[發明專利]一種Micro LED屏幕的顯微成像方法及裝置

有效

• 申請號: 202010761188.7
• 申請日: 2020-07-31
• 公開（公告）號: CN111735768B
• 公開（公告）日: 2020-12-08
• 發明（設計）人: 劉立宏;張沖;鄭增強
• 申請（專利權）人: 武漢精立電子技術有限公司;武漢精測電子集團股份有限公司
• 主分類號: G01N21/01
• 分類號: G01N21/01;G01N21/84;G09F9/33
• 代理公司: 武漢智權專利代理事務所(特殊普通合伙) 42225
• 代理人: 張凱

1.一種Micro LED屏幕的顯微成像方法，其特征在于，包括：

將檢測屏劃分為多個單區間，顯微成像裝置依次位于每個單區間上方；

根據抽樣屏的面型數據獲取當前檢測屏的Z軸定位集合，所述面型數據為屏幕整體高度分布；

顯微成像裝置根據所述Z軸定位集合，對每個單區間進行自動對焦并成像，直至獲取整個檢測屏的圖像；

所述根據抽樣屏的面型數據獲取當前檢測屏的Z軸定位集合包括：

采集多個抽樣屏的面型數據，若平面度一致性等于或低于設定值時，則根據所述多個抽樣屏的面型數據得到經驗面型曲線，根據所述經驗面型曲線選取多個基準點；

獲取所述當前檢測屏的所述多個基準點的Z軸高度值；

根據所述基準點的Z軸高度值對所述經驗面型曲線進行修正，獲得當前檢測屏的Z軸定位集合。

2.如權利要求1所述的Micro LED屏幕的顯微成像方法，其特征在于，根據抽樣屏的面型數據獲取當前檢測屏的Z軸定位集合還包括：

采集多個抽樣屏的面型數據，若平面度一致性高于設定值，則根據任意一個抽樣屏的面型數據計算Z軸定位集合。

3.如權利要求1所述的Micro LED屏幕的顯微成像方法，其特征在于，根據所述基準點的Z軸高度值對所述經驗面型曲線進行修正，獲得當前檢測屏的Z軸定位集合，包括步驟：

S101、根據經驗面型曲線獲取對應的所述多個基準點的Z軸高度值，作為第一Z軸高度值集合；獲取所述當前檢測屏的所述多個基準點的Z軸高度值，作為第二Z軸高度值集合；

S102、計算所述第一Z軸高度值集合與所述第二Z軸高度值集合對應點的差值，并獲取所有差值的平均值；用所述平均值修正所述經驗面型曲線，獲得當前檢測屏的Z軸定位集合。

4.如權利要求1或3所述的Micro LED屏幕的顯微成像方法，其特征在于，所述基準點為面型曲線的極大值或極小值。

5.如權利要求3所述的Micro LED屏幕的顯微成像方法，其特征在于，獲得當前檢測屏的Z軸定位集合包括：

確定所述顯微成像裝置與抽樣屏每次相對移動的步長，以確定各單區間的位置；

確定各單區間面型數據的平均值，根據平均值確定顯微成像裝置Z軸高度的調整量；得到顯微成像裝置的Z軸定位位置，作為Z軸定位集合。

6.如權利要求5所述的Micro LED屏幕的顯微成像方法，其特征在于，各單區間面型數據的平均值如果超過調節閾值，所述調整量等于該平均值與抽樣屏標準值的差值；

所述抽樣屏標準值采用面型數據四分位數中Q1和Q3之間高度的平均值，或者，采用抽樣屏中平整度最高區域的高度的平均值。

7.如權利要求5所述的Micro LED屏幕的顯微成像方法，其特征在于，確定所述顯微成像裝置與抽樣屏每次相對移動的步長，包括步驟：

設定標準移動步長s=t×v，t為調整周期，v為抽樣屏的移動速度，計算t對應單區間內Z軸高度值極差；

若所述極差在顯微成像裝置的景深范圍內，則t作為該單區間調整周期；

若所述極差超出顯微成像裝置的景深范圍，則縮小t直至對應單區間內的所述極差在顯微成像裝置的景深范圍內，將縮小后的t作為對應區間的調整周期。

8.一種Micro LED屏幕的顯微成像裝置，利用如所述權利要求1-7中任意一項所述顯微成像方法實現屏幕自動對焦及成像，其特征在于，所述顯微成像裝置包括：

治具，其用于承載檢測屏，并在X/Y方向移動，所述檢測屏劃分為多個單區間；

顯微光學模塊，其用于檢測屏的成像采集；

測距模塊，其用于獲取顯微成像裝置與單區間之間的距離；

驅動機構，其用于驅動治具在X/Y方向移動，使所述顯微光學模塊位于每個單區間上方；還用于驅動所述顯微光學模塊在Z軸方向移動，自動調節顯微光學模塊的焦距；

控制器，其用于控制所述驅動機構。

9.如權利要求8所述的Micro LED屏幕的顯微成像裝置，其特征在于，

所述測距模塊為設置在所述顯微光學模塊對焦軸旁的測距儀，且與所述顯微光學模塊共同移動；

或者，所述測距模塊包括設置于顯微光學模塊對焦軸的分光棱鏡，以及耦合在所述分光棱鏡側部的激光測距儀。