[發明專利]半導體存儲架清理系統

有效

• 申請號: 202010749249.8
• 申請日: 2020-07-30
• 公開（公告）號: CN114054389B
• 公開（公告）日: 2023-06-02
• 發明（設計）人: 王藝墨
• 申請（專利權）人: 長鑫存儲技術有限公司
• 主分類號: B08B1/00
• 分類號: B08B1/00;B08B1/04;B08B13/00;B08B15/04;B65G47/90
• 代理公司: 上海盈盛知識產權代理事務所(普通合伙) 31294
• 代理人: 孫佳胤

1.一種半導體存儲架清理系統，所述半導體存儲架設有多個棚位，其特征在于，包括：

傳送裝置；

清理裝置，所述清理裝置用于對所述半導體存儲架的棚位進行清理，所述清理裝置與所述傳送裝置可分離連接，所述傳送裝置用于將所述清理裝置傳送至所述半導體存儲架的多個所述棚位上；所述清理裝置設有第二固定部及開關裝置，所述棚位設有第二定位部，所述清理裝置位于所述棚位上時，所述第二固定部與所述第二定位部配合定位，所述開關裝置被構造成所述第二定位部與所述第二固定部配合時被觸發以定時啟動所述清理裝置開始清理。

2.根據權利要求1所述的半導體存儲架清理系統，其特征在于，所述傳送裝置包括傳送手臂，所述傳送手臂的末端設有用于承載所述清理裝置的承載臺，所述承載臺與所述清理裝置可分離連接。

3.根據權利要求1所述的半導體存儲架清理系統，其特征在于，所述開關裝置為壓力傳感器。

4.根據權利要求1所述的半導體存儲架清理系統，其特征在于，所述清理裝置包括清潔裝置和行走裝置，所述行走裝置與所述清潔裝置相連以驅動所述清潔裝置移動。

5.根據權利要求4所述的半導體存儲架清理系統，其特征在于，所述棚位包括底板和反光板，所述清潔裝置包括用于清洗所述反光板的第一清潔部和用于所述清洗所述底板的第二清潔部。

6.根據權利要求5所述的半導體存儲架清理系統，其特征在于，所述清潔裝置還包括驅動裝置和與所述驅動裝置相連的傳動裝置，所述傳動裝置分別與所述第一清潔部和第二清潔部相連，所述驅動裝置通過所述傳動裝置驅動所述第一清潔部和所述第二清潔部轉動。

7.根據權利要求6所述的半導體存儲架清理系統，其特征在于，所述驅動裝置包括第一清潔電機和第二清潔電機，所述傳動裝置包括與所述第一清潔電機相連的第一齒輪傳動組件和與所述第二清潔電機相連的第二齒輪傳動組件，所述第二清潔部包括多個第二清潔刷，所述第一齒輪傳動組件分別與所述第一清潔部和至少一個所述第二清潔刷相連，所述第二齒輪傳動組件與剩余其它所述第二清潔刷相連。

8.根據權利要求7所述的半導體存儲架清理系統，其特征在于，所述第一齒輪傳動組件為錐齒輪傳動組件，所述第二齒輪傳動組件為圓柱齒輪傳動組件。

9.根據權利要求5所述的半導體存儲架清理系統，其特征在于，所述清理裝置還包括用于清理污漬的吸塵裝置，所述吸塵裝置設在所述第二清潔部的一側。

10.根據權利要求4所述的半導體存儲架清理系統，其特征在于，所述清理裝置還包括行走軌道，所述清潔裝置設在所述行走軌道上，所述行走裝置驅動所述清潔裝置沿所述行走軌道移動。

11.根據權利要求10所述的半導體存儲架清理系統，其特征在于，所述行走軌道沿所述棚位的前后方向延伸。

12.根據權利要求7所述的半導體存儲架清理系統，其特征在于，所述行走裝置包括行走電機和絲杠組件，所述絲杠組件分別與所述行走電機和所述清潔裝置相連。

13.根據權利要求5所述的半導體存儲架清理系統，其特征在于，所述清理裝置還包括外殼，所述外殼的底部敞開且朝向所述反光板的一側至少部分敞開，所述清潔裝置和所述行走裝置設在所述外殼內。