xiàn)對每個芯片放光亮度的精確控制，進而實現(xiàn)圖像顯示。

各大面板廠商及研發(fā)機構投入了大量資源研發(fā)新一代顯示技術及產品，MicroLED批量引用面臨的一些瓶頸技術，特別是巨量轉移工藝及發(fā)光波長一致性取得了一些突破。為了保證顯示面板的生產品質和質量，需要進行一系列的點、線，Mura，臟污缺陷檢測及判定，以及針對發(fā)光亮度不一致進行自動光學補償。自動光學檢測設備（AutomatedOptical Inspection，AOI）及Mura光學補償就是響應客戶上述需求的關鍵光機電集成設備，為了應對不同分辨率（2K、4K、8K）等Micro LED屏幕缺陷檢測，需要通過多種高精度相機和顯微鏡頭配合使用進行AOI檢測和Demura。普通工業(yè)相機鏡頭分辨率一般在3um左右，而Micro LED像素檢測特征尺度通常在1um左右，需要應用更高光學解析度的顯微成像系統(tǒng)，這對設備系統(tǒng)結構及對焦技術提出了更高的挑戰(zhàn)。

發(fā)明內容

針對現(xiàn)有技術中存在的缺陷，本發(fā)明的目的在于提供一種Micro LED屏幕的檢測方法及檢測裝置，能夠實現(xiàn)自動對焦，保證在Mciro LED AOI檢測和Demura應用中獲取高質量的成像，減少Tact Time時間及成本。

為達到以上目的，一方面，采取一種Micro LED屏幕的顯微成像方法，包括：

將檢測屏劃分為多個單區(qū)間，顯微成像裝置依次位于每個單區(qū)間上方；

根據(jù)抽樣屏的面型數(shù)據(jù)獲取當前檢測屏的Z軸定位集合，所述面型數(shù)據(jù)為屏幕整體高度分布；

顯微成像裝置根據(jù)所述Z軸定位集合，對每個單區(qū)間進行自動對焦并成像，直至獲取整個檢測屏的圖像。

優(yōu)選的，根據(jù)抽樣屏的面型數(shù)據(jù)獲取當前檢測屏的Z軸定位集合包括：

采集多個抽樣屏的面型數(shù)據(jù)，若平面度一致性高于設定值，則根據(jù)任意一個抽樣屏的面型數(shù)據(jù)計算Z軸定位集合。

優(yōu)選的，根據(jù)抽樣屏的面型數(shù)據(jù)獲取當前檢測屏的Z軸定位集合包括：

采集多個抽樣屏的面型數(shù)據(jù)，若平面度一致性等于或低于設定值時，則根據(jù)所述多個抽樣屏的面型數(shù)據(jù)得到經驗面型曲線，根據(jù)所述經驗面型曲線選取多個基準點；

獲取所述當前檢測屏的所述多個基準點的Z軸高度值；

根據(jù)所述基準點的Z軸高度值對所述經驗面型曲線進行修正，獲得當前檢測屏的Z軸定位集合。