[發明專利]一種控制密閉腔體變壓過程中變壓速率的系統及方法

在審

• 申請號: 202010747750.0
• 申請日: 2020-07-28
• 公開（公告）號: CN111857199A
• 公開（公告）日: 2020-10-30
• 發明（設計）人: 王戰;李欣
• 申請（專利權）人: 朗閣儀器（北京）有限公司
• 主分類號: G05D16/20
• 分類號: G05D16/20
• 代理公司: 天津企興智財知識產權代理有限公司 12226
• 代理人: 劉影

1.一種控制密閉腔體變壓過程中變壓速率的系統，包括真空泵、受控腔體，真空泵與受控腔體之間的慢抽管路，其特征在于，在慢抽管路上設置至少兩個串聯的第一電磁閥和第二電磁閥，通過第一電磁閥和第二電磁閥的交替開關控制所述受控腔體變壓過程中的變壓速率。

2.根據權利要求1所述的控制密閉腔體變壓過程中變壓速率的系統，其特征在于：在所述真空泵與所述受控腔體之間設有快抽管路，所述快抽管路與所述慢抽管路并聯設置，所述快抽管路上設有第四電磁閥，所述快抽管路的內徑不小于所述慢抽管路的內徑。

3.一種控制密閉腔體變壓過程中變壓速率的方法，其特征在于：在真空泵與受控腔體之間的慢抽管路上設置至少兩個串聯的電磁閥，即第一電磁閥和第二電磁閥，包括以下步驟；

S1、所述第一電磁閥和第二電磁閥內部的死體積與二者之間的慢抽管路形成緩沖空間，打開第一電磁閥，保持一段時間后關閉，保持時間在0.1ms至1分鐘之間，從而在緩沖空間中形成真空區域；

S2、打開第二電磁閥，保持一段時間后關閉，保持時間在0.1ms至1分鐘之間；從而使受控腔體壓力產生很小的下降，所述下降的數值在0.1Pa-10000 Pa之間；

S3、步驟S1開始至S2結束構成一個循環操作，即S1-S2，以一定的時間間隔重復執行S1-S2，持續降低受腔體內的壓力。

4.根據權利要求3所述的一種控制密閉腔體變壓過程中變壓速率的方法，其特征在于：所述緩沖空間的體積在10微升到10毫升之間。

5.根據權利要求3或4所述的一種控制密閉腔體變壓過程中變壓速率的方法，其特征在于：所述緩沖空間的體積在50微升到1毫升之間，優選100微升到500微升之間；所述第一電磁閥的保持時間在1ms至10s之間，優選5ms至5s之間；所述第二電磁閥的保持時間在1ms至10s之間，優選5ms至5s之間；所述受控腔體壓力下降的數值在1Pa-8000 Pa之間，優選10Pa-6000 Pa之間。

6.根據權利要求3或4所述的一種控制密閉腔體變壓過程中變壓速率的方法，其特征在于：隨著抽真空的進行，逐漸縮小每兩個S1-S2循環之間的時間間隔，兩個S1-S2操作之間的時間間隔取決于每秒更新一次的受控腔體實際壓力下降速率，速率快于系統要求時則增加時間間隔，實際速率小于要求速率時減小時間間隔，所述時間間隔為0.1ms至5分鐘。

7.根據權利要求3或4所述的一種控制密閉腔體變壓過程中變壓速率的方法，其特征在于：所述真空泵與所述受控腔體之間設有快抽管路，所述快抽管路與所述慢抽管路并聯設置，所述快抽管路上設有第四電磁閥，當受控腔體內壓力降至安全壓力，打開此電磁閥，連接受控腔體與真空泵，使受控腔體快速達到所需真空度。

8.根據權利要求3或4所述的一種控制密閉腔體變壓過程中變壓速率的方法，其特征在于：所述快抽管路的內徑不小于所述慢抽管路的內徑，當受控腔體內的壓力小于安全壓力時，所述第四電磁閥打開，連通受控腔體和真空泵進行抽真空。

9.根據權利要求3或4所述的一種控制密閉腔體變壓過程中變壓速率的方法，其特征在于：所述慢抽管路上還設有第三電磁閥，所述第三電磁閥設在靠近受控腔體的一端，初始操作過程，保持第三電磁閥常開，通過第一電磁閥和第二電磁閥之間的緩沖區，為后部腔體提供抽空操作，當抽空速率低于設定值時，關閉第三電磁閥，同時將第二電磁閥設置為常開狀態，此時將在第一電磁閥與第三電磁閥之間形成體積更大的緩沖空間，通過第一電磁閥與第三電磁閥的交替開、關，控制抽真空的速率和效率。

10.根據權利要求3或4所述的一種控制密閉腔體變壓過程中變壓速率的方法，其特征在于：所述受控腔體的數量為多個，且并列設置，每個受控腔體均與所述慢抽管路連通設置，每個受控腔體與慢抽管路之間均設有支路電磁閥。