[發明專利]一種清洗裝置

在審

• 申請號: 202010748087.6
• 申請日: 2020-07-29
• 公開（公告）號: CN112139092A
• 公開（公告）日: 2020-12-29
• 發明（設計）人: 鄭帥;史霄;舒福章;鄭慧曦
• 申請（專利權）人: 北京爍科精微電子裝備有限公司
• 主分類號: B08B1/04
• 分類號: B08B1/04;B08B9/093;H01L21/67
• 代理公司: 北京三聚陽光知識產權代理有限公司 11250
• 代理人: 康艷艷

1.一種清洗裝置，其特征在于，包括：

箱體(1)，其底部設有排水口；

晶圓清洗設備，設置在所述箱體(1)內；

噴淋結構，設置在所述箱體(1)內，適于對所述箱體(1)的內壁噴洗。

2.根據權利要求1所述的清洗裝置，其特征在于，所述噴淋結構包括：

進液管，一端位于所述箱體(1)外，一端位于所述箱體(1)內；

噴嘴(4)，與所述進液管連通，所述噴嘴(4)設有多個，且適于朝向所述箱體(1)的內壁，所述箱體(1)的一個內壁至少對應一個所述噴嘴(4)。

3.根據權利要求2所述的清洗裝置，其特征在于，所述噴嘴(4)的角度可通過調節結構調節。

4.根據權利要求3所述的清洗裝置，其特征在于，所述噴淋結構還包括流量分配器(3)，所述流量分配器(3)與所述進液管相連通，所述噴嘴(4)設置在所述流量分配器(3)的周壁上。

5.根據權利要求4所述的清洗裝置，其特征在于，所述流量分配器(3)包括多邊形頂面、多邊形底面、連接所述多邊形頂面與所述多邊形底面的多個側面，所述多邊形底面的面積大于所述多邊形頂面的面積，所述側面傾斜設置，所述噴嘴(4)設在所述側面上。

6.根據權利要求4所述的清洗裝置，其特征在于，所述調節結構包括球形接頭，所述噴嘴(4)通過所述球形接頭與所述流量分配器(3)連接。

7.根據權利要求4所述的清洗裝置，其特征在于，所述噴淋結構還包括環繞設在所述進液管外的第一支撐管(7)，所述第一支撐管(7)的一端固定在所述箱體(1)的內壁上，另一端懸空設在所述箱體(1)內。

8.根據權利要求7所述的清洗裝置，其特征在于，所述噴淋結構還包括與所述第一支撐管(7)垂直設置的第二支撐管(8)，所述第二支撐管(8)的一端固定在所述箱體(1)的內壁上，另一端與所述第一支撐管(7)的端部固定連接。

9.根據權利要求1－8中任一項所述的清洗裝置，其特征在于，所述箱體(1)的一個側壁上設有進風口(9)、所述箱體(1)的底壁上設有出風口(10)，所述箱體(1)外靠近所述出風口(10)處設有真空泵。

10.根據權利要求9所述的清洗裝置，其特征在于，設置所述進風口(9)的側壁為第一側壁，與所述第一側壁相對的側壁為第二側壁，所述進風口(9)設在所述第一側壁的頂部，所述出風口(10)設在靠近所述第二側壁的位置處。