[發(fā)明專利]半導(dǎo)體存儲架清理系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202010749249.8
• 申請日: 2020-07-30
• 公開（公告）號: CN114054389B
• 公開（公告）日: 2023-06-02
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 王藝墨
• 申請（專利權(quán)）人: 長鑫存儲技術(shù)有限公司
• 主分類號: B08B1/00
• 分類號: B08B1/00;B08B1/04;B08B13/00;B08B15/04;B65G47/90
• 代理公司: 上海盈盛知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 31294
• 代理人: 孫佳胤

該發(fā)明公開了一種半導(dǎo)體存儲架清理系統(tǒng)，所述半導(dǎo)體存儲架設(shè)有多個棚位，所述半導(dǎo)體存儲架清理系統(tǒng)包括：傳送裝置；清理裝置，所述清理裝置用于對所述半導(dǎo)體存儲架的棚位進行清理，所述清理裝置與所述傳送裝置可分離連接，所述傳送裝置用于將所述清理裝置傳送至所述半導(dǎo)體存儲架的多個所述棚位上。根據(jù)本發(fā)明實施例的半導(dǎo)體存儲架清理系統(tǒng)，當(dāng)半導(dǎo)體存儲架需要進行清洗時，通過傳送裝置可將清理裝置傳送至需要清洗的半導(dǎo)體存儲架的棚位上，不需要人工進行現(xiàn)場清理，能夠提高清理效率，且能夠避免人工登高作業(yè)的危險。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種半導(dǎo)體存儲架清理系統(tǒng)。

背景技術(shù)

現(xiàn)有技術(shù)中半導(dǎo)體的存儲架可用于存儲半導(dǎo)體晶圓盒，半導(dǎo)體存儲架長時間使用后由于污染容易發(fā)生報錯而影響搬送效率，具體地，當(dāng)半導(dǎo)體存儲架內(nèi)部環(huán)境不良時會影響搬入的晶圓盒，影響產(chǎn)品良率，半導(dǎo)體存儲架的棚位上設(shè)有用于防止晶圓盒二次搬入的反光板，若反光板有污漬，會造成反光不足，從而會影響半導(dǎo)體存儲架重復(fù)搬入傳感器的判斷失誤，導(dǎo)致存儲架報錯率上升，影響存儲架正常工作。因此需要對半導(dǎo)體存儲架進行清理，目前的存儲架清理方法是采用人工清理，半導(dǎo)體存儲架一般有4-5m的高度，需要多名清潔人員配合進行清理，但人工清洗不僅效率低而且容易發(fā)生危險。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于提供一種半導(dǎo)體存儲架清理系統(tǒng)，能夠?qū)崿F(xiàn)對半導(dǎo)體存儲架的自動清理，不需要人工清洗，提高了清洗效率且降低人工清洗發(fā)生的危險。

根據(jù)本發(fā)明實施例的半導(dǎo)體存儲架清理系統(tǒng)，所述半導(dǎo)體存儲架設(shè)有多個棚位，所述半導(dǎo)體存儲架清理系統(tǒng)包括：傳送裝置；清理裝置，所述清理裝置用于對所述半導(dǎo)體存儲架的棚位進行清理，所述清理裝置與所述傳送裝置可分離連接，所述傳送裝置用于將所述清理裝置傳送至所述半導(dǎo)體存儲架的多個所述棚位上。

根據(jù)本發(fā)明實施例的半導(dǎo)體存儲架清理系統(tǒng)，當(dāng)半導(dǎo)體存儲架需要進行清洗時，通過傳送裝置可將清理裝置傳送至需要清洗的半導(dǎo)體存儲架的棚位上，清理裝置與傳送裝置脫離，通過清理裝置可對半導(dǎo)體存儲架的棚位進行清洗，從而不需要人工進行現(xiàn)場清理，能夠提高清理效率，而且能夠避免人工登高作業(yè)的危險。

根據(jù)本發(fā)明的一些實施例，所述傳送裝置包括傳送手臂，所述傳送手臂的末端設(shè)有用于承載所述清理裝置的承載臺，所述承載臺與所述清理裝置可分離連接。

在本發(fā)明的一些實施例中，所述清理裝置還包括開關(guān)裝置，所述開關(guān)裝置被構(gòu)造成所述清理裝置置于所述棚位后出發(fā)以定時啟動所述清理裝置開始清理。

可選地，所述開關(guān)裝置為用于檢測所述棚位的光敏傳感器，所述光敏傳感器檢測到所述棚位時被觸發(fā)以定時啟動所述清理裝置開始清理。

可選地，所述開關(guān)裝置為壓力傳感器。

根據(jù)本發(fā)明的一些實施例，所述清理裝置包括清潔裝置和行走裝置，所述行走裝置與所述清潔裝置相連以驅(qū)動所述清潔裝置移動。

可選地，所述棚位包括底板和反光板，所述清潔裝置包括用于清洗所述反光板的第一清潔部和用于所述清洗所述底板的第二清潔部。

進一步地，所述清潔裝置還包括驅(qū)動裝置和與所述驅(qū)動裝置相連的傳動裝置，所述傳動裝置分別與所述第一清潔部和第二清潔部相連，所述驅(qū)動裝置通過所述傳動裝置驅(qū)動所述第一清潔部和所述第二清潔部轉(zhuǎn)動。

進一步地，所述驅(qū)動裝置包括第一清潔電機和第二清潔電機，所述傳動裝置包括與所述第一清潔電機相連的第一齒輪傳動組件和與所述第二清潔電機相連的第二齒輪傳動組件，所述第二清潔部包括多個第二清潔刷，所述第一齒輪傳動組件分別與所述第一清潔部和至少一個所述第二清潔刷相連，所述第二齒輪傳動組件與剩余其它所述第二清潔刷相連。

進一步地，所述第一齒輪傳動組件為錐齒輪傳動組件，所述第二齒輪傳動組件為圓柱齒輪傳動組件。